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公开(公告)号：CN114112788B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202111293223.8
申请日：2021-11-03
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01N7/14
摘要： 一种材料真空放气率的测试方法及装置，包括：用真空泵对真空腔室抽真空，记录第一真空度变化曲线；将真空腔室内充入填充气体，再对真空腔室抽真空，记录第二真空度变化曲线；比较第一、第二真空度变化曲线，如不重合度超过阈值，则重复获得第二真空度变化曲线，直至前后两次第二真空度变化曲线的不重合度小于阈值；将被测材料放入真空腔室，关闭真空腔室并停止充入填充气体；再次用真空泵对真空腔室进行抽真空，记录第三真空度变化曲线；通过最后一次第二真空度变化曲线、第三真空度变化曲线，真空泵极限真空、真空泵有效抽速和真空腔室本底气载，计算被测材料放气率。本发明不需要知道真空腔体的材料、漏率等信息，即可获得被测材料的放气率。
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公开(公告)号：CN117538222A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311500123.7
申请日：2023-11-10
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01N15/0205 , G01N15/075
摘要： 本发明提供了一种颗粒检测传感器集成组件、颗粒检测系统及方法。颗粒检测传感器集成组件包括多个颗粒检测传感器，相邻的颗粒传感器之间形成磁吸式连接，多个颗粒检测传感器连接形成可调整阵列形状的传感器阵列。与现有技术相比，本发明提供的颗粒检测传感器集成组件的传感器阵列可灵活调整形状，适用于空间结构内多点位进行检测颗粒分布状态。另外柔性式阵列传感器的设计，可采用多角度多方位的数据采集，有效提高颗粒空间的准确率。将其用于检测EUV工件台真空系统颗粒分布时，可根据探测空间和检测对象进行合理结构和布局设计，实现对真空腔内空间的颗粒检测判定，有效的评估真空内颗粒分布状态，解决了现有真空腔内颗粒检测困难的问题。
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公开(公告)号：CN115808119A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211461325.0
申请日：2022-11-21
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01B9/02015 , G01B11/00
摘要： 本发明提供了一种干涉仪测量系统及测量方法，通过设置折光组件和回射组件实现二次衍射，还利用回射组件平行出光的效应，消除因待测目标转动导致的夹角干涉。利用回射组件，不仅可以消除夹角干涉，还能使干涉仪整体更为集成、紧凑，从而在测量中可以更好的控制干涉仪在测量环境中温度梯度，以降低环境因素对干涉仪精度的影响。
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公开(公告)号：CN114112788A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111293223.8
申请日：2021-11-03
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01N7/14
摘要： 一种材料真空放气率的测试方法及装置，包括：用真空泵对真空腔室抽真空，记录第一真空度变化曲线；将真空腔室内充入填充气体，再对真空腔室抽真空，记录第二真空度变化曲线；比较第一、第二真空度变化曲线，如不重合度超过阈值，则重复获得第二真空度变化曲线，直至前后两次第二真空度变化曲线的不重合度小于阈值；将被测材料放入真空腔室，关闭真空腔室并停止充入填充气体；再次用真空泵对真空腔室进行抽真空，记录第三真空度变化曲线；通过最后一次第二真空度变化曲线、第三真空度变化曲线，真空泵极限真空、真空泵有效抽速和真空腔室本底气载，计算被测材料放气率。本发明不需要知道真空腔体的材料、漏率等信息，即可获得被测材料的放气率。
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公开(公告)号：CN113975928A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111137191.2
申请日：2021-09-27
申请人： 清华大学
IPC分类号： B01D53/02
