公开(公告)号：CN107949480B

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201680050676.9

申请日：2016-08-31

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中山雅夫 ,  板山泰裕 ,  横山直人 ,  平井荣树 ,  高部本规

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/319

Abstract: 提供了一种压电装置，包括：基板(10)，所述基板上设置有多个凹部(12)；振动板(50)，其设置在所述基板的一个表面侧；和压电元件(300)，其设置在所述振动板(50)上方，并且在所述压电元件上自基板(10)侧层叠有第一电极(60)、压电层(70)以及第二电极(80)，其中所述第一电极(60)形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部(12)的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层(70)延伸到所述第一电极(60)的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层(70)具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部(12)在所述并排设置方向上的宽度小，所述振动板(50)含有氧化锆层(52)，并且当氧化锆层(52)的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域(p)，氧化锆层(52)的与所述压电层(70)设置在所述第一区域(p)的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域(q)，并且氧化锆层(52)的与在所述第二区域(q)的所述并排设置方向的外侧的凹部(12)相对应的区域被设定为第三区域(r)时，所述氧化锆层(52)在所述第一区域(p)中在厚度方向的至少第一电极(60)侧含有粒状晶体，并且在所述第三区域(r)中含有柱状晶体。

公开(公告)号：CN107428166B

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201680014404.3

申请日：2016-03-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 平井荣树 ,  滨口敏昭 ,  长沼阳一 ,  高部本规

IPC: B41J2/14

Abstract: 一种喷墨头，包括：压力室形成板，其在第一方向上形成有各自与喷嘴连通的多个压力室；振动板，其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形；压电元件，其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成；电路板，其与所述振动板成间隔布置，多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间，并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号；以及粘合剂，其将所述压力室形成板与所述电路板接合，其中所述压电元件的至少一侧的元件端形成在所述限定区域的外侧，并且在与所述第一方向正交的第二方向上由所述粘合剂覆盖。

公开(公告)号：CN109228661A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201810730213.8

申请日：2018-07-05

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中山雅夫 ,  高部本规 ,  平井荣树 ,  矢崎士郎

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种在不阻碍压电元件的位移的条件下抑制了液体供给口的周围的膜的破损的压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。所述压电器件被用于从喷嘴喷射液体的液体喷射头中，并具备：流道形成基板，其形成有与所述喷嘴连通的独立液室和与所述独立液室连通的液体供给室；振动板，其被形成在与所述流道形成基板的所述独立液室和所述液体供给室相对应的位置上；多个液体供给口，其被形成于所述液体供给室；以及压电元件，其包含第一电极、压电体层和第二电极，并且被形成在所述振动板的与所述独立液室相对应的位置上，在所述振动板的与所述液体供给室相对应的位置上层压有金属层，所述液体供给口以贯穿所述振动板和所述金属层的方式被设置。

公开(公告)号：CN109203694A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201810724152.4

申请日：2018-07-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中山雅夫 ,  高部本规 ,  平井荣树 ,  矢崎士郎

IPC: B41J2/045

Abstract: 本发明提供一种在不阻碍压电元件的位移的条件下抑制了液体供给口的周围的膜的破坏的压电器件、液体喷射头及液体喷射装置。压电器件被用于从喷嘴喷射液体的液体喷射头，并具备：流道形成基板(10)，其形成有与所述喷嘴连通的独立液室(12、14、15)和与所述独立液室(12、14、15)连通的液体供给室(13)；振动板(50)，其被形成于与所述流道形成基板(10)的所述独立液室(12、14、15)和所述液体供给室(13)相对应的位置上；多个液体供给口(16)，其被形成于所述液体供给室(13)；压电元件(300)，其包括第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80)，并且被形成于所述振动板(50)的与所述独立液室(12、14、15)相对应的位置上，所述液体供给口(16)被设置为将所述振动板(50)贯穿，所述振动板(50)包含氧化锆。

公开(公告)号：CN108656748A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810159607.2

申请日：2018-02-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 塚原克智 ,  平井荣树 ,  高部本规 ,  山田大介 ,  松本泰幸 ,  田中秀一

IPC: B41J2/14 ,  H01L41/047

Abstract: 本发明提供一种在抑制大型化的同时抑制了对置的配线间的短路的压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷出装置。压电器件(致动器单元14)具有：第一基板(压力室形成基板29、振动板31)，其具备压电体层(38)以及至少一部分层压在压电体层(38)上的第一配线(上电极层39)；以及第二基板(密封板33)，其具备被施加与第一配线(上电极层39)不同的电信号的第二配线(下表面侧配线47)，第一配线(上电极层39)与第二配线(下表面侧配线47)以隔开间隔的方式对置，所述压电器件(致动器单元14)的特征在于，第一配线(上电极层39)和第二配线(下表面侧配线47)中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层(55)覆盖。

