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公开(公告)号：CN108469645B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201810348223.5
申请日：2018-04-18
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种偏振滤光元件，包括基底，所述基底上依次设有介质膜层和金属线栅；所述介质膜层由高、低折射率材料层交替设置而成；所述的高折射率材料层的材料选自二氧化钛、二氧化铪、五氧化二钽、氮化硅、硫化锌；所述的低折射率材料层的材料选自二氧化硅、三氧化二铝、氟化镁或其他氟化物；介质膜层中，各层厚度为10～220nm；所述的金属线栅的材料选自金、银、铝、铜或其合金。本发明还公开了该偏振滤光元件的制备方法。本发明的偏振滤光元件整体结构紧凑、制备过程简单，成本低，便于大规模、批量化生产。因此该发明的偏振滤光元件有望在显示等领域广泛应用。
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公开(公告)号：CN108710169A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810882085.9
申请日：2018-08-03
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G02B5/28
摘要： 本发明公开了一种辐射制冷滤光片，包括基板，所述的基板单面抛光，所述基板的毛面上设有金属反射层，所述基板的抛光面上依次设有中间层和顶层；所述中间层包括交替设置的A层和B层；每层A层、B层的厚度为50～400nm；所述A层的材料为二氧化硅或氧化铝，所述B层的材料为二氧化钛、氮化硅或碳化硅；或，所述A层的材料为二氧化钛或氧化铝，所述B层的材料为二氧化硅、氮化硅或碳化硅；所述顶层的材料为氟化镱、氟化钇或硫化锌；中间层与顶层共同构成在大气透明窗口(8～13um波段)波段的多谐振吸收增强器。相比于传统的滤光片，本发明的滤光片不但能长时间地在强光下工作，并且能够实现被动地辐射制冷。
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公开(公告)号：CN111025439A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911296593.X
申请日：2019-12-16
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种可图形化的宽波段吸收器及其制备方法，包括：(1)根据所需的吸收器带宽和吸收率，对吸收器进行模拟仿真，并优化吸收器中各层薄膜的厚度，以设计获得所需波段的宽波段吸收器；(2)清洗基底，按照设计的各层薄膜的厚度，采用真空镀膜依次在所述基底上沉积金属吸收层、介质-金属膜堆以及保护层；(3)在所述保护层上依次进行光刻胶旋涂、曝光、显影后，将掩模板图形转移到光刻胶上，以实现宽波段吸收器的图形化；(4)利用氢氟酸缓释液腐蚀去除掉暴露在遮挡胶膜外的保护层，利用铬腐蚀液腐蚀去除保护层下的介质-金属膜堆和吸收层，以获得可图形化的宽波段吸收器。该方法制备方便，成本低，便于批量化生产。
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公开(公告)号：CN111025439B
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201911296593.X
申请日：2019-12-16
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种可图形化的宽波段吸收器及其制备方法，包括：(1)根据所需的吸收器带宽和吸收率，对吸收器进行模拟仿真，并优化吸收器中各层薄膜的厚度，以设计获得所需波段的宽波段吸收器；(2)清洗基底，按照设计的各层薄膜的厚度，采用真空镀膜依次在所述基底上沉积金属吸收层、介质‑金属膜堆以及保护层；(3)在所述保护层上依次进行光刻胶旋涂、曝光、显影后，将掩模板图形转移到光刻胶上，以实现宽波段吸收器的图形化；(4)利用氢氟酸缓释液腐蚀去除掉暴露在遮挡胶膜外的保护层，利用铬腐蚀液腐蚀去除保护层下的介质‑金属膜堆和吸收层，以获得可图形化的宽波段吸收器。该方法制备方便，成本低，便于批量化生产。
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公开(公告)号：CN108710169B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201810882085.9
申请日：2018-08-03
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G02B5/28
摘要： 本发明公开了一种辐射制冷滤光片，包括基板，所述的基板单面抛光，所述基板的毛面上设有金属反射层，所述基板的抛光面上依次设有中间层和顶层；所述中间层包括交替设置的A层和B层；每层A层、B层的厚度为50～400nm；所述A层的材料为二氧化硅或氧化铝，所述B层的材料为二氧化钛、氮化硅或碳化硅；或，所述A层的材料为二氧化钛或氧化铝，所述B层的材料为二氧化硅、氮化硅或碳化硅；所述顶层的材料为氟化镱、氟化钇或硫化锌；中间层与顶层共同构成在大气透明窗口(8～13um波段)波段的多谐振吸收增强器。相比于传统的滤光片，本发明的滤光片不但能长时间地在强光下工作，并且能够实现被动地辐射制冷。