摘要： 本发明提供一种真空环境下的低温吸附与再生系统，该系统包括主腔室、工件台、冷板、再生系统、真空系统和制冷系统；在所述主腔室内设置有所述工件台和所述冷板；所述再生系统设置在所述冷板外围，用于所述冷板的再生；所述真空系统布置在所述主腔室的顶部外侧，用于对所述主腔室抽真空；所述制冷系统布置在所述主腔室的侧面，用于对所述冷板进行低温控制。本发明利用低温表面对气体分子高吸附的特点和可收缩薄膜展开机构提供的封闭环境，实现真空环境下高效率的气体污染控制。
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公开(公告)号：CN112051715A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202011040473.6
申请日：2020-09-28
申请人： 清华大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开一种带精密测量的可控升降装置及光刻设备，装置包括固定基座、导向座、移动组件、驱动组件，固定基座与导向座固定连接，固定基座上有轴线竖向的导向套，移动组件包括升降头、导向杆、磁钢，导向杆上端有安装孔，导向杆穿过导向套，导向杆与导向套以及固定基座、导向座之间形成气浮接触面；磁钢、升降头依次装入导向杆的安装孔，使升降头伸出导向套的上端部，驱动组件包括电机线圈和铁芯，铁芯设置在导向杆与导向套之间的环形空间内，电机线圈缠绕在铁芯上，移动组件中心有气孔，固定基座通过导向杆的气道向气孔提供正压或负压气体。本发明采用气浮接触面导向减少零部件之间的摩擦，避免颗粒产生，并提高运动精度，减少电机驱动力要求。
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公开(公告)号：CN117662613A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311524486.4
申请日：2023-11-15
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种磁流体密封高真空气浮装置和运动台，涉及高精密运动技术领域，用于解决气浮装置内增设差分抽气级数而导致其结构复杂庞大的问题。磁流体密封高真空气浮装置包括：气浮封盖，具有内腔；差分抽气件，设置在内腔内；平面气浮，设置在差分抽气件内；磁流体密封组件，其设置在气浮封盖上，且位于差分抽气件的外周；其中，差分抽气件用于降低平面气浮向边缘扩散的气体，磁流体密封组件上形成具有密封功能的磁流体膜，磁流体膜上形成第一接触面，平面气浮上形成第二接触面，待支撑件同时在第一接触面和第二接触面上滑动。本发明通过磁流体密封组件与差分抽气件相结合的方式，提升阻止气体扩散到真空腔体内的能力，同时也减少差分抽气级数。
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公开(公告)号：CN113685440B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202111011167.4
申请日：2021-08-31
申请人： 清华大学
摘要： 本发明公开一种气浮旋转组件以及包含其的磁流体密封件，气浮旋转组件包括：旋转轴，旋转轴具有环形凸台，且环形凸台的轴向两侧相背延伸都形成逐渐减小的圆形外曲面；第一轴承外圈，其径向内侧具有同轴的第一圆形内曲面，在第一轴承外圈的外周具有第一进气口，第一进气口连通至第一圆形内曲面上，第一轴承外圈套在旋转轴上，第二轴承外圈与第一轴承内圈相同，第一轴承外圈与第二轴承外圈通过紧固件同轴贴合连接，使得第一圆形内曲面、第二圆形内曲面与对应的圆形外曲面形成具有间隙的转动副。本发明的旋转轴与轴承外圈之间为无摩擦的相对转动，同时旋转轴因为受到轴承外圈沿轴向的有效支撑而具有轴向支撑力。
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公开(公告)号：CN114114849A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111298014.2
申请日：2021-11-04
申请人： 清华大学
摘要： 本发明提供了一种可拆分式真空腔室，包括可拆分的上真空腔室和下真空腔室，在所述上真空腔室的外部设置有用于固定所述上真空腔室的支撑机构；在所述下真空腔室的下方设置有升降机构，所述升降机构用于将所述下真空腔室与所述上真空腔室对接和分离，在所述上真空腔室和所述下真空腔室的对接处设置有间距控制机构，所述间距控制机构与所述升降机构电性连接，用于控制所述上真空腔室和所述下真空腔室之间的间距；在所述下真空腔室的下方设置有行走机构和行走导向机构。本发明实现了真空腔室的轻松拆分，存放物与下真空腔室一起稳定地移入移出，避免了外部装备的拆卸，保证了外部装备的稳定运行。
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