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公开(公告)号：CN109696716B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201910037555.6
申请日：2019-01-15
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构，由硫化锌基片和减反射膜膜系组成；所述减反射膜膜系由四种薄膜材料制备的膜层叠加构成；膜层层数共计19层，从硫化锌基片开始，由内向外第1层为氧化铪，第2层到第18层中的奇数层为氟化镱膜层、偶数层为硫化锌膜层，第19层为氮化硅膜层；本发明可实现1.064μm激光和7.5μm～10.0μm长波红外在0°～76°超宽角度范围内的高透过，膜层牢固，同时具备高强度，能够通过国军标GJB 150—2009中的风洞、砂尘、淋雨、盐雾、湿热、温度冲击等严酷的环境试验，能够满足雷达隐身高速武器平台的多光谱硫化锌光学窗口的应用需求，能够应用于隐身机载、隐身舰载等高速武器平台多波段共光路光学系统的隐身光学窗口。
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公开(公告)号：CN111025446A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911262179.7
申请日：2019-12-10
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种红外二元光学器件及电磁屏蔽网栅制备方法，利用透明导电氧化物材料在不同加热温度下电阻率不同的现象，采用高能粒子束直写技术按照设计图案加热薄膜特定位置制备非刻蚀二元红外衍射光学元件及电磁屏蔽网栅。该方法具有工艺简单，不需要刻蚀，成本低，光散射小及易制备器件结构深宽比要求大的器件的优点。
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公开(公告)号：CN106546536B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201610847242.3
申请日：2016-09-26
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01N21/17
Abstract: 本发明提出一种高精度薄膜弱吸收测试装置及方法，当平行探测光照射环形光阑，经过环形光阑的光成为环形光束；由泵浦光在薄膜样品上引起的温升在样品内部形成的“热透镜”，热透镜区域将直接引入一个位相因子，环形光束经透镜聚焦后通过热透镜区域；反射光经过辅助透镜调节使环形光束与相环大小一致，环形光束完全投影在相环上；这样直射光经过相环，衍射光经过相板其它部分；直射光与衍射光干涉叠加，使微小的相位差转变为较大的光强差，探测光强分布就能判断薄膜样品的吸收率。本发明在热透镜技术基础上引入相衬技术使热畸变信号得到放大，所以相比现有技术有更高的精度、稳定性，且操作简单。
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公开(公告)号：CN105842857A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610273378.8
申请日：2016-04-28
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G02B27/10
CPC classification number: G02B27/1006 , G02B27/1013
Abstract: 本发明提出一种ZnS基底反0.5～0.8μm可见光及1.064μm激光并透3.7～4.8μm中波红外分色膜的膜系结构，包括ZnS基片和分色膜膜系；分色膜膜系由三种薄膜材料制成；膜层层数共计51层，其中第1层和第51层为氧化锆膜层，第2层到第50层中的偶数层为氟化镱膜层、奇数层为硫化锌膜层。在0.5～0.8μm波段，透过率小于2％；在1.064μm激光波段，透过率小于1％；在3.7～4.8μm中波红外波段透射率大于95％。该膜系结构具有层数少、厚度小、镀制难度相对较低、工艺重复性好的特点，获得的膜层牢固度高，光谱性能优良，能够满足多波段共窗口光电系统的使用要求，满足45°倾斜条件下工作要求，并能经受住高、低温存储，温度冲击等环境试验，附着力试验及中度摩擦试验。
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公开(公告)号：CN104634760A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510078340.0
申请日：2015-02-13
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01N21/47
Abstract: 本发明提出一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法，通过表面声波发生器在所制备的长条样品的正面和背面的特定位置产生频率相同的表面声波，表面声波对入射光而言相当于一个衍射光栅，当没有镀膜时，基底正背面表面声波波长相等形成对称的衍射光栅，衍射零级或±1级光强分布均匀，当镀膜后，应力使基底弯曲，由于两面声波速率变化导致正背面声波波长不同，衍射光栅不再对称，导致零级或±1级衍射光强分布不再均匀，产生光强周期性分布，根据周期的大小换算成基底的弯曲曲率，再根据Stoney公式计算出薄膜的应力。本发明结构简单、制作简便、灵敏度高，消除了传统基底弯曲法的系统误差，可应用于透明基底上制备的所有薄膜应力的检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104216034A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410442919.6
