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公开(公告)号：CN119065198A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411569858.X
申请日：2024-11-06
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本申请公开了光刻掩模版、光刻污染物的处理方法、设备及光刻机，光刻掩模版包括光刻掩模基板及碱性的氮氧化钛催化层。方法包括提供真空腔室和有氢化金属性污染物的光刻掩模版，通入酸性的含氧清洗气体；提供UV光，激发氮氧化钛催化层的光催化活性，使清洗气体产生活性氧原子与氢化金属性污染物反应，产生挥发性气态化合物；将挥发性气态化合物排出。设备用于对光刻掩模版进行氢化金属性污染物的处理，设备包括箱体、真空泵、UV光源以及清洗气体源。碱性的氮氧化钛催化层便于酸性的含氧清洗气体与氮氧化钛催化层相互作用，进一步促进化学反应发生以及进一步提升清洗效果。同时解决了金属氧化物型光刻胶氢化作用产生的金属污染问题。
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公开(公告)号：CN118135238B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410570392.9
申请日：2024-05-09
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种基于X射线衬度图像的特征提取方法、系统及装置，方法包括：获取待测样品的衬度图像，包括吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像；通过预处理及增强，得到增强后吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像；通过提取边缘特征及纹理特征，得到吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像对应的边缘特征及纹理特征；基于吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像对应的边缘特征并进行形状特征提取，得到吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像对应的形状特征。本方法解决传统特征提取方法主要针对光学或数字图像的问题，通过调整优化，适应X射线衬度图像的独特属性，实现全面、准确描述图像特征的目的。
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公开(公告)号：CN118092044A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410495703.X
申请日：2024-04-24
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明属于光学测量领域，具体涉及一种液晶相移点衍射干涉仪及波像差检测方法。所述液晶相移点衍射干涉仪包括条纹对比度调节模块、液晶点衍射模块、波像差检测模块，本发明通过电光调制器、垂直线栅点衍射板和液晶点衍射板的配合使得整个系统共光路，抗振性能得到极大提升，受环境的影响减小，从而提高了待测投影物镜的波像差测量精度，并且可以利用λ/2波片的转动调节参考光和测量光之间的强度比，增强干涉条纹的对比度，进一步提高待测投影物镜的波像差测量精度。
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公开(公告)号：CN119395899A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411841259.9
申请日：2024-12-13
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种复用SLM实现菲涅尔非相干相关全息超分辨显微系统及方法，系统包括：显微镜模块、起偏模块、空间光调制模块、全息探测模块及图像处理模块；显微镜模块使用光源照射样品并将样品光收集；起偏模块包括透镜及偏振单元，形成偏振样品光；空间光调制模块包括空间光调制器及转换单元，将第二调制样品光输入至全息探测模块中；全息探测模块包括第二四分之一波片、成像透镜单元及偏振相机，图像处理模块获取偏振图像集并进行处理，得到再现图像。本方法保持了波带片图案的完整性，解决了现有菲涅尔非相干相关全息技术中随机误差及像质减弱的问题，同时提高系统的灵活性。
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公开(公告)号：CN118092044B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410495703.X
申请日：2024-04-24
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明属于光学测量领域，具体涉及一种液晶相移点衍射干涉仪及波像差检测方法。所述液晶相移点衍射干涉仪包括条纹对比度调节模块、液晶点衍射模块、波像差检测模块，本发明通过电光调制器、垂直线栅点衍射板和液晶点衍射板的配合使得整个系统共光路，抗振性能得到极大提升，受环境的影响减小，从而提高了待测投影物镜的波像差测量精度，并且可以利用λ/2波片的转动调节参考光和测量光之间的强度比，增强干涉条纹的对比度，进一步提高待测投影物镜的波像差测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117392025B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311684036.1
申请日：2023-12-11
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种X射线锥束CT位姿矫正方法、系统及装置，方法包括：获取多张X射线投影图像；对多张X射线投影图像进行分割预处理得到多张标定小球图像，基于多张标定小球图像得到所有标定小球的球心位置；得到矫正几何位姿参量，基于第三标定小球的球心位置得到摆放位置及旋转角，基于第二标定小球的球心位置与第一标定小球的球心位置之间的距离得到扭转角及倾斜角；基于矫正几何位姿参量对探测器的实际摆放位置及实际摆放角度进行矫正。本发明操作简单，几何位姿参量矫正只需一块几何位姿矫正标定板就可以实现对几何位姿参量的矫正，使得锥束CT系统后续的应用数据更加准确，同时对(56)对比文件韩玉;闫镔;李磊;李永丽;李建新.一种迭代的锥束CT螺旋轨迹几何参数标定算法.仪器仪表学报.2013,(第07期),全文.
