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公开(公告)号:CN103364345B
公开(公告)日:2015-11-11
申请号:CN201310257782.2
申请日:2013-06-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于数字微镜元件的全反射显微镜环形扫描方法,首先在数字微镜元件上建立环形图像扫描序列;激发光通过均匀、扩束处理后入射至数字微镜元件,然后经数字微镜元件反射并通过全内反射显微物镜照射至样品上;根据所述的环形图像扫描序列,完成对样品的环形扫描。本发明还公开了一种基于数字微镜元件的全反射显微镜环形扫描装置,包括沿光路依次布置的激光光源、偏振转换器、耦合透镜组、方棒、照明透镜、数字微镜元件、成像透镜和全内反射显微物镜。本发明结构简单,扫描速度快,系统适用性强,可适用于激发光为任意波长的情况。
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公开(公告)号:CN102830102B
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201210297189.6
申请日:2012-08-21
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种基于空心聚焦光斑激发的共聚焦显微方法,包括以下步骤:1)激光光束经位相编码后转换为圆偏振光;2)将所述圆偏振光通过显微物镜聚焦到待测样品上形成空心聚焦光斑并激发荧光;3)对所述待测样品的表面进行扫描并收集激发荧光,获取不同位置的光强度信息,并计算得到相应的显微图像。本发明还公开了一种基于空心聚焦光斑激发的共聚焦显微装置。本发明的显微方法和装置可以实现更高的系统极限分辨率;且系统改动小,结构简单;成像速度与原有共聚焦系统相当。
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公开(公告)号:CN103018811A
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN201210539537.6
申请日:2012-12-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种利用原子层沉积技术制备褶皱负滤光片的方法,包括:设计一种褶皱负滤光片,得到折射率随着厚度的分布曲线,将设计的褶皱负滤光片划分成若干个折射率层;采用对称膜系等效层的方法,将每个折射率层的折射率等效为一个恒值折射率;采用第一折射率材料以及第二折射率材料,将每个折射率层分成T个循环周期数,再确定每个循环周期数内第一折射率材料的厚度d1和第二折射率材料的厚度d2;采用原子层沉积技术依次沉积折射率层,得到褶皱负滤光片。本发明利用ALD原子量级的沉积精度以及优异的重复性,克服了当前褶皱负滤光片制备过程中极薄层监控困难、设备复杂、花费昂贵等问题,精确控制厚度,制备褶皱负滤光片。
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公开(公告)号:CN101975992B
公开(公告)日:2011-11-23
申请号:CN201010298124.4
申请日:2010-09-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种焦深扩展方法,包括:将工作光束偏振转换为圆柱形偏振光并分光为两束;将其中一光束进行0~π位相编码后,与经过光学折转后的另一光束入射到同一光学合束器件形成合束的同轴光束,再经透镜聚焦后得到扩展焦深光斑。本发明还公开了一种扩展焦深的装置,包括:光源、偏振光转换器、分光器、0/π位相板、光学折转器件、光学合束器件和消复色差聚焦透镜。该方法和装置对于特定类型的聚焦光斑焦深,利用相干光作为工作光束,节省了系统成本,增加了实用性;同时扩展后的聚焦斑的焦深增加两倍以上,光束质量也有提高,聚焦光斑可以达到系统本身的衍射极限以下,且扩展后的光强分布更均匀,更有利于实际应用。
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公开(公告)号:CN103364345A
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201310257782.2
申请日:2013-06-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于数字微镜元件的全反射显微镜环形扫描方法,首先在数字微镜元件上建立环形图像扫描序列;激发光通过均匀、扩束处理后入射至数字微镜元件,然后经数字微镜元件反射并通过全内反射显微物镜照射至样品上;根据所述的环形图像扫描序列,完成对样品的环形扫描。本发明还公开了一种基于数字微镜元件的全反射显微镜环形扫描装置,包括沿光路依次布置的激光光源、偏振转换器、耦合透镜组、方棒、照明透镜、数字微镜元件、成像透镜和全内反射显微物镜。本发明结构简单,扫描速度快,系统适用性强,可适用于激发光为任意波长的情况。
