公开(公告)号：CN113671801A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202110885149.2

申请日：2021-08-03

Applicant: 清华大学

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  赵家琦 ,  成荣 ,  王磊杰

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于超导磁悬浮的光刻机工件台平衡定位系统，包括平衡质量块、承片台模块、超导磁悬浮模块、漂移管理模块和机架，超导磁悬浮模块包括超导体和超导体磁钢阵列；漂移管理模块包括漂移管理线圈和漂移管理磁钢阵列；承片台模块包括承片台、承片台线圈和承片台磁钢阵列；承片台模块用以驱动承片台在水平方向运动，超导磁悬浮模块用以使平衡质量块悬浮并控制平衡质量块在竖向运动；漂移管理模块用以控制平衡质量块在水平方向运动，根据平衡质量块的位置、速度、加速度，控制漂移管理模块补偿平衡质量块的位移。与现有技术相比，本平衡定位系统具有自稳定、稳定性高、自悬浮、无需实时控制、可工作于真空环境等优点。

公开(公告)号：CN113571460A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202110666476.9

申请日：2021-06-16

Applicant: 清华大学

Inventor： 张鸣 ,  成荣 ,  朱煜 ,  刘相波

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种双面吸附的静电吸盘及其装配结构，其中的双面吸附的静电吸盘包括：基体、附着于基体表面的电极层，以及位于电极层远离基体侧的介电层；其中，电极层包括镀设在基体的上表面的上电极以及镀设在基体的下表面的下电极；介电层包括设置在上电极远离基体一侧的上介电层以及设置在下电极远离基体一侧的下介电层；待吸附产品通过上电极吸附在静电吸盘上，静电吸盘通过下电极吸附在底座上，可通过销孔加强静电吸盘与底座的连接。利用上述双面吸附的静电吸盘及其装配机构能够降低局部应变对产品造成的影响，并适用于各种应用环境。

公开(公告)号：CN113237427A

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202110526074.9

申请日：2021-05-14

Applicant: 清华大学

Inventor： 张鸣 ,  叶伟楠 ,  朱煜 ,  王磊杰 ,  成荣 ,  郭子文 ,  李鑫

IPC: G01B11/02 ,  G01D5/353

Abstract: 本发明公开一种共光路差分干涉位移测量系统及方法，系统包括相干光源，用于发出两束相干的激光，所述激光为一束测量臂和一束参考臂；位移元件，用于将待测物理量转换为测量臂沿基准光栅矢量方向的光平移量；合束元件，用于将测量臂与参考臂合束；基准光栅，用于使位移后的测量臂产生衍射多普勒效应，将测量臂与参考臂合束产生的干涉信号分为多路以作差分；相位探测元件，用于干涉信号的探测及相位计算。位移测量系统中，多路干涉信号相位的差分可以消除合束元件之前的环境扰动误差，而合束后的环境扰动误差可以通过测量臂与参考臂的共光路干涉来互消，使测量结果完全不受环境扰动的影响，位移测量精度极高，特别适用于非真空环境中的高精度测量。

公开(公告)号：CN111948917A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202010870392.2

申请日：2020-08-26

Applicant: 清华大学

Inventor： 杨开明 ,  成荣 ,  朱煜 ,  张鸣 ,  雷声 ,  刘涛 ,  鲁森 ,  李鑫

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种基于光刻机双工件台运动系统的垂向保护方法及装置。方法包括：在微动台下方设有电涡流传感器，以及水平位移测量机构。根据被测量点与电涡流传感器基准点之间的距离，以及电涡流传感器基准点的坐标，计算得出微动台下表面各个被测量点的坐标。利用所测得的微动台上被测量点坐标计算出微动台当前时刻的点法式方程，然后通过代入平移后微动台被测量点的X、Y坐标，即可确定微动台在当前时刻的最大高度。将最大高度与高度阈值对比，若超出高度阈值，则停机保护，否则所述系统继续运行。本发明能够保护工件台在工作中不与上方设备相撞，精度高，复杂度低，执行速度快，具有较强的安全性与实时性。

公开(公告)号：CN110057304B

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN201910156641.9

申请日：2019-03-01

Applicant: 清华大学

Inventor： 胡金春 ,  朱煜 ,  田畅 ,  张鸣 ,  尹文生 ,  成荣 ,  王磊杰 ,  韩如锦 ,  徐登峰

IPC: G01B11/03

Abstract: 平面光栅六自由度位移测量系统中误差分离与补偿方法，所述方法是在无需借助其他位移传感器的情况下，利用附加读数头实现平面光栅六自由度位移测量系统中各参数与其标称值之间误差的分离与补偿。在原位移测量系统的基础上增加至少一个附加读数头；建立包含六自由度位移与待分离误差的测量模型；通过测量多个位置点的信号建立方程组，方程组中方程个数应等于或多于位移未知量和待分离误差未知量的个数；通过此方程组解算出位移未知量和待分离误差未知量；将待分离误差的解算结果作为已知量代入测量模型中，得到补偿后的六自由度位移测量模型。

