发明公开
CN109324472A 一种掩模板保护方法
无效 - 驳回
- 专利标题： 一种掩模板保护方法
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申请号： CN201811362886.9申请日： 2018-11-16
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公开(公告)号： CN109324472A公开(公告)日： 2019-02-12
- 发明人: 李东滨 , 吴疆 , 谷义伟 , 王德苗 , 金浩 , 冯斌
- 申请人： 浙江大学昆山创新中心
- 申请人地址： 江苏省苏州市昆山市祖冲之南路1699号R1101
- 专利权人： 浙江大学昆山创新中心
- 当前专利权人： 浙江大学昆山创新中心
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市昆山市祖冲之南路1699号R1101
- 代理机构： 南京纵横知识产权代理有限公司
- 代理商 董建林; 俞翠华
- 主分类号： G03F1/48
- IPC分类号： G03F1/48
摘要：
本发明公开了一种掩模板保护方法，包括：步骤一、准备全新的掩模板，并对其进行预处理；步骤二、在掩模板上沉积一层纳米薄膜；步骤三、将铝箔贴敷在掩模板外表面；步骤四、去除覆盖在掩模孔上的多余铝箔。采用本发明的掩模板保护方法对传统掩模板进行保护后，可通过更换铝箔实现掩模版的重复利用，从而大大降低掩模成本。