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公开(公告)号:CN102703880B
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:CN201210197619.7
申请日:2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明公开了一种利用原子层沉积制备高精度光学宽带抗反射多层膜的方法,包括:1)利用原子层沉积技术,在基材上沉积第一折射率层,测得不同循环次数下的第一折射率层的厚度,并计算相应的生长速率,绘制成速率曲线;2)通过速率曲线确定稳态速率,找出过渡区的划分点,并得到该过渡区的划分点所对应的循环次数和生长速率,该循环次数和该生长速率的乘积为预沉积层厚度基准;3)在宽带抗反射多层膜初始膜系和基材之间引入一层预沉积层,并进行优化;4)利用原子层沉积技术,在新的基材按厚度优化值先沉积预沉积层,再交替沉积第二折射率层和第一折射率层,制备得到高精度光学宽带抗反射多层膜,精度极高,抗反射性能优异。
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公开(公告)号:CN102830102A
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201210297189.6
申请日:2012-08-21
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种基于空心聚焦光斑激发的共聚焦显微方法,包括以下步骤:1)激光光束经位相编码后转换为圆偏振光;2)将所述圆偏振光通过显微物镜聚焦到待测样品上形成空心聚焦光斑并激发荧光;3)对所述待测样品的表面进行扫描并收集激发荧光,获取不同位置的光强度信息,并计算得到相应的显微图像。本发明还公开了一种基于空心聚焦光斑激发的共聚焦显微装置。本发明的显微方法和装置可以实现更高的系统极限分辨率;且系统改动小,结构简单;成像速度与原有共聚焦系统相当。
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公开(公告)号:CN102122080A
公开(公告)日:2011-07-13
申请号:CN201110071090.X
申请日:2011-03-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种受激发射损耗显微镜中抑制光斑的生成方法及装置,该方法基于0/π四象限位相板聚焦,结合使用切向偏振光在显微物镜的焦点附近得到一个空心聚焦光斑,作为抑制光斑,用于脉冲或连续STED显微镜中的三维超分辨成像。该装置包括位于同轴光路上的激光器、空间光调制器、0/π四象限位相板和聚焦器件。该装置结构简单、成本低、并且在保证分辨率的情况下,可以降低STED显微镜的工作功率,避免了过强激光的漂白作用造成的对观察样品的损坏。
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公开(公告)号:CN102102989A
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN201010585069.7
申请日:2010-12-13
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于涡旋位相板的激光光束基准定标方法和装置,将激光器出射的激光,通过反射镜和角锥棱镜折转光束之后,采用涡旋位相板对激光光束进行位相编码,应用平行光束的远场干涉衍射原理,编码后的平行光束中央将产生干涉暗斑作为激光光束的位置基准,且该暗斑的位置由涡旋位相板中心点决定,不随光束飘移而变化,并且不受光斑质量的影响,最终通过电荷耦合器件获取暗点中心位置。该基准可用作直线导轨直线度误差检测的基准或者监测物体二维位置变化的基准。本发明结构简单,避免引入附加误差;系统稳定性强,有利于实际应用;定位准确且不易受周围环境影响。
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公开(公告)号:CN103018811B
公开(公告)日:2015-01-21
申请号:CN201210539537.6
申请日:2012-12-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种利用原子层沉积技术制备褶皱负滤光片的方法,包括:设计一种褶皱负滤光片,得到折射率随着厚度的分布曲线,将设计的褶皱负滤光片划分成若干个折射率层;采用对称膜系等效层的方法,将每个折射率层的折射率等效为一个恒值折射率;采用第一折射率材料以及第二折射率材料,将每个折射率层分成T个循环周期数,再确定每个循环周期数内第一折射率材料的厚度d1和第二折射率材料的厚度d2;采用原子层沉积技术依次沉积折射率层,得到褶皱负滤光片。本发明利用ALD原子量级的沉积精度以及优异的重复性,克服了当前褶皱负滤光片制备过程中极薄层监控困难、设备复杂、花费昂贵等问题,精确控制厚度,制备褶皱负滤光片。
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