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公开(公告)号：CN119609968A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411629017.3
申请日：2024-11-14
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明公开了一种自适应异形零件的无应力工装，属于先进制造与检测工装夹具技术领域。本发明通过固定装置、链接装置、支撑滑杆、锁紧装置和气腔等部件的协同作用，实现对异形零件的无应力支撑，避免了传统工装方法导致的零件应力集中、变形或位移问题，降低了零件损伤风险，提高了零件在极端场景中应用时的装夹稳定性。同时，工装具有灵活的响应能力，能够在高速运动或环境变化的场景中自适应调节支撑结构，保证对异形零件的无应力支撑状态。
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公开(公告)号：CN118348751B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410774633.1
申请日：2024-06-17
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻环形光瞳照明系统装调方法，优化了全息版图中的主全息相位分布。本发明光刻环形光瞳照明系统装调方法，能够实现纳米级位移、秒级角度的圆锥透镜的光轴定心装调。圆锥透镜的光轴定心误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。本发明的精度误差来源更少，误差更小。
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公开(公告)号：CN119642744B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202510163756.6
申请日：2025-02-14
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01B11/27 , G06T7/73 , G06V10/774 , G06V10/82 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种同轴光学组件光学轴位姿测量及装调方法，采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，分离各个光学组件的光学轴空间位姿，并将各个光学轴的空间位姿信息反映到干涉图中；结合基于深度学习的失调量参数解算方法，可以快速迭代、反馈光学组件的失调量，进而完成同轴光学组件的快速装调。本发明的优点在于采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，在保证测量精度的同时，可以分离出各个光学组件的光学轴空间位姿信息；通过深度学习神经网络模型分析光学轴空间位姿与失调量之间的映射关系，提高空间位姿解算、迭代效率。
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公开(公告)号：CN117369222A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311672579.1
申请日：2023-12-07
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外物镜装调全息图的制备系统和制备方法。本发明极紫外物镜装调全息图的制备系统通过光纤阵列结构的设计可以实现高通量，同一时间由于光纤阵列中有多根光纤，所以通量是常规刻写的多倍。本发明通过光纤阵列的设计，可以实现高通量刻写，提高刻写效率，同时能够生产出亚波长纳米结构的大面积计算全息片（CGH），进一步降低了计算全息片的特征线宽，线宽可以达到nm级别，采用亚波长纳米结构的大面积计算全息片，解决了现有极紫外光刻物镜系统中，非球面面形高精度检测需求。
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公开(公告)号：CN119642744A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202510163756.6
申请日：2025-02-14
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01B11/27 , G06T7/73 , G06V10/774 , G06V10/82 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种同轴光学组件光学轴位姿测量及装调方法，采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，分离各个光学组件的光学轴空间位姿，并将各个光学轴的空间位姿信息反映到干涉图中；结合基于深度学习的失调量参数解算方法，可以快速迭代、反馈光学组件的失调量，进而完成同轴光学组件的快速装调。本发明的优点在于采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，在保证测量精度的同时，可以分离出各个光学组件的光学轴空间位姿信息；通过深度学习神经网络模型分析光学轴空间位姿与失调量之间的映射关系，提高空间位姿解算、迭代效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119085479A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411596601.3
申请日：2024-11-11
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Inventor： 卞殷旭
IPC: G01B9/02001 , G01B9/02055 , G01B11/24
Abstract: 本申请涉及干涉测量技术领域，公开了一种反射式点衍射干涉仪以及面型测量方法，其中，衍射板上设有截面为椭圆形的针孔，其中：第一偏振光入射至针孔的第一主光轴，第二偏振光入射至针孔的第二主光轴，且第一偏振光和第二偏振光的偏振方向相互垂直；针孔在第一主光轴和第二主光轴方向上的投影均为圆形；第一偏振光透过针孔发生衍射形成第一球面波，作为干涉测量的参考光；第二偏振光透过针孔发生衍射形成第二球面波并照向待测镜，经待测镜反射，在紧靠针孔处聚焦并反射后，作为干涉测量的测试光，测试光与参考光经偏振移相生成瞬态移相干涉图，解决了相关技术中无法满足大数值孔径光学元件的高精度面型检测的技术问题。
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公开(公告)号：CN117369222B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311672579.1
申请日：2023-12-07
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外物镜装调全息图的制备系统和制备方法。本发明极紫外物镜装调全息图的制备系统通过光纤阵列结构的设计可以实现高通量，同一时间由于光纤阵列中有多根光纤，所以通量是常规刻写的多倍。本发明通过光纤阵列的设计，可以实现高通量刻写，提高刻写效率，同时能够生产出亚波长纳米结构的大面积计算全息片（CGH），进一步降低了计算全息片的特征线宽，线宽可以达到nm级别，采用亚波长纳米结构的大面积计算全息片，解决了现有极紫外光刻物镜系统中，非球面面形高精度检测需求。
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公开(公告)号：CN117784532A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311794572.7
申请日：2023-12-25
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种大面积相位型计算全息图的制备系统和制备方法。本发明大面积相位型计算全息图的制备方法通过设计搭建了一种大面积相位型计算全息图的制备系统，通过光刻胶激发光路中微镜阵列和微透镜阵列的设计使用，产生万束激光并行刻写，实现100mm/s的等效刻写速度，每个光束的横向最小特征尺寸达到50nm，能够实现刻写制造大面积相位型计算全息图。设计的大面积相位型计算全息图采用类光子筛结构，与传统波带片形式的计算全息图相比，能够大幅度提升面型检测的精确度，实现极紫外光刻物镜的高精度非球面面形检测。
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公开(公告)号：CN119714111A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411714730.8
申请日：2024-11-27
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01B11/24 , G01B9/02017 , G01B9/02055 , G06F17/10
Abstract: 本发明公开了一种CGH和反射镜综合检测凸非球面的系统及方法。本发明基于CGH和辅助反射镜结合子孔径拼接技术提出了一种面向大口径凸非球面的高精度检测装置及方法，本发明中仅需辅助反射镜的一次反射，降低了对辅助反射镜面形精度的要求，提高了反射镜制造的可能性。辅助反射镜倾斜放置避免了全口径光学元件中心区域无法测量的问题，传统Hindle球辅助检测时需要中心开孔的问题。并且辅助反射镜可以是平面反射镜能够避免辅助hindle球难以制作的问题。除此之外，采用子孔径拼接技术减小了CGH和辅助反射镜的制作难度。本发明为大口径凸非球面的高精度检测提供了一种易于操作的检测装置和数据处理方法。
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公开(公告)号：CN119395899A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411841259.9
申请日：2024-12-13
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种复用SLM实现菲涅尔非相干相关全息超分辨显微系统及方法，系统包括：显微镜模块、起偏模块、空间光调制模块、全息探测模块及图像处理模块；显微镜模块使用光源照射样品并将样品光收集；起偏模块包括透镜及偏振单元，形成偏振样品光；空间光调制模块包括空间光调制器及转换单元，将第二调制样品光输入至全息探测模块中；全息探测模块包括第二四分之一波片、成像透镜单元及偏振相机，图像处理模块获取偏振图像集并进行处理，得到再现图像。本方法保持了波带片图案的完整性，解决了现有菲涅尔非相干相关全息技术中随机误差及像质减弱的问题，同时提高系统的灵活性。
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