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公开(公告)号：CN107923798B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201680048824.3
申请日：2016-08-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 自相关测量装置(1A)包括第一反射部件(10A)、第二反射部件(20A)、聚光部(30)、非线性光学结晶(40)、检测部(50)、过滤部(60)、孔隙部(61)、延迟调整部(70A)和分析部(80)。入射脉冲光(L0)透过第二反射部件(20A)而入射至第一反射部件(10A)。在第一反射部件(10A)的第一反射面(11)和第二反射部件(20A)的第二反射面(22)反射的第一脉冲光(L1)以及在第一反射部件(10A)的第二反射面(12)和第二反射部件(20A)的第一反射面(21)反射的第二脉冲光(L2)，经由聚光部(30)入射至非线性光学结晶(40)。由非线性光学结晶(40)产生的二次谐波光(LSH)被检测部(50)检测。由此可以实现能够小型化的自相关测量装置。
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公开(公告)号：CN108886567A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780018766.4
申请日：2017-03-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 摄像系统(1A)包括：输出初始脉冲光(Lp)的光源(21)；使初始脉冲光(Lp)的偏光面旋转的偏光控制部(22)；光脉冲整形部(10A)，输入使偏光面旋转后的初始脉冲光(Lp)，使具有第1偏光方向的第1脉冲光(Lp1)和具有与第1偏光方向不同的第2偏光方向的第2脉冲光(Lp2)彼此具有时间差而输出；将脉冲光(Lp1)、脉冲光(Lp2)照射到摄像对象物(B)的照射光学系统(23)；基于偏光方向将在摄像对象物(B)反射或透过后的脉冲光(Lp1)、脉冲光(Lp2)分离的光分离元件(24)；对分离后的脉冲光(Lp1)进行摄像的摄像部(25)；和对分离后的脉冲光(Lp2)进行摄像的摄像部(26)。由此，实现了摄像速度能够进一步高速化的摄像系统和摄像方法。
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公开(公告)号：CN104238114B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410406348.0
申请日：2009-08-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B27/0025 , B23K26/00 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/36 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/57 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , G02B5/1876 , G02B5/32 , G02B21/0032 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/361 , G02B27/0068 , G02F1/01 , G02F2203/18
Abstract: 本发明涉及像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序。本发明的一个实施方式所涉及的像差修正方法中，在将激光聚光于具有光透过性的介质中，以使激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式，修正激光的像差。若将介质(60)的折射率设为n，将自介质(60)的入射面至透镜(50)的焦点为止的深度设为d，将通过介质(60)而产生的像差设为Δs，则该像差范围为自介质(60)的入射面起n×d以上且n×d+Δs以下。(60)内部的激光照射装置(1)的像差修正方法
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公开(公告)号：CN102138097B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN200980134183.3
申请日：2009-08-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B27/00 , B23K26/064 , B23K26/073
CPC classification number: G02B27/0025 , B23K26/00 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/36 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/57 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , G02B5/1876 , G02B5/32 , G02B21/0032 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/361 , G02B27/0068 , G02F1/01 , G02F2203/18
Abstract: 本发明涉及像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序。本发明的一个实施方式所涉及的像差修正方法中，在将激光聚光于具有光透过性的介质(60)内部的激光照射装置(1)的像差修正方法中，以使激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式，修正激光的像差。若将介质(60)的折射率设为n，将自介质(60)的入射面至透镜(50)的焦点为止的深度设为d，将通过介质(60)而产生的像差设为Δs，则该像差范围为自介质(60)的入射面起n×d以上且n×d+Δs以下。
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公开(公告)号：CN103170734A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210575113.5
申请日：2012-12-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/073
