一种二维多矩形微纳结构、耦入光栅及其设计优化方法

    公开(公告)号:CN118226580A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410442407.3

    申请日:2024-04-12

    Abstract: 本发明公开了一种二维多矩形微纳结构,具有二维周期性间隔设置的脊和沟槽,所述的二维多矩形微纳结构由上至下为介质层和基底,每个周期的介质层包含两个以上的垂直矩形柱状结构作为脊;其中,每个周期中所述垂直矩形柱状结构的宽度不同、长度不同、高度相同。本发明还公开了包括上述二维多矩形微纳结构的AR衍射型波导的基于微纳结构的耦入光栅及其设计优化方法。本发明提供的二维多矩形微纳结构的透射衍射(0,1)级可以在TE和TM偏振光入射时均有90%以上的均匀度,且平均衍射效率较高,在大角度范围内仍能满足波导内的全反射;本发明提供的AR衍射型波导的基于微纳结构的耦入光栅可以提高图像源入射的衍射均匀性。

    一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头

    公开(公告)号:CN116165850B

    公开(公告)日:2025-04-29

    申请号:CN202310119397.5

    申请日:2023-01-17

    Abstract: 本说明书公开了一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头,该物镜镜头包括:光焦度为负的第一透镜组、光焦度为负的第二透镜组以及光焦度为正的第三透镜组,第一透镜组中包含四个光焦度依次为正、负、负、正的透镜;第二透镜组包含三个光焦度依次为负、正、负的透镜;第三透镜组中包含四个光焦度依次为正、负、正、正的透镜;第一透镜组负责接收光源,并将光源折射至第二透镜组,第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线,并将收集的光线折射至第三透镜组,第三透镜组将光线将聚焦于基底,物镜镜头中的透镜均处于同一光轴,本说明书中的物镜镜头能够校正多种像差,特别是畸变、场曲、像散、轴向色差、倍率色差。

    一种基于旋转变焦液晶透镜的深度可调波导显示方法

    公开(公告)号:CN116841077B

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202310689589.X

    申请日:2023-06-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于旋转变焦液晶透镜的深度可调波导显示方法:显示方法包括:图像源发出的光被准直器准直,入耦合光栅将准直光耦合进入光波导板中;光在光波导板中依靠全反射传播,碰到出耦合光栅后被衍射耦出光波导板作为耦出光;耦出光经过变焦莫尔透镜后进入人眼;环境光在依次通过补偿莫尔透镜和变焦莫尔透镜后进入人眼;其中,通过控制变焦莫尔透镜中靠近人眼的元件PBOE和补偿莫尔透镜中远离人眼的元件PBOE的旋转,同步调节两个莫尔透镜的焦距,从而使波导传播的图像成像在所需的深度,而人眼看到的真实环境不受影响。该方法解决了传统波导显示系统只能将虚拟图像成像在无穷远处的问题。

    一种基于等面积随机网格的自由曲面微透镜阵列扩散片

    公开(公告)号:CN118550019B

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202411019738.2

    申请日:2024-07-29

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于等面积随机网格的自由曲面微透镜阵列扩散片。该扩散片由多个以等面积随机网格为边界的自由曲面微透镜紧密排列而成,每个微透镜之间面型互不相同且随机排布。该扩散片基于等面积随机网格进行设计,保证每个微透镜入射和出射光的能量相同。该等面积随机网格的生成方法是首先生成一个周期性的网格阵列,然后以网格顶点坐标作为变量,通过约束每个网格的面积为恒定值,去求解用顶点坐标作为变量的非线性方程组,利用数值求解方法求出网格顶点坐标的最优解,从而得到等面积随机网格。随后通过基于平行光近似的自由曲面光束强度调控模型求解随机边界的自由曲面透镜面型参数,通过反馈算法和衍射传输得到均匀的强度分布。

    一种高时空分辨双光子激光直写原位红外探测装置与方法

    公开(公告)号:CN113834515B

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202110946914.7

    申请日:2021-08-18

    Abstract: 本发明公开了一种高时空分辨双光子激光直写原位红外探测装置与方法,该装置基于光参量效应产生红外波段飞秒激光,脉冲时间短、峰值能量高;解决了传统双光子激光直写原位红外探测技术中时间分辨率低,无法实现超快动力学过程原位探测的问题。基于反射式物镜对红外飞秒激光进行聚焦,并结合共聚焦光学系统;解决了传统双光子激光直写原位红外探测技术中空间分辨率低,无法实现局部精细区域动力学过程原位探测的问题。本发明还公开了两种高时空分辨双光子激光直写原位红外探测方法,可以分别针对空间定点动力学过程,以及材料超快动力学过程进行原位探测,方法简单、适用面广、拓展性强。

