-
公开(公告)号：CN1892524A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610101124.4
申请日：2006-07-04
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05D23/19
CPC classification number: G05D23/1917
Abstract: 一种控制方法，抑制过渡时或稳定期间的温度等的物理状态的偏差。在将工件装载在热板上开始进行热处理时，根据预先给予的调整值数据来形成目标温度的相加波形，将该相加波形加到目标温度(SP)上来进行温度控制，使用表示目标温度(SP)与工件温度的关系的干涉矩阵，将所述调整值的数据作为抑制工件的温度偏差的数据。
-
公开(公告)号：CN1847786A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610073286.1
申请日：2006-04-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B21/16 , H01L21/00 , H01L21/324 , H01L21/66
CPC classification number: C03B29/025 , G01B21/085
Abstract: 一种距离估计装置、异常检测装置、温度调节器及热处理装置。在使被处理物接近热板而进行的热处理中，可以估计被处理物和热板的距离。基于载置并作为被处理物进行热处理的工件的热板(1)的温度信息，例如热板(1)的温度的斜率的绝对值，通过由距离估计部件(7)估计工件和热板(1)的距离，由判定部件(8)比较估计的距离和阈值，从而判定有无异常。
-
公开(公告)号：CN102193569A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110044667.8
申请日：2011-02-24
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05D23/30
CPC classification number: H05B3/746 , H05B2213/03 , H05B2213/07
Abstract: 在行/列方向上经由开关元件配置多个加热器而实现了布线的简化的温度控制系统中，缓解任意加热器中的来自其他加热器的漏电流的影响。将以多行/多列配置在加热板(7)上的多个加热器(8i、j)按每一行、每一列公共连接到布线(9i、10j)。将每行的布线(9i)分别经由开关元件(4i)公共连接到交流电源(6)的一极侧。将每列的布线(10j)分别经由开关元件(5j)连接到交流电源(6)的另一极侧。通过最适合周期控制对目标加热器(8i、j)输出触发脉冲输出(触发指令)。在更新目标加热器(8i、j)的最适合周期控制中的输出误差累积(∑i、j(n))时，从输出误差累积(∑i、j(n))减去干扰操作量(MVIi、j(n))。
-
公开(公告)号：CN101778498A
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN200910265641.9
申请日：2009-12-28
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: H05B3/74 , H05B2213/03 , H05B2213/07
Abstract: 本发明的布线结构、加热器驱动装置、测量装置以及控制系统削减加热器或传感器等的布线数目和开关元件数目。将用于加热加热板(10)的9个加热器(6-1～6-9)矩阵连接到行方向的3条第1电力线(L1-1～L1-3)和列方向的第2电力线(L2-1～L2-3)之间，将各个第1电力线(L1-1～L1-3)分别经由3个开关元件与电源的一端连接，另一方面，各个第2电力线(L2-1～L2-3)分别经由3个开关元件与电源的另一端连接，通过控制各个开关元件的开通关闭，选择要驱动的加热器，与各个加热器单独布线的以往例子相比，削减电力线以及开关元件。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100433070C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200510051791.1
申请日：2005-02-24
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 一种目标值加工装置(1)，具备：输入表示控制过程的目标值的目标值信号的输入部(1a)；将输入到输入部(1a)的目标值信号整形为适于执行控制过程的调节器(3)的控制处理的信号形状的目标值整形器(6)；将由目标值整形器(6)整形的整形目标值信号输出到调节器(3)的输出部(1b)，从而对调节器(3)丝毫不加改良就能实现复杂的控制过程。
-
公开(公告)号：CN100381784C
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200610073286.1
申请日：2006-04-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B21/16 , H01L21/00 , H01L21/324 , H01L21/66
CPC classification number: C03B29/025 , G01B21/085
Abstract: 一种距离估计装置、异常检测装置、温度调节器及热处理装置。在使被处理物接近热板而进行的热处理中，可以估计被处理物和热板的距离。基于载置并作为被处理物进行热处理的工件的热板(1)的温度信息，例如热板(1)的温度的斜率的绝对值，通过由距离估计部件(7)估计工件和热板(1)的距离，由判定部件(8)比较估计的距离和阈值，从而判定有无异常。
-
公开(公告)号：CN1975619A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610001462.0
申请日：2006-01-17
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明中，可以容易地进行为在连续炉(3)中按所期望的温度曲线对玻璃基板(2)进行热处理，而对各炉(31～33)的设定温度的调整作业。使用模型以矩阵推定在改变各炉(31～33)的设定温度时，连续炉(3)的各观测点处的玻璃基板(2)的温度变化，使用该矩阵的逆矩阵算出补偿值，并根据该算出值补偿设定温度以使玻璃基板(2)的温度在上述各观测点处变为所期望的温度曲线的温度。
-
公开(公告)号：CN1195251C
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：CN02154857.9
申请日：2002-12-02
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05D23/32
CPC classification number: G05B17/02 , G05B13/042
Abstract: 一种控制装置，其在使用模型进行的控制中，即使在目标值响应或外界干扰响应时，也抑制上冲及波动等。其手段是，在目标值响应时，将空耗时间补偿器(4)的输出供给PID运算手段(3)的输入侧，同时用强的PID增益进行空耗时间补偿控制，另一方面，目标值响应时之外，不将空耗时间补偿器(4)的输出提供给PID运算手段(3)的输入侧，用弱的PID增益进行通常的PID控制。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.018 seconds)
