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公开(公告)号：CN114731149A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080080825.2
申请日：2020-07-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 压电装置(100)包括外侧基部(110)、突出基部(120)以及仅一个悬臂梁部(130)。突出基部(120)具有突出部(121)和顶端部(122)。突出部(121)从外侧基部(110)的内周面(111)朝向环状的中央(C)突出。顶端部(122)连接于突出部(121)且位于上述中央(C)。悬臂梁部(130)连接于顶端部(122)，与突出部(121)分开且伸出。悬臂梁部(130)具有固定端部(131)和自由周端部(132)。固定端部(131)连接于顶端部(122)。自由周端部(132)位于沿着内周面(111)的位置。突出部(121)位于自由周端部(132)的一端(132a)与另一端(132b)之间。
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公开(公告)号：CN114402447A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202080064677.5
申请日：2020-05-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/187 , H01L41/29 , H01L41/313 , H01L41/332 , H01L41/337
Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)以及第2电极层(130)。压电体层(110)具有第1面(111)和第2面(112)。第2面(112)位于与第1面(111)相反的那一侧。第1电极层(120)设于第1面(111)上。第2电极层(130)设于第2面(112)上。第2电极层(130)至少局部隔着压电体层(110)而与第1电极层(120)相对。第2电极层(130)含有硅作为主要成分。压电体层(110)由单晶形成。
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公开(公告)号：CN113826408A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202080035943.1
申请日：2020-04-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电装置(100)包括基板(110)、压电元件(120)以及盖部(130)。压电元件(120)包含基部(121)和膜片部(122)。基部(121)位于第1主面(111)上，并且，在从第1主面(111)的法线方向观察时具有环状的外形。膜片部(122)在从法线方向观察时位于基部(121)的内侧。盖部(130)位于第1主面(111)上，在第1主面(111)侧与压电元件(120)分开且覆盖压电元件(120)。基板(110)在与膜片部(122)面对的位置形成有从第1主面(111)到达第2主面(112)的第1贯通孔(113)。在膜片部(122)形成有贯通狭缝(123)。
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公开(公告)号：CN113261308A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201980079191.6
申请日：2019-08-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H04R17/00 , H01L41/09 , H01L41/113
Abstract: 板状部(121)具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部(123)连接的多个第1连接区域(121R)。多个第1连接区域(121R)沿着板状部(121)的外周侧面(121S)的周向而位于相互隔开间隔的位置。基端部(122)具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部(123)连接的多个第2连接区域(122R)。多个第2连接区域(122R)沿着上述周向而位于相互隔开间隔的位置。连接部(123)具有如下形状：在从多个第1连接区域(121R)之中的任意的第1连接区域(121R)向板状部(121)的外周侧延伸并通过多个第2连接区域(122R)之中的任意的第2连接区域(122R)的多个虚拟直线(L)上分别由于设置于隔膜部(120)的至少一个槽部(124)而变得不连续。
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公开(公告)号：CN112470298A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201980049523.6
申请日：2019-07-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , B81B7/02 , H01L41/09 , H03H9/17
Abstract: MEMS器件(101)具备由压电体的单晶构成的压电层(10)、配置于压电层(10)的第一方向(91)的表面的第一电极(14)、以及配置为覆盖压电层(10)的第一方向(91)的表面的作为第一层的中间层(3)。压电层(10)的至少一部分包含在膜片部(6)中。第一电极(14)被第一层(3)覆盖且具有凹部。压电层(10)在与第一电极(14)的至少一部分对应的位置处具有贯通孔(18)，该贯通孔(1g)贯穿压电层(10)，使得将压电层(10)的与第一方向(91)相反的一侧即第二方向(92)的表面与所述凹部连结。
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公开(公告)号：CN113826408B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202080035943.1
申请日：2020-04-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电装置(100)包括基板(110)、压电元件(120)以及盖部(130)。压电元件(120)包含基部(121)和膜片部(122)。基部(121)位于第1主面(111)上，并且，在从第1主面(111)的法线方向观察时具有环状的外形。膜片部(122)在从法线方向观察时位于基部(121)的内侧。盖部(130)位于第1主面(111)上，在第1主面(111)侧与压电元件(120)分开且覆盖压电元件(120)。基板(110)在与膜片部(122)面对的位置形成有从第1主面(111)到达第2主面(112)的第1贯通孔(113)。在膜片部(122)形成有贯通狭缝(123)。
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公开(公告)号：CN111033774B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN201880052416.4
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电器件具备：压电体(10)，至少一部分能够进行弯曲振动；上部电极(22)，配置在压电体(10)的上表面上，其中，该上部电极越远离压电体(10)的上表面，晶格的应变越被缓和；下部电极(21)，配置在压电体(10)的下表面上，其中，该下部电极越远离压电体(10)的下表面，晶格的应变越被缓和；以及支承基板(40)，配置在压电体(10)的下方，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电体(10)的下表面上的凹部(141)。
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公开(公告)号：CN111095585B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN201880059615.8
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电器件具备：至少一部分能够弯曲振动且极化状态相同的压电单晶体(10)、配置在压电单晶体(10)的上表面上的上部电极(22)、配置在压电单晶体(10)的下表面上的下部电极(21)、和配置在压电单晶体(10)的下方的支承基板(40)，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电单晶体(10)的下表面上的凹部(141)。
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公开(公告)号：CN114761143B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202080081626.3
申请日：2020-07-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 在压电装置(100)中，悬臂梁部(120)具有固定端部(121)和自由端部(122)。板状部(130)具有相对端部(131)、支承端部(132)、第1侧方支承端部(133)以及第2侧方支承端部(134)。相对端部(131)与自由端部(122)相对。支承端部(132)在悬臂梁部(120)的延伸方向上位于与相对端部(131)侧相反的那一侧。板状部(130)在支承端部(132)的至少局部、第1侧方支承端部(133)的至少局部以及第2侧方支承端部(134)的至少局部连接于内侧面(111)。
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公开(公告)号：CN113016196B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201980074863.4
申请日：2019-08-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H04R17/00 , B81B3/00 , H01L41/053 , H01L41/113
Abstract: 多个梁部(120)各自的端部(121)被基部靠上侧的位置向远离基部(110)的方向延伸。多个梁部(120)各自包含多个层。多个梁部(120)各自包含压电体层(122)、配置在压电体层(122)的上侧的上部电极层(123)、和配置为夹着压电体层(122)与上部电极层(123)的至少一部分对置的下部电极层(124)。固定部(130)配置在梁部(120)上，使得与基部(110)夹着多个梁部(120)各自的端部(121)。固定部(130)在上下方向上位于与基部(110)的至少一部分重叠的位置，并且在梁部(120)的延伸方向上延伸，使得比基部(110)突出。(110)支承，多个梁部(120)各自在比基部(110)
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