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公开(公告)号：CN111307876A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201811514190.3
申请日：2018-12-11
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种用于检测二氧化氮的气体传感器及其制备方法。该传感器具有多层膜结构，包括硅基基底、绝缘层、电极层、气体敏感层，其中气体敏感层有石墨烯及复合在石墨烯表面的单层MoS2薄膜构成。其制备方法包括以下步骤：(1)清洗硅晶圆衬底；(2)热氧化硅晶圆生成氧化硅绝缘层；(3)利用光刻工艺在氧化硅绝缘层上形成电极图形层；(4)在电极层上形成石墨烯层；(5)在石墨烯层上形成单层MoS2材料。本发明的气体传感器对NO2气体具有低的检测限，高灵敏度和低的响应时间等优点。本发明的气体传感器具有结构简单，与现有硅基电子器件制备技术兼容，能够进行低温、低成本制备等特点。
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公开(公告)号：CN118501229B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202410962970.3
申请日：2024-07-18
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司 , 有研(广东)新材料技术研究院
IPC: G01N27/327 , G01N33/574 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种电化学微针生物传感器及其制备方法，所述生物传感器为三电极体系，包括工作电极、对电极和参比电极，三电极的基底材料均为硅基高密度微针阵列；其中工作电极为溅射金层的硅基高密度微针，表面沉积枝晶结构的金纳米颗粒，通过Au‑S键结合了具有高特异性的癌胚抗原(CEA)适配体；本发明提供的电化学微针生物传感器采用高密度硅基微针阵列构建三电极体系检测组织液中的癌胚抗原，工作电极具有枝晶结构的金纳米颗粒，优选的提高活性表面积，三电极一体的贴片式结构操作便捷，能够实现无创快速检测，并且检测灵敏度高、特异性好、检测限低，为癌胚抗原等肿瘤生物标志物的检测提供了简便、快捷的方法。
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公开(公告)号：CN113921652B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202110966566.X
申请日：2021-08-23
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: H01L31/18 , H01L31/0352
Abstract: 一种III‑V族半导体超晶格量子点的制备方法，包括：(1)通过分子束外延法(MBE)在衬底表面外延生长缓冲层，在所述缓冲层表面生长至少一层的超晶格外延层；(2)在超晶格外延层表面沉积III族金属液滴，通过升高衬底温度，实现金属液滴向下刻蚀；(3)通入V族分子束流后，冷却至室温，获得超晶格量子点。本发明方式灵活、简单，通过控制金属液滴尺寸可实现对量子点尺寸分布的控制，且改变金属液滴种类及所刻蚀的超晶格材料体系，可获得不同种类的超晶格量子点材料。
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公开(公告)号：CN113921652A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202110966566.X
申请日：2021-08-23
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: H01L31/18 , H01L31/0352
Abstract: 一种III‑V族半导体超晶格量子点的制备方法，包括：(1)通过分子束外延法(MBE)在衬底表面外延生长缓冲层，在所述缓冲层表面生长至少一层的超晶格外延层；(2)在超晶格外延层表面沉积III族金属液滴，通过升高衬底温度，实现金属液滴向下刻蚀；(3)通入V族分子束流后，冷却至室温，获得超晶格量子点。本发明方式灵活、简单，通过控制金属液滴尺寸可实现对量子点尺寸分布的控制，且改变金属液滴种类及所刻蚀的超晶格材料体系，可获得不同种类的超晶格量子点材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113244936A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110319499.2
申请日：2021-03-25
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: B01J27/138 , B01J27/135
Abstract: 本发明公开了属于半导体纳米光电材料生长技术领域的一种内建电场增强的卤氧铋核壳复合结构光催化材料及制备方法。所述卤氧铋核壳复合结构最内层为p型半导体材料，最外层为n型半导体材料；最内层和最外层间设置i型半导体材料作为过渡层。本发明利用能带可调的p型卤氧化铋半导体材料，与厚度可控的氧化铝或氧化镁等氧化物绝缘半导体材料，以及n型的氧化锌或氧化钛等宽带半导体材料构成核壳复合结构，并引入并调控内建电场强度，有效促进光生载流子分离。构建具有p‑i‑n结构的，即内建电场增强的光催化材料。
