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公开(公告)号：CN112485469A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011332466.3
申请日：2020-11-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01P15/097 , G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种谐振式微机械加速度计及其控制方法，属于加速度测量技术领域。质量块在受到水平敏感方向上的加速度时，发生位移变化并通过位移检测电容和CV电路转化成电压变化，该电压变化可以表征外界加速度变化；另一方面，质量块在水平方向的位移同样引起三角形调谐电容交叠面积变化，从而改变三角形调谐电容在垂直方向的静电负刚度大小，因此质量块在垂直方向上的谐振频率发生偏移，通过频率偏移变化可以从另外一个角度表征外界加速度变化，还可以通过调节三角形调谐电容的控制电压变化来补偿频率偏移，该控制电压变化也可以用来反映加速度大小，实现闭环。本发明具有两种互补检测方式，可应用于多种场合的加速度信号检测。
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公开(公告)号：CN109029409B
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201810621975.4
申请日：2018-06-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种可调谐栅结构微机械陀螺中的参量放大方法及其装置，该方法包括驱动信号产生、调谐信号产生、调谐信号放大、位移检测、幅度和相位提取五个步骤。该装置包括可调谐微机械陀螺、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、调谐信号放大电路、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换器和现场可编程门阵列芯片。本发明利用了变面积式三角形电极实现调谐结构而不会引入软弹簧效应，利用现场可编程门阵列芯片产生根号形式的调谐电压信号，能够对直流调谐能力和参量放大能力进行分开设置。该方法可被应用于微机械陀螺的驱动模态或者检测模态，也可被应用于其他种类的微机械谐振器。
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公开(公告)号：CN109709537B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201811558190.3
申请日：2018-12-19
Applicant: 浙江大学
IPC: G01S13/72
Abstract: 本发明提供一种基于卫星编队的非合作目标位置速度跟踪方法。针对利用卫星编队平台的天基测角跟踪对非合作目标观测性较差、难以实时跟踪的问题，提出了一种结合双目视觉测量与扩展卡尔曼滤波(EKF)算法的天基非合作目标位置速度跟踪方法。该方法通过双星串行编队构成的长基线进行双目测量；针对双星编队的几何特点，对目标粗测值加以修正；最后以带J2摄动项的卫星动力学模型作为系统方程，以卫星轨道坐标系到地心惯性坐标系的转移矩阵作为观测方程，对目标的位置与速度更新估计。与现有技术相比，本发明测距系统功耗较低，计算开销小，且基线长度可调节，适用于对非合作目标的位置速度实时跟踪。
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公开(公告)号：CN109229433B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201811268714.5
申请日：2018-10-29
Applicant: 浙江大学
IPC: B64G1/64
Abstract: 本发明公开了一种皮卫星星箭固定及分离装置，包括底板，卫星，连接卫星和底板的固定分离模块以及连接卫星和飞行器的停靠机构，所述固定分离模块包括至少两个固定连接单元和至少两个活动锁定单元，所述固定连接单元带有断开机构，所述固定连接单元和活动锁定单元沿周向间隔分布在所述卫星的四周；本发明的皮卫星星箭固定及分离装置，通过纯机械结构来固定和分离卫星，可以有效在火箭上固定及分离卫星并实现卫星的分离和返回停靠，结构简单，安装方便，工作稳定，研制成本低。
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公开(公告)号：CN106783801B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201611015068.2
申请日：2016-11-18
Applicant: 浙江大学 , 宁波麦思电子科技有限公司
