公开(公告)号：CN107779830B

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN201711096028.X

申请日：2017-11-09

申请人： 浙江大学昆山创新中心

发明人： 吴疆 ,  李东滨 ,  秦正春 ,  冯斌 ,  王德苗 ,  金浩

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 本发明公开了一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；自由环呈U型，其外侧部上对称设置有两个限位件；半圆环挡板与自由环的底端相连；连轴环呈U型，设于自由环内部，包括圆环状的底部和环状凸起部；环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧，环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环相连；连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽，环形凹槽上设有球形凹坑，滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。本发明无需使用单独配套的电机或者气缸等驱动装置，同时无需使用单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。

公开(公告)号：CN109324472A

公开(公告)日：2019-02-12

申请号：CN201811362886.9

申请日：2018-11-16

申请人： 浙江大学昆山创新中心

发明人： 李东滨 ,  吴疆 ,  谷义伟 ,  王德苗 ,  金浩 ,  冯斌

IPC分类号： G03F1/48

摘要： 本发明公开了一种掩模板保护方法，包括：步骤一、准备全新的掩模板，并对其进行预处理；步骤二、在掩模板上沉积一层纳米薄膜；步骤三、将铝箔贴敷在掩模板外表面；步骤四、去除覆盖在掩模孔上的多余铝箔。采用本发明的掩模板保护方法对传统掩模板进行保护后，可通过更换铝箔实现掩模版的重复利用，从而大大降低掩模成本。

公开(公告)号：CN107779830A

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201711096028.X

申请日：2017-11-09

申请人： 浙江大学昆山创新中心

发明人： 吴疆 ,  李东滨 ,  秦正春 ,  冯斌 ,  王德苗 ,  金浩

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： C23C14/3407 ,  C23C14/3464

摘要： 本发明公开了一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；自由环呈U型，其外侧部上对称设置有两个限位件；半圆环挡板与自由环的底端相连；连轴环呈U型，设于自由环内部，包括圆环状的底部和环状凸起部；环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧，环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环相连；连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽，环形凹槽上设有球形凹坑，滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。本发明无需使用单独配套的电机或者气缸等驱动装置，同时无需使用单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。

公开(公告)号：CN207512254U

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：CN201721483897.3

申请日：2017-11-09

申请人： 浙江大学昆山创新中心

发明人： 吴疆 ,  李东滨 ,  秦正春 ,  冯斌 ,  王德苗 ,  金浩

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 本实用新型公开了一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；自由环呈U型，其外侧部上对称设置有两个限位件；半圆环挡板与自由环的底端相连；连轴环呈U型，设于自由环内部，包括圆环状的底部和环状凸起部；环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧，环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环相连；连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽，环形凹槽上设有球形凹坑，滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。本实用新型无需使用单独配套的电机或者气缸等驱动装置，同时无需使用单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利