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公开(公告)号：CN111025439A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911296593.X
申请日：2019-12-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种可图形化的宽波段吸收器及其制备方法，包括：(1)根据所需的吸收器带宽和吸收率，对吸收器进行模拟仿真，并优化吸收器中各层薄膜的厚度，以设计获得所需波段的宽波段吸收器；(2)清洗基底，按照设计的各层薄膜的厚度，采用真空镀膜依次在所述基底上沉积金属吸收层、介质-金属膜堆以及保护层；(3)在所述保护层上依次进行光刻胶旋涂、曝光、显影后，将掩模板图形转移到光刻胶上，以实现宽波段吸收器的图形化；(4)利用氢氟酸缓释液腐蚀去除掉暴露在遮挡胶膜外的保护层，利用铬腐蚀液腐蚀去除保护层下的介质-金属膜堆和吸收层，以获得可图形化的宽波段吸收器。该方法制备方便，成本低，便于批量化生产。
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公开(公告)号：CN105161141A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510469463.7
申请日：2015-08-04
Applicant: 浙江大学
IPC: G12B17/04
Abstract: 本发明公开了一种可见—近红外波段的超宽带吸收器及其制备方法，吸收器由基底、底部金属吸收层、锗层/金属吸收层交替膜层顶部锗层以及顶部锗层的上面的折射率逐渐减小的三层宽波段减反膜层。本发明基于金属吸收层的阻挡入射作用结合锗层的宽波段减反膜层，构建了宽波段的无透射的减反结构，实现了高效率、角度不敏感的可见—近红外波段超宽带吸收，在性能上完全超越了传统的吸收器。本发明的吸收器是紧凑的多层薄膜结构，相比于传统的宽带吸收器以及近些年提出的人工电磁吸收器，结构更加简单，避免了复杂的纳米加工技术，生产成本显著下降，生产周期显著缩短，便于大规模、批量化生产。
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公开(公告)号：CN105022106A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510470432.3
申请日：2015-08-04
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种可见-近红外波段的超宽带吸收器及其制备方法，包括：可见-近红外波段的超宽带吸收器由基底和五层光学薄膜组成，最底层薄膜为金属吸收层，在金属吸收层上面是锗层，在锗层的上面为剩余三层，由下至上材料折射率逐渐减小。本发明基于金属吸收层的阻挡入射作用结合锗层的宽波段减反膜层，构建了宽波段的无透射的减反结构，实现了高效率、角度不敏感的可见-近红外波段超宽带吸收，在性能上完全超越了传统的吸收器。本发明的吸收器是紧凑的多层薄膜结构，相比于传统的宽带吸收器以及近些年提出的人工电磁吸收器，结构更加简单，避免了复杂的纳米加工技术，生产成本显著下降，生产周期显著缩短，便于大规模、批量化生产。
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公开(公告)号：CN103413894A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310340036.X
申请日：2013-08-06
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L51/50
Abstract: 本发明公开了一种偏振吸收的透明太阳能电池，包括衬底、太阳能电池主体和封装层，所述的太阳能电池主体由透明阳极薄膜层、光电转换层和透明阴极薄膜层构成，所述的光电转化层中嵌有金属光栅。本发明提供了一种偏振吸收的透明太阳能电池，由于光电转化层内部嵌入的金属光栅的等离子体增强作用，光电转化层单位面积吸收的光子数相较传统的透明太阳能电池，提高了45.3%；同时因为光栅结构的引入，导致了电极对载流子收集面积的扩大，提高了器件的内量子效率，实现了更高的光电转化效率。
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公开(公告)号：CN102703880A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210197619.7
申请日：2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明公开了一种利用原子层沉积制备高精度光学宽带抗反射多层膜的方法，包括：1）利用原子层沉积技术，在基材上沉积第一折射率层，测得不同循环次数下的第一折射率层的厚度，并计算相应的生长速率，绘制成速率曲线；2）通过速率曲线确定稳态速率，找出过渡区的划分点，并得到该过渡区的划分点所对应的循环次数和生长速率，该循环次数和该生长速率的乘积为预沉积层厚度基准；3）在宽带抗反射多层膜初始膜系和基材之间引入一层预沉积层，并进行优化；4）利用原子层沉积技术，在新的基材按厚度优化值先沉积预沉积层，再交替沉积第二折射率层和第一折射率层，制备得到高精度光学宽带抗反射多层膜，精度极高，抗反射性能优异。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101221261A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200810059042.7
