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公开(公告)号：CN101348896A
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200810120619.0
申请日：2008-08-27
Applicant: 浙江大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明属于溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种卷绕式双面镀膜设备；它包括真空腔体和盖板，其特征是所述盖板与真空腔体的端面相配合，在真空腔体内设有送料辊、收料辊、第一至第三展平辊、第一至第五过渡辊，所述真空腔体分别与高真空抽气装置和惰性气体充气器相连通，所述真空腔体内设有第一滚筒和第二滚筒，这两个滚筒的一侧分别设有与之相对应的等离子发生器和磁控溅射装置，所述磁控溅射装置由溅射过渡膜的磁控溅射靶和溅射导电膜的磁控溅射靶构成，所述第一滚筒的另一侧设置有第一展平辊和第三过渡辊，第二滚筒的另一侧设置有第二展平辊和第四过渡辊；具有结构紧凑、设计合理、能同时对聚合物薄膜两面进行镀覆膜层的特点。
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公开(公告)号：CN103203330B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201310087257.0
申请日：2013-03-18
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种可自动除尘的太阳能电池系统，包括太阳能光伏板以及带有驱动机构的除尘刷，所述除尘刷具有环形的运动路径，该运动路径的至少一段为工作段，所述除尘刷沿工作段运动时与太阳能光伏板正面相贴合。通过改变现有太阳能光伏板除尘结构中除尘刷的运动轨迹，将堆积的灰尘带离太阳能光伏板，提高除尘效果；且本发明中除尘刷的运动轨迹为环形，驱动机构只需单向运转，简化机械结构，增加系统的平稳和可靠性。
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公开(公告)号：CN101521989A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200910097242.6
申请日：2009-03-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明属于电子元器件技术领域，特别是涉及一种金属基覆铜板、覆铜型材；其特征在于所述金属基材的整个表面设有陶瓷绝缘层，在该陶瓷绝缘层外表面上涂覆有特氟龙绝缘层，在该特氟龙绝缘层上的至少一个表面镀有复合导电金属层；它具有结构简单、设计合理、绝缘性能好、散热性能优良、性能稳定、可靠、制作成本低、可以适合传统线路刻蚀工艺的特点。
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公开(公告)号：CN100359041C
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200610049197.3
申请日：2006-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 一种电子陶瓷连续式溅射镀膜设备，包括机体和真空抽气装置，所述真空抽气装置与机体相连通，其特征在于所述机体由依次相邻、且相通的五个真空室构成，相邻的真空室之间设有隔离阀，所述五个真空室分别为预抽室、前过渡室、溅射室、后过渡室和减压室，在所述溅射室内装有相对布置的金属溅射靶，在机体内还设有相配合摩擦式工件传输装置和工件架，摩擦式工件传输装置能够将工件架输送到机体中，所述工件架能够依次送入五个真空室内，并能被输送出机体；机体外设有进片台、出片台和片架返回机构，所述的片架返回机构、进片台、摩擦式工件传输装置和出片台依次相联接成一个可连续传输工件架的环行传输线；本发明具有产量大、生产成本低、膜层均匀性好、结合力强、抗高温熔蚀等优点。
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公开(公告)号：CN100359040C
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200610048941.8
申请日：2006-01-06
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种贴片电感骨架的筒体型镀膜装置，它包括金属筒体、真空抽气装置和惰性气体充气机构，所述真空抽气装置和惰性气体充气机构分别与筒体相连通，其特征是在筒体内腔中设有清洗区、镀膜区和传递区，所述传递区内设有工件架，该工件架能以筒体中心线为轴转动，工件架上装有基片架，基片架上设有掩膜板，在筒体内设有金属溅射靶和等离子清洗装置，所述金属溅射靶位于镀膜区内，等离子清洗装置设在清洗区内，所述基片架能够被工件架传送到清洗区和镀膜区中。本发明具有结构简单、适应性广、工艺简单、节省材料、能耗低、全制程无污染、骨架结合牢固、电极层结构密实、抗熔蚀和抗拉性强、生产效率高、产品符合国际市场要求等特点，它是一种较为理想的贴片电感骨架镀膜装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1804112A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610049197.3
