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公开(公告)号：CN108181020A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201810044332.8
申请日：2018-01-17
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明公开了一种真空室活动片架在线测温系统，包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器陈列，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置。本发明的真空室活动片架测温系统，解决了传统热电偶测量系统无法在线测量活动片架温度的问题，同时采用传感器阵列解决了大片架在不同区域温度分布不均而无法全面测量的问题。
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公开(公告)号：CN108051111A
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201810043892.1
申请日：2018-01-17
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
IPC: G01K11/22
Abstract: 本发明公开了一种真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，包括置于真空室外的射频读取器、与射频读取器通过接线盘连接的置于真空室内的传输天线和与传输天线无线连接的置于真空室内的传感器单元。测温步骤为a）射频读取器通过传输天线发射一段射频脉冲给传感器单元b）传感器单元接收传输天线电信号并转化为声波信号c）传感器单元的温度变化将改变声波信号d）被改变的声波信号被传感器单元转为新的电信号返回到传输天线；e）射频读取器通过传输天线读取新的电信号f）射频读取器通过分析发送和接收的电信号区别得到传感器单元温度变化信息。本发明解决了传统热电偶温度测量系统无法测量运动对象的缺点，同时具有安装灵活，方便快捷等优点。
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公开(公告)号：CN101348896A
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200810120619.0
申请日：2008-08-27
Applicant: 浙江大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明属于溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种卷绕式双面镀膜设备；它包括真空腔体和盖板，其特征是所述盖板与真空腔体的端面相配合，在真空腔体内设有送料辊、收料辊、第一至第三展平辊、第一至第五过渡辊，所述真空腔体分别与高真空抽气装置和惰性气体充气器相连通，所述真空腔体内设有第一滚筒和第二滚筒，这两个滚筒的一侧分别设有与之相对应的等离子发生器和磁控溅射装置，所述磁控溅射装置由溅射过渡膜的磁控溅射靶和溅射导电膜的磁控溅射靶构成，所述第一滚筒的另一侧设置有第一展平辊和第三过渡辊，第二滚筒的另一侧设置有第二展平辊和第四过渡辊；具有结构紧凑、设计合理、能同时对聚合物薄膜两面进行镀覆膜层的特点。
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公开(公告)号：CN101294272A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200810062053.0
申请日：2008-05-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明属于电子材料技术领域，特别是涉及一种柔性衬底室温下溅射制备氧化铟锡透明导电薄膜的方法；其步骤包括：清洗、充工作气体、紫外线辐照、阻挡层制备、溅射氧化铟锡膜；通过在线紫外辐照，在氩氧比为(6.0～7.5)∶0.2，采用射频溅射或直流溅射，实现在室温下，在预先镀覆二氧化硅层作为扩散阻挡层的有机柔性衬底上高效无损伤制备氧化铟锡薄膜。氧化铟锡薄膜的厚度为700nm时，电阻率为3.5×10－4Ωcm，方块电阻为5Ω，可见光透过率为88％，且膜层均匀平整，不起皱，不脱落。与传统的柔性氧化铟锡薄膜制备工艺相比，本发明无需加热、工艺控制简单、对基体无损伤，适用于大面积生产，且具有良好的光电特性。
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公开(公告)号：CN101043029A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710067900.8
申请日：2007-04-09
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L25/00 , H01L25/16 , H01L23/367 , H01L23/373 , H01L23/488
Abstract: 本发明涉及一种半导体照明器件，特别是涉及高功率LED兼容集成封装模块；它包括金属散热器和LED芯片，其特征在于所述金属散热器上设有反光杯，金属散热器和反光杯表面依次设置有用薄膜技术制作的绝缘膜层和多层膜系电极层，在金属散热器上还设置了薄膜电阻，反光杯内设有LED芯片，该LED芯片倒装焊接在反光杯中的多层膜系电极层上，多层膜系电极层上设有缝隙；本发明的结构设计合理、紧凑，制作方便、成本低廉，是一种集散热器、绝缘层、内部热沉、限流电阻、反光杯、LED于一体的LED兼容集成封装模块。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1834667A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610049653.4
申请日：2006-03-01
Applicant: 浙江大学
IPC: G01R27/26
Abstract: 本发明涉及一种厚度在微米量级的介质薄膜之微波复介电常数的测量装置，它包括谐振腔、网络分析仪和介质基片，其特征在于所述谐振腔的两端设有射频耦合器，其中部设有通孔，所述介质基片用来承载介质薄膜，可插入所述通孔并两端处在谐振腔外，所述网络分析仪的输入、输出端分别与所述谐振腔的两个耦合器相连接；由于本发明在谐振腔的中部开有通孔，故能将未镀介质薄膜的介质基片和镀完介质薄膜的介质基片分别插入所述谐振腔的通孔中，获得两组谐振频率及品质因数值，进而根据所获得的两组数据再结合谐振腔、介质基片以及介质薄膜的几何尺寸，推算出介质薄膜的复介电常数，包括复介电常数的实部和损耗角正切，因此本发明是全面、精确的介质薄膜微波复介电常数的测量装置之一。
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公开(公告)号：CN1807686A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610049511.8
申请日：2006-02-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种采用干法真空镀加湿法镀复的粉末成型永磁体表面防锈处理方法，其工艺步骤是表面清洗、真空干燥、干法镀底膜和湿法镀膜；该方法将粉末成型的永磁体表面经过有机溶剂表面清洗和真空干燥后，表面真空溅射或蒸发一层防锈金属，然后放入酸性化学镀镍溶液中进行表面化学镀或进行电镀处理；由于本发明在湿法镀覆前先进行真空镀，以封闭和填塞住磁体表面微孔隙，从而克服了湿法镀残液的腐蚀，实现永磁体的长期抗锈蚀。
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公开(公告)号：CN107779830B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN201711096028.X
申请日：2017-11-09
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明公开了一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；自由环呈U型，其外侧部上对称设置有两个限位件；半圆环挡板与自由环的底端相连；连轴环呈U型，设于自由环内部，包括圆环状的底部和环状凸起部；环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧，环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环相连；连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽，环形凹槽上设有球形凹坑，滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。本发明无需使用单独配套的电机或者气缸等驱动装置，同时无需使用单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。
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公开(公告)号：CN111096750A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201911209050.X
申请日：2019-11-30
Applicant: 浙江大学
IPC: A61B5/08
Abstract: 本发明公开了一种基于石英晶振的呼吸监测装置及呼吸监测系统，涉及呼吸监测技术领域。呼吸监测装置包括石英晶振、控制单元、无线通信模块及供电电池；石英晶振的一根电极的部分表面上附着有氧化石墨烯层，该氧化石墨烯层暴露于空气中；控制单元在收到启动监测指令后，向石英晶振发送激振信号，并接收反馈信号；控制单元基于该反馈信号，获取每次呼吸的时间点及其所激发的频率下降值；控制单元在预设时间点，开启无线通信模块并发送当前阶段内的监测数据，该监测数据包括依序排布的时间点与频率下降值。该呼吸监测装置，不仅能提高传感器的监测响应速度，且能便于数据收集与传输及节省功耗，可广泛应用于临床治疗及家庭呼吸监测使用。
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