申请日：2014-09-02
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G02B1/11
Abstract: 本发明提出用于大曲率透镜表面的0.532微米与1.064微米倍频减反射膜，包括透明基片和减反射膜系，减反射膜系由高折射率介质膜层和低折射率膜层交替叠加的12个膜层构成，适用于曲率半径与口径之比不小于1的大曲率透镜表面，且具有较高的玻璃基底适应性，对由于不同镀膜机参数不同而引起的高折射率镀膜材料折射率n有较大的容限，稳定性高。即基底折射率适用于1.46～1.60、高折射率材料Ta2O5折射率n＝1.946～2.126，均满足大曲率光学零件表面各点的光学性能在0.532μm与1.064μm波长处剩余反射率优于0.4％的良好效果。
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公开(公告)号：CN110488553B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN201910786826.8
申请日：2019-08-24
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种基于金属光栅的可调谐双通道窄带偏振滤光器及调谐方法，滤光器依次由基底、HL交替组成的多层反射膜系、下层金属光栅层、可调谐间隔层、上层金属光栅层、HL交替组成的多层反射膜系组成；可调谐间隔层材料为随外加电场材料折射率可变的材料，上下层金属光栅分别作为可调谐间隔层的上下电极层。基于干涉膜系理论并结合亚波长金属光栅类Fabry‑Preot腔共振理论，本发明采用多层膜结合双层金属光栅的结构设计出中心波长可调谐的双通道窄带偏振滤光片。与现有技术相比，本发明光谱性能优良，环境适应性好，结构简单，能够实现中心波长可调谐。
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公开(公告)号：CN115469452A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202211319269.7
申请日：2022-10-26
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明属于光学薄膜技术领域，公开了一种基底为H‑K9L或其它在400nm～1100nm具有高透射率的无色玻璃上，400nm～1100nm范围内中心波长λ0＝515nm，通带宽度Δλ＝λ0±25nm＝50nm、截止带λ≠λ0±40nm的超宽截止带50nm宽带通矩形波带通滤光膜的设计方法。该方法针对电子束热蒸发镀膜设备，以Ti2O3做为高折射率薄膜材料，以SiO2做为低折射率薄膜材料，使用石英晶控法监控膜层厚度，设计、制备的此类膜系具有膜层总厚度较薄，薄膜应力较小，环境适应性强，对薄膜沉积设备要求低，制备方法简单，制作成本低的特点。本发明所述方法对400nm～1100nm波段范围内其它中心波长的50nm宽带通滤光膜具有普适性。
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公开(公告)号：CN105842857B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201610273378.8
申请日：2016-04-28
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G02B27/10
Abstract: 本发明提出一种ZnS基底反0.5～0.8μm可见光及1.064μm激光并透3.7～4.8μm中波红外分色膜的膜系结构，包括ZnS基片和分色膜膜系；分色膜膜系由三种薄膜材料制成；膜层层数共计51层，其中第1层和第51层为氧化锆膜层，第2层到第50层中的偶数层为氟化镱膜层、奇数层为硫化锌膜层。在0.5～0.8μm波段，透过率小于2％；在1.064μm激光波段，透过率小于1％；在3.7～4.8μm中波红外波段透射率大于95％。该膜系结构具有层数少、厚度小、镀制难度相对较低、工艺重复性好的特点，获得的膜层牢固度高，光谱性能优良，能够满足多波段共窗口光电系统的使用要求，满足45°倾斜条件下工作要求，并能经受住高、低温存储，温度冲击等环境试验，附着力试验及中度摩擦试验。
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公开(公告)号：CN104634760B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201510078340.0
申请日：2015-02-13
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01N21/47
Abstract: 本发明提出一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法，通过表面声波发生器在所制备的长条样品的正面和背面的特定位置产生频率相同的表面声波，表面声波对入射光而言相当于一个衍射光栅，当没有镀膜时，基底正背面表面声波波长相等形成对称的衍射光栅，衍射零级或±1级光强分布均匀，当镀膜后，应力使基底弯曲，由于两面声波速率变化导致正背面声波波长不同，衍射光栅不再对称，导致零级或±1级衍射光强分布不再均匀，产生光强周期性分布，根据周期的大小换算成基底的弯曲曲率，再根据Stoney公式计算出薄膜的应力。本发明结构简单、制作简便、灵敏度高，消除了传统基底弯曲法的系统误差，可应用于透明基底上制备的所有薄膜应力的检测。
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