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公开(公告)号：CN109343363B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201811278764.1
申请日：2018-10-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G05B15/02
Abstract: 本发明公开了一种基于光计算的运动测控系统，包括光计算测量系统和光计算控制系统，光计算测量系统包括传感模块、测量光固态神经网络；光计算控制系统包括光源、上位机、空间光调制器、控制光固态神经网络、探测器阵列；空间光调制器根据上位机指令，把光源发出的光调制编码成带指令光信号，同时传感模块实时监测光信号传输给测量光固态神经网络解算，解算后的光信号与带指令光信号都传输给控制光固态神经网络解算，解算输出的控制光信号给探测器阵列转换为控制电信号，控制电信号传输至运动机械系统执行相应动作；实现运动测控。本发明的光计算测控系统具有速度极快、能耗低、计算效率高的优点，可以广泛应用于运动系统中。
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公开(公告)号：CN109211122B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201811278823.5
申请日：2018-10-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于光神经网络的超精密位移测量系统。该系统包括：光源、光学位移测量器件、光神经网络、探测器阵列、信号处理器件，当目标物体发生运动时，系统将光学位移测量器件输出的测量光信号作为信号输入，通过光神经网络处理后利用探测器阵列接收，最后经过信号处理器件转化为目标物体的位移信息。本发明还公开了一种采用基于光神经网络的超精密位移测量方法。本发明利用光神经网络对测量光信号处理可直接实现目标物体位移的测量，无须电子信号的鉴相过程，响应速度极快，尺寸可缩放，能量利用率高，适用于速度快，动态性能要求高的超精密测量场合。该系统还可通过增加输入测量光信号及探测器阵列数实现目标物体的多自由度位姿测量。
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公开(公告)号：CN109719732A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201910130461.3
申请日：2019-02-21
Applicant: 清华大学
IPC: B25J9/16
Abstract: 本发明提供了一种基于光神经网络的机器人系统，所述机器人系统包括：通信系统，用于接收外界传达给机器人的指令；光神经网络中央处理系统，用于解算携带决策信息的光信号并进行输出；控制系统，用于解算输出携带控制信息的光信号并将光信号编码为携带控制信息的电信号进行输出；执行系统，用于接收携带控制信息的电信号并执行相应的指令；以及传感系统，用于监测所述执行系统和外部环境，并将感应到的传感信息以光信号的方式传递给所述光神经网络中央处理系统，光神经网络中央处理系统再根据传感信息决策当前机器人的行为。本发明中机器人系统绝大部分计算工作以光速进行，计算速度快、实时性高。
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公开(公告)号：CN109719732B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201910130461.3
申请日：2019-02-21
Applicant: 清华大学
IPC: B25J9/16
Abstract: 本发明提供了一种基于光神经网络的机器人系统，所述机器人系统包括：通信系统，用于接收外界传达给机器人的指令；光神经网络中央处理系统，用于解算携带决策信息的光信号并进行输出；控制系统，用于解算输出携带控制信息的光信号并将光信号编码为携带控制信息的电信号进行输出；执行系统，用于接收携带控制信息的电信号并执行相应的指令；以及传感系统，用于监测所述执行系统和外部环境，并将感应到的传感信息以光信号的方式传递给所述光神经网络中央处理系统，光神经网络中央处理系统再根据传感信息决策当前机器人的行为。本发明中机器人系统绝大部分计算工作以光速进行，计算速度快、实时性高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109211122A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201811278823.5
申请日：2018-10-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于光神经网络的超精密位移测量系统。该系统包括：光源、光学位移测量器件、光神经网络、探测器阵列、信号处理器件，当目标物体发生运动时，系统将光学位移测量器件输出的测量光信号作为信号输入，通过光神经网络处理后利用探测器阵列接收，最后经过信号处理器件转化为目标物体的位移信息。本发明还公开了一种采用基于光神经网络的超精密位移测量方法。本发明利用光神经网络对测量光信号处理可直接实现目标物体位移的测量，无须电子信号的鉴相过程，响应速度极快，尺寸可缩放，能量利用率高，适用于速度快，动态性能要求高的超精密测量场合。该系统还可通过增加输入测量光信号及探测器阵列数实现目标物体的多自由度位姿测量。
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公开(公告)号：CN109343363A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811278764.1
申请日：2018-10-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G05B15/02
Abstract: 本发明公开了一种基于光计算的运动测控系统，包括光计算测量系统和光计算控制系统，光计算测量系统包括传感模块、测量光固态神经网络；光计算控制系统包括光源、上位机、空间光调制器、控制光固态神经网络、探测器阵列；空间光调制器根据上位机指令，把光源发出的光调制编码成带指令光信号，同时传感模块实时监测光信号传输给测量光固态神经网络解算，解算后的光信号与带指令光信号都传输给控制光固态神经网络解算，解算输出的控制光信号给探测器阵列转换为控制电信号，控制电信号传输至运动机械系统执行相应动作；实现运动测控。本发明的光计算测控系统具有速度极快、能耗低、计算效率高的优点，可以广泛应用于运动系统中。
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公开(公告)号：CN108897956A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810707357.1
申请日：2018-07-02
Applicant: 清华大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明涉及一种多孔机械零部件优化设计方法，包括三个步骤：1.单胞等效性质插值模型构建过程，2.基于单胞等效性质的实体结构拓扑优化过程，3.基于密度信息映射单胞信息的结构重建过程。本发明面向增材制造技术，针对机械零部件轻量化与刚度、强度优化的设计需求，集成了宏/介观材料一体优化及增材制造工艺约束；该设计方法具有速度快、效率高、性能好、面向制造的优点，作为重要机械零部件的设计方法可提升机械系统综合性能。
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公开(公告)号：CN108897956B
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN201810707357.1
申请日：2018-07-02
Applicant: 清华大学
IPC: G06F30/23 , G06F30/17 , G06F111/04
Abstract: 本发明涉及一种多孔机械零部件优化设计方法，包括三个步骤：1.单胞等效性质插值模型构建过程，2.基于单胞等效性质的实体结构拓扑优化过程，3.基于密度信息映射单胞信息的结构重建过程。本发明面向增材制造技术，针对机械零部件轻量化与刚度、强度优化的设计需求，集成了宏/介观材料一体优化及增材制造工艺约束；该设计方法具有速度快、效率高、性能好、面向制造的优点，作为重要机械零部件的设计方法可提升机械系统综合性能。
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公开(公告)号：CN113671801A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110885149.2
申请日：2021-08-03
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于超导磁悬浮的光刻机工件台平衡定位系统，包括平衡质量块、承片台模块、超导磁悬浮模块、漂移管理模块和机架，超导磁悬浮模块包括超导体和超导体磁钢阵列；漂移管理模块包括漂移管理线圈和漂移管理磁钢阵列；承片台模块包括承片台、承片台线圈和承片台磁钢阵列；承片台模块用以驱动承片台在水平方向运动，超导磁悬浮模块用以使平衡质量块悬浮并控制平衡质量块在竖向运动；漂移管理模块用以控制平衡质量块在水平方向运动，根据平衡质量块的位置、速度、加速度，控制漂移管理模块补偿平衡质量块的位移。与现有技术相比，本平衡定位系统具有自稳定、稳定性高、自悬浮、无需实时控制、可工作于真空环境等优点。
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