申请日：2008-01-07
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种微型超光谱集成滤光片及其制作方法。它以熔融石英或者玻璃等为光学基板，由各个尺度在微米量级且光学特性各异的滤光片在基板上二维排列构成。本发明的超光谱集成滤光片基于光学薄膜干涉原理，通过交替进行高低折射率材料真空蒸镀和半导体干法刻蚀，并由刻蚀自停止薄膜控制刻蚀深度，从而实现不同特性的滤光片在同一基板上的集成。利用半导体工艺的刻蚀和自停止技术，实现了单个元件小于20微米且光学特性可独立设计的超光谱集成滤光片。本发明制作工艺简单、体积小，可与光学成像传感器结合，构成高分辨率、轻便紧凑的成像光谱仪，在大汽、海洋、空间探测、以及医疗诊断中有广泛的应用。
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公开(公告)号：CN116500708A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310333584.3
申请日：2023-03-31
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种硬质增韧减反射膜，包括依次设于基板上的内层匹配膜堆、纳米复合膜和外层匹配膜堆；所述纳米复合膜为由交替设置的高、低硬度薄膜层堆叠而成的复合膜；所述内层匹配膜堆和外层匹配膜堆均由交替设置的高、低折射率层膜层组成。本发明同时公开了上述硬质增韧减反射膜的制备方法。本发明基于氮化物材料的高硬度，结合纳米复合多层薄膜堆叠的层间增韧，构建了关键纳米复合膜层厚度可调结构，实现了高硬度、高韧性、角度不敏感的宽波段减反射性能，在性能上克服了目前商业化的氮化硅基减反膜的脆性断裂问题。
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公开(公告)号：CN116381837A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310008511.7
申请日：2023-01-04
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供一种漫反射互补色滤光片，滤光片包括由上至下依次设置的彩色滤光膜、透明基板和漫反射单元。该滤光片在镜面反射的同时，不会对透射的光进行吸收来实现滤光，而是将透射的光通过漫反射单元均匀地漫反射回入射介质。通过对彩色滤光膜结构的设计，使入射光大部分都被均匀漫反射，只有少部分能够镜面反射，因此滤光片最终呈现的颜色就是透色光的颜色，也就是镜面反射光的互补色。同时，由于漫反射互补色滤光片对可见‑近红外波段吸收率低，其对太阳辐射能量的吸收也低，在彩色装饰、辐射制冷、无油墨印刷等领域具有巨大的应用前景。
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公开(公告)号：CN114576873A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210091749.6
申请日：2022-01-26
Applicant: 浙江大学
IPC: F24S70/60
Abstract: 本发明提供一种彩色太阳能光热转换元件，包括基底及由下至上依次设置在基底上的基底、反射层、相位调制层、吸收层和减反射层。其中，反射层、相位调制层和吸收层构造了非对称的法布里‑珀罗腔结构，对近红外波段实现高效率的吸收。并能通过改变相位调制层的厚度，交替实现干涉相消或干涉相长以实现高吸收或高反射，同时调节相应可见波段的谐振波长以实现不同的显示颜色。另外，随着减反射层厚度的逐渐变化，光热器件的减反射波段逐渐偏移，从而实现变化的视觉色彩。本发明的光热转换元件在实现高效率的太阳能吸收的同时，还具备了色彩装饰的功能，能在光热转换、清洁能源、建筑装饰等方面广泛应用，为经济、社会发展、科学技术等领域作出贡献。
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公开(公告)号：CN112799159A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202110119397.6
申请日：2021-01-28
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种紫外‑可见‑红外全波段吸收器，包括：具有中远红外波段吸收功能的基底；设置在所述基底一侧的紫外‑可见‑红外全波段减反射膜系；设置在基底另一侧的紫外‑可见‑近红外波段吸收膜系。本发明同时公开了一种紫外‑可见‑红外全波段吸收器的制备方法。本发明的紫外‑可见‑红外全波段吸收器，能够实现紫外、可见、红外波段全波段高效吸收，且结构简单，成本低，适于大面积批量化地生产。
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