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公开(公告)号：CN117575901A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202410043209.X
申请日：2024-01-11
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G06T3/4038 , G06T7/73 , G01N23/041 , G01N23/04 , G01N23/083
Abstract: 本发明公开一种基于多层膜劳厄透镜的X射线相衬显微拼接方法及系统，系统包括：X射线处理模块限制入射X射线的发射角并进行预聚焦，得到预聚焦X射线；光源聚焦模块对预聚焦X射线实现二维聚焦，得到X射线聚焦光源；探测器模块包括吸收光栅、闪烁体及成像单元，闪烁体位于吸收光栅后方，X射线聚焦光源经吸收光栅叠加，闪烁体转换为可见光波段，在成像单元中形成样品图像及背景图像；图像获取单元获得多幅多模态显微图像，图像拼接单元对不同区域的样品图像及背景图像形成的任意两幅多模态显微图像进行拼接处理，得到拼接显微图像。通过本方法解决了菲涅尔波带片系统成像分辨率低的问题，可以得到高分辨率大视场的显微图像。
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公开(公告)号：CN118135238A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410570392.9
申请日：2024-05-09
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种基于X射线衬度图像的特征提取方法、系统及装置，方法包括：获取待测样品的衬度图像，包括吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像；通过预处理及增强，得到增强后吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像；通过提取边缘特征及纹理特征，得到吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像对应的边缘特征及纹理特征；基于吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像对应的边缘特征并进行形状特征提取，得到吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像对应的形状特征。本方法解决传统特征提取方法主要针对光学或数字图像的问题，通过调整优化，适应X射线衬度图像的独特属性，实现全面、准确描述图像特征的目的。
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公开(公告)号：CN117575901B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410043209.X
申请日：2024-01-11
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G06T3/4038 , G06T7/73 , G01N23/041 , G01N23/04 , G01N23/083
Abstract: 本发明公开一种基于多层膜劳厄透镜的X射线相衬显微拼接方法及系统，系统包括：X射线处理模块限制入射X射线的发射角并进行预聚焦，得到预聚焦X射线；光源聚焦模块对预聚焦X射线实现二维聚焦，得到X射线聚焦光源；探测器模块包括吸收光栅、闪烁体及成像单元，闪烁体位于吸收光栅后方，X射线聚焦光源经吸收光栅叠加，闪烁体转换为可见光波段，在成像单元中形成样品图像及背景图像；图像获取单元获得多幅多模态显微图像，图像拼接单元对不同区域的样品图像及背景图像形成的任意两幅多模态显微图像进行拼接处理，得到拼接显微图像。通过本方法解决了菲涅尔波带片系统成像分辨率低的问题，可以得到高分辨率大视场的显微图像。
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公开(公告)号：CN117392025A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311684036.1
申请日：2023-12-11
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种X射线锥束CT位姿矫正方法、系统及装置，方法包括：获取多张X射线投影图像；对多张X射线投影图像进行分割预处理得到多张标定小球图像，基于多张标定小球图像得到所有标定小球的球心位置；得到矫正几何位姿参量，基于第三标定小球的球心位置得到摆放位置及旋转角，基于第二标定小球的球心位置与第一标定小球的球心位置之间的距离得到扭转角及倾斜角；基于矫正几何位姿参量对探测器的实际摆放位置及实际摆放角度进行矫正。本发明操作简单，几何位姿参量矫正只需一块几何位姿矫正标定板就可以实现对几何位姿参量的矫正，使得锥束CT系统后续的应用数据更加准确，同时对于射线源的投影角度要求精度不高，在操作实施中容易实现。
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