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光加工装置（1）具备光源（20）、转换来自于光源的激光的强度分布并整形为所希望的强度分布、并分别生成不同的波阵面的多个强度转换透镜（11）、将来自于强度转换透镜（11）的激光聚光于加工对象物（100）内部中的加工位置的聚光透镜（50）、在变更加工位置的情况下切换多个强度转换透镜（11）的控制部（80）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108885138B
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201780020106.X
申请日：2017-03-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 波形测量方法中，首先，将初始脉冲光(Lp)按每一个波长在空间上分散。其次，在偏振依赖型的SLM中使偏振面相对于调制轴方向倾斜的状态下，将初始脉冲光(Lp)输入至SLM，对沿调制轴方向的初始脉冲光(Lp)的第一偏振分量的相位光谱进行调制，由此，使由第一偏振分量构成的第一脉冲光(Lp1)、与由正交于该第一偏振分量的初始脉冲光(Lp)的第二偏振分量构成的第二脉冲光(Lp2)之间产生时间差。将各波长分量合成之后，向对象物(24)照射脉冲光(Lp1)、脉冲光(Lp2)，并检测产生于对象物(24)的光。一边变更脉冲光(Lp1)、脉冲光(Lp2)的时间差，一边进行上述检测处理，根据检测结果求出脉冲光(Lp1)的时间波形。由此，实现能够减少因对象脉冲光与参照脉冲光的干涉引起的噪声的脉冲光的波形测量方法及波形测量装置。
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公开(公告)号：CN108885360A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780020472.5
申请日：2017-03-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01 , G02F1/37 , G02F1/13 , G02B21/06 , B23K26/064 , B23K26/067
CPC classification number: B23K26/064 , B23K26/067 , G02B21/06 , G02F1/01 , G02F1/13 , G02F1/37
Abstract: 脉冲光生成装置(1A)具备：色散部(12)，将脉冲光按每个波长色散；偏光依赖型的空间光调制器(14)，按每个波长调制被色散的脉冲光；合成部(16)，合成从空间光调制器(14)被输出的脉冲光的各个波长成分。输入到空间光调制器(14)的脉冲光的偏光面相对于空间光调制器(14)具有调制作用的偏光方向进行倾斜。空间光调制器(14)使时间差产生于沿着偏光方向的脉冲光的第1偏光成分和与该第1偏光成分相交叉的脉冲光的第2偏光成分之间。由此，能够实现容易抑制2个脉冲光成分的时间差的变动的脉冲光生成装置。
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公开(公告)号：CN103170734B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201210575113.5
申请日：2012-12-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/073
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光加工装置（1）具备光源（20）、转换来自于光源的激光的强度分布并整形为所希望的强度分布、并分别生成不同的波阵面的多个强度转换透镜（11）、将来自于强度转换透镜（11）的激光聚光于加工对象物（100）内部中的加工位置的聚光透镜（50）、在变更加工位置的情况下切换多个强度转换透镜（11）的控制部（80）。
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公开(公告)号：CN103069328B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201180038181.1
申请日：2011-07-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/01 , G02B27/0927 , G02B27/0944 , G02B27/095 , G02B27/0977
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光整形及波阵面控制用光学系统（1）具备：强度转换透镜（24），其将入射激光的强度分布转换并整形成所期望的强度分布；光调制元件（34），其调制来自于强度转换透镜（24）的射出激光且进行波阵面控制；聚光光学系统（36），其将来自于光调制元件（34）的输出激光聚光；及成像光学系统（30），其配置于光调制元件（34）与聚光光学系统（36）之间，在将来自于强度转换透镜（24）的射出激光的强度分布成所期望的强度分布的面（24x）与光调制元件（34）的调制面（34a）之间具有入射侧成像面，且在聚光光学系统（36）的瞳孔面（36a）具有射出侧成像面。
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公开(公告)号：CN103779781A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410040066.3
申请日：2007-07-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01S3/2333 , H01S3/0057 , H01S3/027 , H01S3/0407 , H01S3/042 , H01S3/0606 , H01S3/0621 , H01S3/0623 , H01S3/08095 , H01S3/083 , H01S3/09415 , H01S3/2316 , H01S3/2325 , H01S3/235
Abstract: 本发明提供一种小型化、高输出化以及稳定化容易的光放大装置。光放大装置（1A）具备光放大部（10A）和能量供给部（30）。光放大部（10A）包括光放大介质（11）和透明介质（12）。能量供给部（30）是向光放大介质（11）供给激发能量（例如激发光）的装置。光放大介质（11）接受该激发光的供给将光放大并将其输出。并且，透明介质（12）是使光放大介质（11）中的被放大光多次通过的介质。透明介质（12），例如能够使被放大光在其内部曲折地传播。
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