公开(公告)号：CN110716397B

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：CN201911050178.6

申请日：2019-10-31

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

Inventor： 王磊杰 ,  朱煜 ,  张鸣 ,  徐继涛 ,  成荣 ,  李鑫 ,  杨开明 ,  胡金春

IPC: G03F7/20 ,  G02B5/18 ,  G02B27/28 ,  G02F1/11

Abstract: 本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，公开了一种激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，从激光干涉光刻的曝光光束中分离出测量光输入激光相位测量干涉仪对激光干涉光刻的曝光光束进行相位测量，再引入与激光干涉光刻曝光光束同源的参考光束也输入激光相位测量干涉仪，由激光相位测量干涉仪处理形成干涉测量光信号，进行解算得到激光干涉光刻的曝光光束的相位。本发明公开了一种激光干涉光刻系统，包括激光相位测量干涉仪、控制器和相位调制器，采用前述激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，用激光相位测量干涉仪测量曝光光束相位是否漂移，由控制器控制相位调制器进行相位调制，完成对曝光条纹相位漂移的锁定，实现高精度变周期光栅的制作。

公开(公告)号：CN111624116A

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN202010387697.8

申请日：2020-05-09

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

Inventor： 王磊杰 ,  朱煜 ,  陶志强 ,  成荣 ,  李鑫 ,  张鸣

IPC: G01N3/24 ,  G01M13/00 ,  G06F17/15

Abstract: 本发明提供了一种基于权平均最大剪切应力平面的疲劳寿命预测方法及装置，涉及多轴疲劳强度理论领域，方法包括：(1)将多轴变幅载荷历程通过von Mises等效应力公式合成等效应力历程，通过Wang-Brown多轴循环计数法对von Mises等效应力历程进行循环计数；(2)利用提出的权平均最大剪切应力平面来作为高周多轴变幅载荷下的临界面；(3)计算计数得到的每个反复中临界面上的疲劳损伤参量；(4)采用Zhang-Shang模型进行疲劳损伤计算；(5)采用Miner线性累积法则对每个反复中计算的损伤进行累积，最后计算疲劳寿命。本方法中提出的权函数可以考虑多轴加载下的主要疲劳损伤机理。寿命预测结果说明该寿命预测方法可以较好地预测多轴恒幅和变幅加载下疲劳寿命。

公开(公告)号：CN111610715A

公开(公告)日：2020-09-01

申请号：CN202010326790.8

申请日：2020-04-23

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  李鑫 ,  宋海嵩 ,  张鸣 ,  成荣 ,  杨开明

IPC: G05B13/02

Abstract: 本发明公开了一种直线运动系统的自适应递归前馈控制方法，包括：根据控制直线运动系统的反馈控制器，确定直线运动系统输出误差的功率谱，并根据所述功率谱提取出振动的特征频率；根据提取出的特征频率确定周期性扰动信号的等效扰动力，并根据所述等效扰动力确定估计扰动力的前馈控制信号；基于递归最小二乘算法得到所述傅里叶系数的参数更新律；根据所述参数更新律进行参数迭代，得到最优的傅里叶系数；将最优的傅里叶系数作用下的前馈控制信号输入至直线运动系统中，进行运动控制。本发明极大地缩减了计算量，有效地提高了系统的动态响应性能，具有动态响应快、控制精度高、鲁棒性能好的特点。

公开(公告)号：CN111505939A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN202010327388.1

申请日：2020-04-23

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  李鑫 ,  戴渌爻 ,  张鸣 ,  成荣 ,  杨开明

IPC: G05B13/04

Abstract: 本发明公开了一种直线运动系统前馈控制器的参数整定方法，包括：利用迭代学习得到前馈控制信号；给定一个结构确定的基于模型的前馈控制器，利用最小二乘法，通过拟合所述前馈控制信号来整定所述前馈控制器的参数；获取每个前馈控制器参数对应的拟合残差，并将拟合残差最小的前馈控制器参数，作为直线运动系统的前馈控制器的参数。本发明能够对前馈控制器的参数进行充分有效的整定，使其跟踪控制性能逼近迭代学习，同时具有基于模型的特点，能够适应不同的参考轨迹，兼具跟踪控制性能和变轨迹适应能力，因此便于用于直线运动系统的运动控制。

公开(公告)号：CN109357614B

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201811572535.0

申请日：2018-12-21

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

Inventor： 朱煜 ,  杨开明 ,  成荣 ,  张鸣 ,  李鑫 ,  王磊杰 ,  孙浩博 ,  甄玉旺 ,  鲁智铭

IPC: G01B7/06

Abstract: 本发明提供了一种光刻机平面电机动子悬浮高度测量系统的电涡流切换算法，该测量系统包括十二个Z向电涡流传感器，其中的四组为非切换组，两组为切换组，每组设定主传感器和辅传感器；该算法对磁钢表面进行分区；将有效测量动子悬浮高度的四组Z向电涡流传感器等效到第一分区内；若主传感器的靶区与散热孔重合，则选取补偿后的辅传感器读数，否则选取主传感器的读数；将四组传感器组成的信号分别进行低通滤波处理，得到四组动子悬浮高度信号；最后根据动子的不同运动位置，将四组信号取加权平均得到最终的动子质心悬浮高度信号。本发明能够减小传感器切换过程中产生的测量值跳变，实现动子全运动范围内悬浮高度的精确测量。