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公开(公告)号：CN109491002B
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201811600587.4
申请日：2018-12-26
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种基于多孔氧化铝的角度不敏感彩色滤光片，包括基底，固定在所述基底上，且孔规则均匀分布的多孔氧化铝；沉积在所述多孔氧化铝上的金属层，沉积在氧化铝表面的金属厚度大于沉积在孔内的金属厚度，且孔内金属的厚度小于孔的深度；沉积在金属表面的高折射率介质层，高折射率介质材料填充满孔；该滤光片结构简单，制备方法便捷，成本低，便于大规模、批量化生产。还公开了一种该基于多孔氧化铝的角度不敏感彩色滤光片的制备方法，该制备方法简单，适用于大面积批量化的生产，从而大大降低彩色滤光片的制备成本。
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公开(公告)号：CN109932058A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910242913.7
申请日：2019-03-28
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种基于阵列滤光片的微型光谱仪及其制备方法，所述微型光谱仪包括扩束透镜、准直透镜、阵列滤光片、探测器和上位机，所述待测光束经依次经过扩束透镜扩束、准直透镜准直后照射于阵列滤光片，经阵列滤光片调制后的透射光被探测接收并传送给上位机，经上位机处理后待测光束的光谱分布。本发明提供的基于阵列滤光片的微型光谱仪，它采用了阵列滤光片作为其色散元件，将阵列滤光片集成在探测器芯片上，其结构紧凑，制备过程简单，成本低，便于大规模、批量化生产。
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公开(公告)号：CN109491002A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811600587.4
申请日：2018-12-26
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种基于多孔氧化铝的角度不敏感彩色滤光片，包括基底，固定在所述基底上，且孔规则均匀分布的多孔氧化铝；沉积在所述多孔氧化铝上的金属层，沉积在氧化铝表面的金属厚度大于沉积在孔内的金属厚度，且孔内金属的厚度小于孔的深度；沉积在金属表面的高折射率介质层，高折射率介质材料填充满孔；该滤光片结构简单，制备方法便捷，成本低，便于大规模、批量化生产。还公开了一种该基于多孔氧化铝的角度不敏感彩色滤光片的制备方法，该制备方法简单，适用于大面积批量化的生产，从而大大降低彩色滤光片的制备成本。
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公开(公告)号：CN110274326B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201810222632.0
申请日：2018-03-16
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种日间辐射制冷器及其制备方法，日间辐射制冷器包括基板，所述基板的底面上设有反射层，所述基板的顶面上依次设有中间层和顶层；所述中间层包括交替设置的低折射率层和高折射率层；所述低折射率层的材料为二氧化钛或氧化铝；所述高折射率层的材料为二氧化硅、氮化硅或碳化硅；所述顶层的材料为氟化镁或硫化锌。本发明的日间辐射制冷器通过薄膜辐射特定波段电磁波能量的方式实现日间辐射制冷，其结构简单，制备成本低，适合大规模生产。
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公开(公告)号：CN110274326A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201810222632.0
申请日：2018-03-16
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种日间辐射制冷器及其制备方法，日间辐射制冷器包括基板，所述基板的底面上设有反射层，所述基板的顶面上依次设有中间层和顶层；所述中间层包括交替设置的低折射率层和高折射率层；所述低折射率层的材料为二氧化钛或氧化铝；所述高折射率层的材料为二氧化硅、氮化硅或碳化硅；所述顶层的材料为氟化镁或硫化锌。本发明的日间辐射制冷器通过薄膜辐射特定波段电磁波能量的方式实现日间辐射制冷，其结构简单，制备成本低，适合大规模生产。
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