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公开(公告)号：CN104137219B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201380011581.2
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
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公开(公告)号：CN103858204B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280048835.3
申请日：2012-09-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/226 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2007 , H01J2237/204 , H01J2237/2602 , H01J2237/2608
Abstract: 本发明提供能使用便利性良好地利用带电粒子技术及光学技术可靠地对试样进行检查或观察的检查装置、观察装置。检查或观察装置具备：第一框体(7)，其形成第一空间(11)的至少一部分，该第一空间(11)构成从带电粒子照射部放出的一次带电粒子线到达试样期间的至少一部分的区域且能维持成真空状态；第二框体(121)，其设于该第一框体(7)，形成能收纳所述试样的第二空间(12)的至少一部分；隔壁部(10)，其配置于从所述带电粒子照射部照射出的一次带电粒子线向试样上照射时的所述带电粒子照射部的同轴上，将所述第一空间与所述第二空间隔开；光学式观察部，其对所述试样照射光，从与所述带电粒子照射部相同的方向检测来自所述试样的光。
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公开(公告)号：CN104137219A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380011581.2
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
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公开(公告)号：CN104094096A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380007954.9
申请日：2013-02-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G01N1/30 , G01N1/28 , G01N1/2806 , G01N1/31 , G01N1/34 , H01J37/20 , H01J2237/2608 , H01J2237/28
Abstract: 减少水生生物内外的渗透压差，防止从生物试样内部的脱水，由此，不会破环浸渍于离子液体水溶液中的水生生物的自然的形态，且保持外骨骼及关节部的柔软性。首先向浓度低的离子液体投入水生生物，使离子液体的浓度连续升高，由此在保持水生生物的生物体时的形状的状态下，将水生生物内的水分置换成浓度高的离子液体水溶液。通过利用自然干燥产生的缓慢的离子液体水溶液的浓度上升，由此减少水生生物内外的渗透压差并使水生生物内部的离子液体浓度连续升高。
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公开(公告)号：CN103168221A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201180048642.3
申请日：2011-09-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N1/28 , G01N23/225 , H01J37/20
CPC classification number: G01N23/2202 , G01N1/2813 , G01N23/2251 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/2002 , H01J2237/2605
Abstract: 使漂浮在离子液体表面的微小试样不被离子液体覆盖而通过扫描电子显微镜观察。通过使漂浮性或者疏水性试样浮于亲水性离子液体水溶液表面，防止微小试样被离子液体覆盖。在亲水性试样的情况下，使用疏水性离子液体。通过使用粘性低、流动性大的离子液体水溶液，微小试样能够在离子液体表面自由地凝集、分散、排列，进而使沉降在离子液体中的微小试样能够再浮起。微小试样的形态稳定后，为了使在扫描电子显微镜下的观察容易，通过在电子显微镜观察前使离子液体水溶液干燥，使离子液体水溶液的流动性降低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106158567B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201610517840.4
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明提供一种荷电粒子束装置、试样观察系统。该荷电粒子束装置具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。
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公开(公告)号：CN104094375B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380007984.X
申请日：2013-02-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: C23C14/221 , H01J37/3178 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735
Abstract: 本发明的目的在于提供在带电粒子线装置的真空室内不使用气相沉积法等而进行布线加工的布线方法及带电粒子线装置。为了达到上述目的，本发明提供如下的布线方法及带电粒子线装置，即，向试样上滴下离子液体或预先在载置试样的试样台上准备离子液体，向布线加工起点与布线加工终点之间的布线轨道上照射带电粒子线而形成由离子液体构成的布线。根据这样的结构，能不使用气相沉积法等而在带电粒子线装置的真空室内进行布线加工。
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公开(公告)号：CN103168221B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201180048642.3
申请日：2011-09-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N1/28 , G01N23/225 , H01J37/20
CPC classification number: G01N23/2202 , G01N1/2813 , G01N23/2251 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/2002 , H01J2237/2605
Abstract: 使漂浮在离子液体表面的微小试样不被离子液体覆盖而通过扫描电子显微镜观察。通过使漂浮性或者疏水性试样浮于亲水性离子液体水溶液表面，防止微小试样被离子液体覆盖。在亲水性试样的情况下，使用疏水性离子液体。通过使用粘性低、流动性大的离子液体水溶液，微小试样能够在离子液体表面自由地凝集、分散、排列，进而使沉降在离子液体中的微小试样能够再浮起。微小试样的形态稳定后，为了使在扫描电子显微镜下的观察容易，通过在电子显微镜观察前使离子液体水溶液干燥，使离子液体水溶液的流动性降低。
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公开(公告)号：CN103733298B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280039452.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
Abstract: 近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
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公开(公告)号：CN103858204A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201280048835.3
申请日：2012-09-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/226 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2007 , H01J2237/204 , H01J2237/2602 , H01J2237/2608
Abstract: 本发明提供能使用便利性良好地利用带电粒子技术及光学技术可靠地对试样进行检查或观察的检查装置、观察装置。检查或观察装置具备：第一框体(7)，其形成第一空间(11)的至少一部分，该第一空间(11)构成从带电粒子照射部放出的一次带电粒子线到达试样期间的至少一部分的区域且能维持成真空状态；第二框体(121)，其设于该第一框体(7)，形成能收纳所述试样的第二空间(12)的至少一部分；隔壁部(10)，其配置于从所述带电粒子照射部照射出的一次带电粒子线向试样上照射时的所述带电粒子照射部的同轴上，将所述第一空间与所述第二空间隔开；光学式观察部，其对所述试样照射光，从与所述带电粒子照射部相同的方向检测来自所述试样的光。
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