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公开(公告)号：CN111039576A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911345826.0
申请日：2019-12-24
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: C03C17/36 , C01G23/047 , H01L51/42 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种用于钙钛矿太阳能电池的二氧化钛纳米花结构介孔层制备方法，所述介孔层为纳米花结构TiO2，通过水热工艺控制，优化纳米花结构TiO2的形貌，通过旋涂工艺控制，优化介孔层的厚度。由于介孔层有利于电子空穴对分离和电子的传输，可提高钙钛矿太阳能电池的能量转换效率。
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公开(公告)号：CN119510745A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202510090388.7
申请日：2025-01-21
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N33/53 , G01N33/68 , G01N33/577 , G01N21/3581 , G01N21/59 , G01N21/01
Abstract: 本申请涉及太赫兹超材料生物传感器技术领域，具体涉及一种明暗模态耦合的太赫兹全介质生物传感器及制备方法。本发明通过阳极键合‑光刻图形化‑刻蚀‑特异性抗体修饰得到全介质超材料生物传感器，该传感器包括介质层和衬底层，介质层由全介质超材料的开口环结构和棒状结构交替组成阵列，开口环结构的两端对称开口，且开口连线与棒状结构平行，棒状结构与左右两侧开口环结构的距离分别为u和v，且5μm≥|v‑u|≥1μm。本发明传感器的介质层中通过将棒状结构作为明模态，开口环结构作为暗模态，两套阵列相互作用，实现明暗模态耦合，使谐振峰劈裂，增大Q因子和灵敏度，使得传感器在太赫兹波段对于低浓度生物样品检测具有高灵敏度及低检测限效果，且方法稳定可靠。
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公开(公告)号：CN118501229A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410962970.3
申请日：2024-07-18
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司 , 有研(广东)新材料技术研究院
IPC: G01N27/327 , G01N33/574 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种电化学微针生物传感器及其制备方法，所述生物传感器为三电极体系，包括工作电极、对电极和参比电极，三电极的基底材料均为硅基高密度微针阵列；其中工作电极为溅射金层的硅基高密度微针，表面沉积枝晶结构的金纳米颗粒，通过Au‑S键结合了具有高特异性的癌胚抗原(CEA)适配体；本发明提供的电化学微针生物传感器采用高密度硅基微针阵列构建三电极体系检测组织液中的癌胚抗原，工作电极具有枝晶结构的金纳米颗粒，优选的提高活性表面积，三电极一体的贴片式结构操作便捷，能够实现无创快速检测，并且检测灵敏度高、特异性好、检测限低，为癌胚抗原等肿瘤生物标志物的检测提供了简便、快捷的方法。
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公开(公告)号：CN118380862A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410329941.3
申请日：2024-03-21
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种锑化物纳米线激光器及其制备方法。该激光器包括设置在衬底上的GaSb/AlAsSb DBR层、设置GaSb/AlAsSb DBR层上的GaSb/AlGaSb/GaInSb核壳量子阱，所述GaSb/AlGaSb/GaInSb核壳量子阱具有以GaSb纳米线为核，以AlGaSb/GaInSb量子阱为壳层的核壳结构。其制备方法包括如下步骤：(1)在GaSb或者InAs衬底上，利用分子束外延生长GaSb/AlAsSb DBR层；(2)采用磁控溅射方式，在DBR表面溅射Au纳米粒子催化剂并进行退火；(3)进行GaSb纳米线的生长；(4)以所生长GaSb纳米线为核，生长AlGaSb/GaInSb量子阱壳层；(5)采用化学腐蚀方式去除Au纳米粒子，采用减薄方式去除GaSb或InAs衬底。本发明能够实现增益介质内纵模的有效振荡，改善纳米线端面的镜面反射效应，最终实现具有高增益低损耗的GaSb纳米线的受激发射。
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