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公开(公告)号：CN112887881B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202011367414.X
申请日：2020-11-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小岛力
Abstract: 本发明涉及超声波设备，以简单的结构抑制强度下降且能够抑制从超声波发送部向超声波接收部的串扰。超声波设备具备：基板，具备多个开口部以及壁部；振动板，封闭开口部；以及振动元件，设置于振动板，多个开口部包括第一开口部、隔着第一壁部与第一开口部相邻的第二开口部以及隔着第二壁部与第一开口部相邻的第三开口部，封闭第一开口部的第一振动部与振动元件构成第一超声波发送部，封闭第二开口部的第二振动部与振动元件构成第一超声波接收部，封闭第三开口部的第三振动部与振动元件构成第二超声波发送部，第一壁部的壁宽度大于第二壁部的壁宽度。
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公开(公告)号：CN110324769B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN201910235759.0
申请日：2019-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种超声波传感器以及超声波装置，抑制驱动特性的降低的同时，实现超声波的发送声压的增大。超声波传感器具备：振动板，具备多个振动部；壁部，设置于所述振动板，包围所述振动部；第一压电元件，设置于多个所述振动部中、规定数量的所述振动部；以及第二压电元件，设置于未设置所述第一压电元件的所述振动部，其中，所述第一压电元件能够进行驱动信号的输入输出，且与至少一个其他的所述第一压电元件并联连接，在一个方向上相邻的所述第一压电元件之间，配置有所述第二压电元件。
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公开(公告)号：CN111715501A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010192790.3
申请日：2020-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及微机电系统器件及电子设备。在接合第一部件及第二部件并将用于连通设置于第一部件及第二部件之间的密封空间与外部空间的连通部设置于第二部件时，第一部件和第二部件有可能破损。为此，微机电系统器件具备：第一部件；第二部件，在与所述第一部件之间形成密封空间；以及第三部件，配置于所述第一部件与所述第二部件之间，并接合于所述第一部件及所述第二部件，所述第三部件比所述第一部件及所述第二部件的刚度小，所述第三部件设有连通所述密封空间与外部空间的连通部。
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公开(公告)号：CN111084637A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201911013466.4
申请日：2019-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了能够得到所期望的声音特性的超声波元件及超声波装置。超声波元件具备：元件基板，具有第一面、与第一面成为表里关系的第二面、贯通第一面至第二面的开口部以及包围开口部的隔壁部；支承膜，设置在元件基板的第一面且覆盖开口部，并具有面对开口部的第三面以及与第三面成为表里关系的第四面；压电元件，设置在支承膜的第四面，在从第三面朝向第四面的膜厚方向进行俯视观察时，配置在支承膜的与开口部重叠的区域；保护板，设置成与支承膜的第四面对置，通过粘合部件经由朝向支承膜突出的梁部接合至支承膜；以及壁部，设置在支承膜的第四面，在梁部和压电元件之间设置成朝向保护板突出。
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公开(公告)号：CN106664493B
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201580035687.5
申请日：2015-07-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小岛力
Abstract: 本发明涉及超声波传感器及其制造方法。该超声波传感器，其具备：具有至少一个开口部(18)的基板、以封闭上述开口部(18)的方式被设置于上述基板的振动板(50)、以沿Y方向并列的方式被设置于上述振动板(50)的与上述开口部(18)相反的一侧并向与上述Y方向正交的X方向延伸的多个第一电极(14)、以沿上述X方向并列的方式被设置于上述振动板(50)的与上述开口部(18)相反的一侧并向上述Y方向延伸的多个第二电极(16)、以及至少在上述第一电极(14)与上述第二电极(16)交叉的部分被设置于上述第一电极(14)与上述第二电极(16)之间的多个压电体层(15)，在与上述X方向以及上述Y方向正交的Z方向，将上述第一电极(14)、上述压电体层(15)以及上述第二电极(16)重合的部分作为有源部，将上述振动板(50)能够通过上述有源部的驱动进行振动的区域作为可动部，在俯视观察时，在将由一个上述可动部与被设置于上述一个可动部内的上述有源部构成的单位作为一个超声波元件时，具备在俯视观察时，相对于上述可动部的面积的上述有源部的面积不同的两种以上的超声波元件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106664494A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580035961.9
申请日：2015-07-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小岛力
IPC: H04R17/00 , A61B8/00 , H01L41/113
Abstract: 本发明提供一种超声波传感器，其具备形成有开口部的基板、以封闭开口部的方式设置于基板的振动板及包括层叠于振动板的与开口部相反侧的第一电极、压电体层及第二电极的超声波元件，在将第一电极、压电体层以及第二电极层叠的方向作为Z方向，将在Z方向上第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分作为有源部，将振动板因该有源部的驱动而能够振动的范围作为可动部时，有源部配置为与可动部对置，在俯视观察时，有源部的外形比可动部的外形小，在有源部的侧方的、至少与可动部对置的区域设置有调整共振频率的共振频率调整部。
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公开(公告)号：CN102416767B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201110261695.5
申请日：2011-09-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , B41J2/135 , H01L41/09 , H01L41/047 , H01L41/29
CPC classification number: H01L41/0973 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/047 , H01L41/29
Abstract: 本发明提供可靠性提高了的压电元件、液滴喷射头、液滴喷射装置以及它们的制造方法。本发明所涉及的压电元件，包括：在第1面(16)具有凹部(14)的振动板(10)；形成于凹部(14)内的第1电极(20)；形成于振动板(10)以及第1电极(20)之上的压电体层(30)；和形成于压电体层(30)之上的第2电极(40)，第1电极(20)的上侧的面(21)构成与第1面(16)连续的平面。
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公开(公告)号：CN113219467B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202110061476.6
申请日：2021-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及一种对超声波装置的精度下降进行抑制的超声波装置以及超声波传感器。本发明的超声波装置(1)具备：基板(150)；振动板(140)，其被设置在基板(150)上，且具有通过进行振动而生成超声波的一个以上的振动元件(124)，振动板(140)具有可动部(120)和固定部(110)，所述可动部(120)被设置有振动元件(124)且随着振动元件(124)的振动而进行振动，所述固定部(110)被固定在所述基板(150)上，超声波装置(1)以如下方式被构成，即，基于从可动部(120)发送并由可动部(120)接收的波的反射波的振动频率在振动元件(124)的振动频率范围之外。
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公开(公告)号：CN108878637B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN201810418879.X
申请日：2018-05-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及安装结构体、超声波器件、超声波探头及超声波装置。安装结构体具备：第一基板，具有设置有功能元件的第一面；配线部，设置在第一面的与功能元件不同的位置上，并连接于功能元件；第二基板，具有与第一面相对的第二面；以及导通部，设置于第二面，与配线部连接，并连接于功能元件，其中，功能元件与第二基板的最短距离比配线部和导通部连接的位置与第二基板的距离更长。
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公开(公告)号：CN110568424B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN201910487514.7
申请日：2019-06-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种超声波装置及电子设备，超声波装置(1)具备向第一方向(13)发送超声波(12)的超声波元件(4)排列而成的基板(2)，在超声波元件(4)的第一方向(13)侧配置有降低基板(2)的混响振动的混响降低膜(15)，在混响降低膜(15)上相邻的超声波元件之间配置有槽部(18)。
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