申请日：2006-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 一种电子陶瓷连续式溅射镀膜设备，包括机体和真空抽气装置，所述真空抽气装置与机体相连通，其特征在于所述机体由依次相邻、且相通的五个真空室构成，相邻的真空室之间设有隔离阀，所述五个真空室分别为预抽室、前过渡室、溅射室、后过渡室和减压室，在所述溅射室内装有相对布置的金属溅射靶，在机体内还设有相配合摩擦式工件传输装置和工件架，摩擦式工件传输装置能够将工件架输送到机体中，所述工件架能够依次送入五个真空室内，并能被输送出机体；机体外设有进片台、出片台和片架返回机构，所述的片架返回机构、进片台、摩擦式工件传输装置和出片台依次相联接成一个可连续传输工件架的环行传输线；本发明具有产量大、生产成本低、膜层均匀性好、结合力强、抗高温熔蚀等优点。
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公开(公告)号：CN109986508A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910378586.8
申请日：2019-05-08
Applicant: 浙江大学昆山创新中心 , 苏州求是真空电子有限公司
IPC: B25B27/14
Abstract: 本发明公开了一种抬升工具，包括套筒组件、驱动组件和夹持件，所述套筒组件包括套筒、升降杆和支撑件；所述套筒的壁上设有缺口；所述升降杆设于所述套筒内，其外表面上设有若干个凸起；所述支撑件与所述套筒的外表面相连，用于支撑柱形靶；所述驱动组件设于所述套筒的外侧，包括轴和齿轮；所述轴与套筒转动相连，所述齿轮固定套设在所述轴上，且位于套筒上的缺口处，与升降杆外壁上的凸起相啮合；所述夹持件与所述套筒的外壁相连。本发明能够克服重力的影响，采用抬举后再拧螺纹的方法，实现了单人就可以方便地完成柱形靶的安装和拆卸，相比于传统的双人安装方式，不但节省了人力，同时还提高了安装的可靠性及拆卸的方便性。
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公开(公告)号：CN103203330A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201310087257.0
申请日：2013-03-18
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种可自动除尘的太阳能电池系统，包括太阳能光伏板以及带有驱动机构的除尘刷，所述除尘刷具有环形的运动路径，该运动路径的至少一段为工作段，所述除尘刷沿工作段运动时与太阳能光伏板正面相贴合。通过改变现有太阳能光伏板除尘结构中除尘刷的运动轨迹，将堆积的灰尘带离太阳能光伏板，提高除尘效果；且本发明中除尘刷的运动轨迹为环形，驱动机构只需单向运转，简化机械结构，增加系统的平稳和可靠性。
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公开(公告)号：CN102181839B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201110149168.5
申请日：2011-06-03
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种同端进出式连续溅射镀膜设备，它包括真空腔体和真空抽气装置，所述真空抽气装置与真空腔体相连通，其特征在于所述真空腔体由相邻且相通的预抽室和溅射室两个真空室构成，两个真空室之间设有隔离阀，腔体的末端和前端分别设有盲法兰和真空锁阀，所述真空锁阀外侧设有一个装卸片台，在溅射室内设置有工件架传输装置，在预抽室内装有复合传输装置，所述溅射室内装有至少三对相对布置的磁控溅射靶，所述工件架传输装置能够与工件架相配合；具有结构紧凑、占地面积小，需要的超净区域少、吞吐量大，能耗低、膜层质量好等优点。
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公开(公告)号：CN101565278A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200910098338.4
申请日：2009-05-08
Applicant: 浙江大学
IPC: C03C17/09
Abstract: 本发明涉及一种筒体式石英晶体的双面溅射被银装置，它包括真空腔体、真空抽气机组、工件架、磁控溅射靶、射频等离子清洗器和惰性气体充气器，所述真空抽气机组和惰性气体充气器分别与真空腔体相连，其特征在于所述真空腔体中设有工件架，该工件架能转动，所述工件架上安装有能翻转的基片架，所述基片架上设有载片盘，所述载片盘上设置有石英晶体片和掩膜片，所述工件架的一侧至少设置两个带挡膜罩的磁控溅射靶，另一侧设置一个射频等离子在线清洗器，其中一个磁控溅射靶为过渡层溅射靶，其它磁控溅射靶为电极层溅射靶。由于采用了多靶磁控溅射、自转加公转的工件架和在线射频等离子清洗器结构，能够对石英基片实时清洗并双面镀覆铬加银的多层膜系结构的电极膜，所镀膜层均匀性一致性好，膜层与石英基片的结合力强，吞吐量大生产效率高，设备结构紧凑体积小，是一种理想的石英晶体被银装置。
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