    一种高均匀度定向背光模组及包含该背光模组的三维显示系统

    公开(公告)号:CN117826443A

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202410112782.1

    申请日:2024-01-26

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种高均匀度定向背光模组及包含该背光模组的三维显示系统,属于自由立体显示领域。该背光模组包括基板、光源阵列、光阑阵列、透镜阵列以及微棱镜匀光膜片。一组具有一一对应关系的光源、光阑与透镜组成一个定向匀光调控单元,实现光束的匀化与准直,而微棱镜匀光膜片可以在不影响出射光准直性的前提下,改善制造误差与拼接问题导致的照明瑕疵以及透镜面型引起的观看问题。该背光模组可以实现完全覆盖背光模组出射面的连续、大面积、高均匀度、高准直性的定向照明。三维显示系统包含上述背光模组、液晶显示元件和光场调控元件,可以提供视觉体验舒适的高性能、轻薄化裸眼三维显示。

    一种用于裸眼三维显示的直下式高均匀度定向背光系统

    公开(公告)号:CN117826442A

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202410112781.7

    申请日:2024-01-26

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于裸眼三维显示的直下式高均匀度定向背光系统,属于自由立体显示领域。该背光系统包括基板、光源阵列、光阑阵列、整形透镜阵列、菲涅尔透镜阵列以及双折射匀光层,一组具有一一对应关系的光源、光阑、整形透镜和菲涅尔透镜组成一个定向匀光调控单元,所述背光系统由阵列排布的所述定向匀光调控单元和双折射匀光层组成,可以实现连续的、高均匀度、高准直性的定向照明。而双折射匀光层可以在保持光束高准直度的情况下,改善由于制造误差导致的照明瑕疵和透镜面型引起的观看问题。裸眼三维显示系统包含上述背光系统、液晶显示元件和光场调控元件,可以实现高性能、高视觉体验、轻薄化的裸眼三维显示。

    一种基于边缘光抑制点阵产生及独立控制的并行直写装置

    公开(公告)号:CN112666803B

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202110048240.9

    申请日:2021-01-14

    Abstract: 本发明公开了一种基于边缘光抑制点阵产生及独立控制的并行直写装置,包含两路光:一路光通过镀涡旋膜MLA产生涡旋抑制光阵列,同时利用SLM控制各涡旋光的位置和形貌,结合DMD独立调控涡旋光强度,实现聚合区域大小控制;另一路光通过MLA产生激发光点阵,同时利用SLM调控各激发光位置,实现激发光和涡旋光阵列的精密重合。本发明可产生刻写点大小独立可控的高质量PPI阵列,每个PPI光斑由激发光和涡旋抑制光组成;采用相同刻写点大小的PPI阵列进行加工,具有超高分辨率、高通量和高均匀度的优势,控制刻写点大小使其具有特定分布,还能实现灰度光刻功能,加工任意高均匀度曲面结构和真三维微结构,可应用于超分辨光刻。

    一种振幅型计算全息图实现装置及方法

    公开(公告)号:CN117289563A

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202311592943.3

    申请日:2023-11-27

    Abstract: 本发明公开了一种振幅型计算全息图实现装置及方法。本发明利用边缘光抑制的超分辨激光直写实现用于极紫外光刻物镜装调的大面积振幅型计算全息图克服了激光直写技术刻写精度的不足,对比电子束直写有着更高的效率,有着操作简便、成本低廉等优势。通过补偿模块在刻写中实时进行光功率与相位调制补偿,保证了刻写系统在刻写大面积振幅型计算全息图长时间工作的稳定性与刻写精度。

    一种基于共体复用全息图的极紫外物镜装调方法

    公开(公告)号:CN116953951A

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202310759047.5

    申请日:2023-06-26

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于共体复用全息图的极紫外物镜装调方法。通过使用共体复用全息图,保证了共体复用全息图自身、凹面主镜、标准自准直反射镜的姿态位置,实现了一个共体复用全息图同时且静态地标定了多个物体,避免了极紫外光刻物镜的误差来源。干涉仪的焦点与极紫外光刻物镜的光轴上物点重合,简化了装调系统。本发明的装调方法中,误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。装调精度误差来源更少,误差更小。

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