-
公开(公告)号：CN117826371A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410016678.2
申请日：2024-01-05
Applicant: 浙江大学宁波“五位一体”校区教育发展中心
Abstract: 本发明公开了一种长工作距离的紧凑型光谱共焦测量镜头，包括从像方至物方依次排列设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜，所述第五透镜和第六透镜组成密接的双胶合透镜，其他各透镜均为单透镜；光源出射的光束由所述第一透镜入射，由所述第六透镜出射形成色散光，所述色散光照射至被测物表面后，根据被测物所处的不同位置，反射回不同波长的反射光，所述反射光由所述第六透镜入射，由所述第一透镜出射。光谱共焦传感器，包括光源、光谱仪、光纤和上述的长工作距离的紧凑型光谱共焦测量镜头。本发明结构简单紧凑，易于装配，适应于各种工业场景。
-
公开(公告)号：CN117784532A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311794572.7
申请日：2023-12-25
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种大面积相位型计算全息图的制备系统和制备方法。本发明大面积相位型计算全息图的制备方法通过设计搭建了一种大面积相位型计算全息图的制备系统，通过光刻胶激发光路中微镜阵列和微透镜阵列的设计使用，产生万束激光并行刻写，实现100mm/s的等效刻写速度，每个光束的横向最小特征尺寸达到50nm，能够实现刻写制造大面积相位型计算全息图。设计的大面积相位型计算全息图采用类光子筛结构，与传统波带片形式的计算全息图相比，能够大幅度提升面型检测的精确度，实现极紫外光刻物镜的高精度非球面面形检测。
-
公开(公告)号：CN119714111A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411714730.8
申请日：2024-11-27
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01B11/24 , G01B9/02017 , G01B9/02055 , G06F17/10
Abstract: 本发明公开了一种CGH和反射镜综合检测凸非球面的系统及方法。本发明基于CGH和辅助反射镜结合子孔径拼接技术提出了一种面向大口径凸非球面的高精度检测装置及方法，本发明中仅需辅助反射镜的一次反射，降低了对辅助反射镜面形精度的要求，提高了反射镜制造的可能性。辅助反射镜倾斜放置避免了全口径光学元件中心区域无法测量的问题，传统Hindle球辅助检测时需要中心开孔的问题。并且辅助反射镜可以是平面反射镜能够避免辅助hindle球难以制作的问题。除此之外，采用子孔径拼接技术减小了CGH和辅助反射镜的制作难度。本发明为大口径凸非球面的高精度检测提供了一种易于操作的检测装置和数据处理方法。
-
公开(公告)号：CN119395899A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411841259.9
申请日：2024-12-13
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种复用SLM实现菲涅尔非相干相关全息超分辨显微系统及方法，系统包括：显微镜模块、起偏模块、空间光调制模块、全息探测模块及图像处理模块；显微镜模块使用光源照射样品并将样品光收集；起偏模块包括透镜及偏振单元，形成偏振样品光；空间光调制模块包括空间光调制器及转换单元，将第二调制样品光输入至全息探测模块中；全息探测模块包括第二四分之一波片、成像透镜单元及偏振相机，图像处理模块获取偏振图像集并进行处理，得到再现图像。本方法保持了波带片图案的完整性，解决了现有菲涅尔非相干相关全息技术中随机误差及像质减弱的问题，同时提高系统的灵活性。
-
公开(公告)号：CN118348751A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410774633.1
申请日：2024-06-17
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻环形光瞳照明系统装调方法，优化了全息版图中的主全息相位分布。本发明光刻环形光瞳照明系统装调方法，能够实现纳米级位移、秒级角度的圆锥透镜的光轴定心装调。圆锥透镜的光轴定心误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。本发明的精度误差来源更少，误差更小。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117826371B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410016678.2
申请日：2024-01-05
Applicant: 浙江大学宁波“五位一体”校区教育发展中心
Abstract: 本发明公开了一种长工作距离的紧凑型光谱共焦测量镜头，包括从像方至物方依次排列设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜，所述第五透镜和第六透镜组成密接的双胶合透镜，其他各透镜均为单透镜；光源出射的光束由所述第一透镜入射，由所述第六透镜出射形成色散光，所述色散光照射至被测物表面后，根据被测物所处的不同位置，反射回不同波长的反射光，所述反射光由所述第六透镜入射，由所述第一透镜出射。光谱共焦传感器，包括光源、光谱仪、光纤和上述的长工作距离的紧凑型光谱共焦测量镜头。本发明结构简单紧凑，易于装配，适应于各种工业场景。
-
公开(公告)号：CN117289563A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311592943.3
申请日：2023-11-27
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种振幅型计算全息图实现装置及方法。本发明利用边缘光抑制的超分辨激光直写实现用于极紫外光刻物镜装调的大面积振幅型计算全息图克服了激光直写技术刻写精度的不足，对比电子束直写有着更高的效率，有着操作简便、成本低廉等优势。通过补偿模块在刻写中实时进行光功率与相位调制补偿，保证了刻写系统在刻写大面积振幅型计算全息图长时间工作的稳定性与刻写精度。
-
公开(公告)号：CN116953951A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310759047.5
申请日：2023-06-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B27/62
Abstract: 本发明公开了一种基于共体复用全息图的极紫外物镜装调方法。通过使用共体复用全息图，保证了共体复用全息图自身、凹面主镜、标准自准直反射镜的姿态位置，实现了一个共体复用全息图同时且静态地标定了多个物体，避免了极紫外光刻物镜的误差来源。干涉仪的焦点与极紫外光刻物镜的光轴上物点重合，简化了装调系统。本发明的装调方法中，误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。装调精度误差来源更少，误差更小。
-
公开(公告)号：CN105572091B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201610042179.6
申请日：2016-01-21
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种叶绿素荧光探测装置，包括激发植物的激发光源，采集植物图像的摄像单元，控制单元以及用于容纳植物、激发光源和摄像单元的避光空间，所述控制单元通过调节激发光源的驱动电路控制信号的占空比使激发光源发出不同光强的测量光和作用光，所述激发光源发出作用光时的控制信号的间歇区间内插入测量光脉冲的控制信号，所述摄像单元的采集图像的控制信号与测量光脉冲的控制信号保持一致；本发明还公开了一种叶绿素荧光探测方法；本发明的装置和方法，通过同一光源实现探测和激发待测植物，实现叶绿素荧光图像的实时动态显示，提高叶绿素探测的效率和准确性。
-
公开(公告)号：CN104849250B
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201510225267.5
申请日：2015-05-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了种便携式智能植物生理状态检测系统和方法,其系统包括照明模块以及用于对待测植物进行荧光图像采集的摄像单元,所述照明模块包括:提供激发光照明的LED阵列以及设置在LED阵列发光侧的光学薄膜,该光学薄膜对待测植物荧光的反射率小于5%,该光学薄膜对LED光的反射率大于95%。本发明能够让使用者在野外条件便携地对植物进行叶绿素荧光检测,并对测量获得荧光图像进行实时地处理、分析,实时将测量结果与远程云共享服务器的数据库中的植物生理状态进行匹配,并实现数据库新样本的更新和机器学习。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
30
records
(took 0.023 seconds)
