公开(公告)号：CN1847786A

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN200610073286.1

申请日：2006-04-07

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 山田隆章 ,  南野郁夫 ,  尾崎史典

IPC: G01B21/16 ,  H01L21/00 ,  H01L21/324 ,  H01L21/66

CPC classification number: C03B29/025 ,  G01B21/085

Abstract: 一种距离估计装置、异常检测装置、温度调节器及热处理装置。在使被处理物接近热板而进行的热处理中，可以估计被处理物和热板的距离。基于载置并作为被处理物进行热处理的工件的热板(1)的温度信息，例如热板(1)的温度的斜率的绝对值，通过由距离估计部件(7)估计工件和热板(1)的距离，由判定部件(8)比较估计的距离和阈值，从而判定有无异常。

公开(公告)号：CN100381784C

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200610073286.1

申请日：2006-04-07

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 山田隆章 ,  南野郁夫 ,  尾崎史典

IPC: G01B21/16 ,  H01L21/00 ,  H01L21/324 ,  H01L21/66

CPC classification number: C03B29/025 ,  G01B21/085

Abstract: 一种距离估计装置、异常检测装置、温度调节器及热处理装置。在使被处理物接近热板而进行的热处理中，可以估计被处理物和热板的距离。基于载置并作为被处理物进行热处理的工件的热板(1)的温度信息，例如热板(1)的温度的斜率的绝对值，通过由距离估计部件(7)估计工件和热板(1)的距离，由判定部件(8)比较估计的距离和阈值，从而判定有无异常。

公开(公告)号：CN101054093A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200710096001.0

申请日：2007-04-10

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 伊藤英明 ,  尾崎史典 ,  堤由美 ,  小松真弓 ,  鞍谷真一

IPC: B62D6/08 ,  B62D5/04

CPC classification number: B62D6/008 ,  B62D5/0463 ,  B62D6/007

Abstract: 本发明的感性识别装置输出用于确定在操作操作对象装置时的操作感的感性指标，包括：操作对象装置，对应于从用户施加的力，操作部件活动从而进行动作；助力附加装置，对操作部件的活动施加助力；感性识别信息存储单元，存储了将表示从用户对操作部件施加的力的操作力参数的值、以及表示按照用户的操作助力附加装置动作的状态的操作响应参数的值的组合，与感性指标对应的感性识别信息；操作力参数检测装置，检测操作力参数的值；操作响应参数检测装置，检测操作响应参数的值；感性判定单元，根据由操作力参数检测装置检测的操作力参数的值以及由操作响应参数检测装置检测的操作响应参数的值的组合，和感性识别信息，确定并输出该感性指标。