公开(公告)号：CN106985523A

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201610810603.7

申请日：2016-09-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 平井荣树 ,  长沼阳一 ,  滨口敏昭 ,  高部本规

IPC: B41J2/045

Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法以及液体喷射头的制造方法，该MEMS装置使构成记录头的压力室形成基板不易产生机械性的损伤，从而提高记录头的制造成品率或品质。该MEMS装置的特征在于，包括：压力室形成基板(28)，其形成有作为压力室(30)的贯穿口(30a)；第一基板(33)，其与压力室形成基板(28)层压配置；振动板(31)，其在压力室形成基板(28)与第一基板(33)之间覆盖压力室形成基板(28)且对贯穿口(30a)的一方的开口进行密封；压电元件(32)，其被配置在振动板(31)与第一基板(33)之间并使振动板(31)挠曲变形，压力室形成基板(28)与第一基板(33)相比而较小，且在俯视观察时压力室形成基板(28)的端部被配置在第一基板(33)的端部的内侧。

公开(公告)号：CN106313895A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201610494817.8

申请日：2016-06-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  矢崎士郎 ,  福泽祐马 ,  平井荣树

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14274 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2202/11 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/081 ,  H01L41/083 ,  H01L41/0838 ,  H01L41/09 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/332 ,  B41J2/0453 ,  B41J2/04581

Abstract: 本发明提供一种能够缓和能动部的端部处的应力的压电装置、液体喷出头以及液体喷出装置。通过对作为空室的压力室(22)进行划分的压力室形成基板(20)、和被接合于该压力室形成基板上的连通基板(14)而构成了空室部件。以在压力室形成基板的一个面上在与压力室之间夹着可挠面(21)的方式而设置有压电元件(26)。通过利用连通基板(14)来封堵压力室形成基板的凹部(34)从而划分形成空部(35)。该空部(35)被形成于，在俯视观察时与压电元件的能动部的两端(E)重叠的位置处。

公开(公告)号：CN104827773A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201510067096.8

申请日：2015-02-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 平井荣树 ,  矢崎士郎 ,  高部本规 ,  福泽祐马

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14274 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1612 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/11 ,  H01L41/047

Abstract: 本发明提供一种液体喷射头及液体喷射装置，其能够在不阻碍振动板的变形的条件下抑制初始状态下的压电体层的过度的挠曲。在与压力室(22)对应的区域内，下电极膜(27)的喷嘴列方向上的宽度被形成为窄于压力室(22)的该方向上的宽度，与压力室(22)对应的区域内的振动板(21)包括：层压有与该振动板(21)之间夹有下电极膜(27)而成为活性部的压电体层(28)的区域(P1)；层压有与该振动板(21)之间未夹有下电极膜(27)而成为非活性部的压电体层(28)的区域(P2)；未层压有压电体层(28)的区域(P3)，在将区域(P1)内的振动板的厚度设为t1，将区域(P2)内的振动板的厚度设为t2，并将区域(P3)内的振动板的厚度设为t3时，满足如下的(1)式，即，t1＞t2≥t3…(1)。

公开(公告)号：CN101051669A

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：CN200710091649.9

申请日：2007-04-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  角浩二 ,  野口元久 ,  横山直人 ,  齐藤刚

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/047 ,  B41J2/14 ,  B41J2/045

CPC classification number: B41J2/1629 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491

Abstract: 一种驱动装置、液体喷头及液体喷射装置，该驱动装置，具备变位自如地设置在基板(10)上且由下电极(60)、压电体层(70)及上电极(80)构成的压电元件(300)，并且，使所述下电极(60)的杨氏模量为200Gpa以上，从而防止因压电元件(300)的反复驱动引起的变位降低。

公开(公告)号：CN119268916A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202410884576.2

申请日：2024-07-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  塩沢優 ,  富松慎吾

IPC: G01L9/12 ,  G01L19/00

Abstract: 本发明提供一种检测灵敏度较高的压力检测元件、液体喷出头以及液体喷出装置。该压力检测元件具有：压力检测室，其用于对内部的压力进行检测；第一电极；第二电极；第一压电体，其被配置于所述第一电极与所述第二电极之间，且该第一压电体的静电电容根据所述压力检测室的压力而发生变化，所述第一压电体包括位于所述第一电极侧的第一压电体层和位于所述第二电极侧的第二压电体层，所述第二压电体层为正方晶系、立方晶系、单斜晶系中的任意一种，所述第一压电体层为菱面体晶系，所述第二压电体层的厚度与所述第一压电体层的厚度相比而较薄。