IPC: H01L23/538 , H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种高密度SOI封装基板，包括SOI衬底基板和SiO2埋氧层，SiO2埋氧层设在SOI衬底基板的中间，把SOI衬底基板分设为隔离的器件层和衬底层，所述器件层中设有正面硅柱，所述正面硅柱与所述器件层之间设有第一绝缘环，所述衬底层中设有穿透的背面硅柱，所述背面硅柱与所述衬底层之间设有第二绝缘环；所述正面硅柱中设有金属柱，所述金属柱一端穿透SiO2埋氧层至所述背面硅柱中，所述金属柱与所述正面硅柱和所述背面硅柱均构成欧姆接触；及其制备方法。本发明从很大程度上改变了以Cu、Au、W等金属填充如TSV孔中导致热膨胀系数失配的结构，从而减小了热应力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110360998A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910576016.X
申请日：2019-06-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/66
Abstract: 本发明公开了一种基于脉冲光探测的谐振式光学陀螺的检测系统及方法。本发明首先对激光器输出的连续光进行相位调制，然后经由相位相反的两路脉冲信号驱动的脉冲光调制器，将连续光转换成脉冲光后输入光学环形谐振腔，并同步对谐振腔的顺时针和逆时针输出信号进行解调，其中一路解调输出经过伺服回路稳定激光器的频率，另外一路解调输出作为陀螺的转动信号。本发明利用脉冲光束使环形谐振腔中的顺逆时针光束在时间上分开，避免信号光和背向散射光之间的能量耦合，从而消除背向散射噪声，提高了输出信号的信噪比；同时提升了系统的互易性。
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公开(公告)号：CN109709537A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201811558190.3
申请日：2018-12-19
Applicant: 浙江大学
IPC: G01S13/72
Abstract: 本发明提供一种基于卫星编队的非合作目标位置速度跟踪方法。针对利用卫星编队平台的天基测角跟踪对非合作目标观测性较差、难以实时跟踪的问题，提出了一种结合双目视觉测量与扩展卡尔曼滤波(EKF)算法的天基非合作目标位置速度跟踪方法。该方法通过双星串行编队构成的长基线进行双目测量；针对双星编队的几何特点，对目标粗测值加以修正；最后以带J2摄动项的卫星动力学模型作为系统方程，以卫星轨道坐标系到地心惯性坐标系的转移矩阵作为观测方程，对目标的位置与速度更新估计。与现有技术相比，本发明测距系统功耗较低，计算开销小，且基线长度可调节，适用于对非合作目标的位置速度实时跟踪。
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公开(公告)号：CN109229427A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811267993.3
申请日：2018-10-29
Applicant: 浙江大学
IPC: B64G1/44
Abstract: 本发明公开了一种皮卫星太阳能帆板双自由度转动模拟装置，包括太阳能帆板以及两个自由度的驱动模块，还包括：导轨固定座；下导轨，通过所述导轨固定座固定；上导轨，位于所述下导轨的上方并通过所述导轨固定座固定；滑环，套在所述太阳能帆板外周并安装在所述下导轨和上导轨之间；上滑块，固定在所述滑环的顶部且与所述上导轨滑动配合；下滑块，固定在所述滑环的底部且与所述下导轨滑动配合；两个万向轮组件，与所述滑环配合安装，所述太阳能帆板的两侧分别与其中一个万向轮组件固定，所述驱动模块驱动所述驱动太阳能帆板自转同时在上导轨和下导轨之间滑动；本发明通过纯机械结构来模拟帆板的双自由度转动，结构简单，工作稳定，研制成本低。
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公开(公告)号：CN109150133A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810622679.6
申请日：2018-06-15
Applicant: 浙江大学
CPC classification number: H03H9/02244 , H03H9/02393 , H03H9/02433 , H03H9/02448 , H03H9/30 , H03H9/467
Abstract: 本发明公开了一种鲁棒的微机械谐振器的运动信号提取方法，本发明通过上边带同相解调、上边带正交解调、下边带同相解调和下边带正交解调可以得到上边带幅度、上边带相位、下边带幅度和下边带相位，谐振器的谐振幅度信号为上边带幅度与下边带幅度之和的二分之一，谐振器的谐振相位信号为下边带相位与上边带相位之差的二分之一，从而可以消除环境因素和驱动频率对接口电路的幅度增益和相位滞后造成的影响，实现对环境的鲁棒性。本发明原理简单，能应用于微机械谐振器的运动信号提取，如微机械陀螺。
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