带有半λ介电层的横向激励的薄膜体声学谐振器

    公开(公告)号:CN119324690A

    公开(公告)日:2025-01-17

    申请号:CN202411314872.5

    申请日:2020-03-16

    Abstract: 公开了声学谐振器器件和滤波器。一种声学谐振器器件,包括:一基板,具有一表面;一单晶压电板,具有正面和背面,所述背面附接到所述基板的表面上,除了一部分的压电板未附接到所述基板的表面上,其中这部分的压电板形成了隔膜,所述隔膜跨越所述基板中的腔。一叉指换能器(IDT),在所述单晶压电板的正面上形成,使得IDT的交错指状物设置在所述隔膜上。所述压电板和IDT配置为使得施加到IDT的射频信号激励所述隔膜中的剪切主声模。一半λ介电层,在所述压电板的正面和背面中的其中一面上形成。

    带有半λ介电层的横向激励的薄膜体声学谐振器

    公开(公告)号:CN113615083B

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202080018468.7

    申请日:2020-03-16

    Abstract: 公开了声学谐振器器件和滤波器。一种声学谐振器器件,包括:一基板,具有一表面;一单晶压电板,具有正面和背面,所述背面附接到所述基板的表面上,除了一部分的压电板未附接到所述基板的表面上,其中这部分的压电板形成了隔膜,所述隔膜跨越所述基板中的腔。一叉指换能器(IDT),在所述单晶压电板的正面上形成,使得IDT的交错指状物设置在所述隔膜上。所述压电板和IDT配置为使得施加到IDT的射频信号激励所述隔膜中的剪切主声模。一半λ介电层,在所述压电板的正面和背面中的其中一面上形成。

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