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公开(公告)号：CN111796005A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201911346826.2
申请日：2019-12-24
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明涉及一种低温微型气敏元件及其制备方法，属于气体传感元件的制造技术领域。该低温微型气敏元件由基底、电极层、敏感层和覆盖层组成，电极层通过物理或化学沉积设置于基底上，电极层上设有激光刻蚀的凹槽，未刻蚀部分为电极图形；敏感层通过原位生长或涂覆填充于激光刻蚀的凹槽中，覆盖层通过涂覆设置于电极层和敏感层上。在基底上覆盖一层电极层，通过激光打字机在电极层上绘制所需电极图形；其上覆盖一层以金属氧化物为主要成分的敏感层，通过烧结将敏感层固定在电极层上；其上再涂覆一层高分子材料作为覆盖层。该气敏元件尺寸灵活可变，可依据应用器件的体积大小而改变，最小尺寸为0.2×0.2mm，工作温度低于100℃。
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公开(公告)号：CN109536908A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811622378.X
申请日：2018-12-28
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了属于薄膜吸气剂制备技术领域的一种Pd/Zr-Co-Ce/Ti薄膜吸气剂及其制备。具体包括自下至上的阻挡层、吸气层和保护层；阻挡层中Ti的质量含量为99.95％以上，所述保护层中Pd质量含量为99.95％以上；吸气层材料包括70～88wt.％Zr、10～25wt.％Co、2～5wt.％Ce；本发明利用磁控溅射在基片上依次沉积阻挡层、吸气层和保护层，制得的Pd/Zr-Co-Ce/Ti薄膜吸气剂可在300～450℃、10～30min内实现激活，激活后的吸气剂在室温条件下具有良好的吸气性能，并且表现出宽泛吸气性，可用于消除高真空微电子器件内部的残余气体。
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公开(公告)号：CN119400681A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411979785.1
申请日：2024-12-31
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: H01J41/12
Abstract: 本发明属于离子泵技术领域，具体涉及一种可拆卸紧凑式离子泵。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵，磁铁组件包括至少一组磁铁对，所述一组磁铁对包括两个磁铁，所述两个磁铁分别设置于所述抽气筒相对的两个内壁上，所述两个磁铁之间形成磁场；本发明将磁铁组件设置于抽气筒内部，缩短了磁隙，因而在同样满足磁场要求情况下可减小磁铁厚度，使得离子泵整体结构紧凑小巧，可适用于较小安装空间的装置。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵，抽气筒和抽气筒盖板、电极与连接柱均为可拆卸连接，在需要维护和检修时，更加方便拆卸和安装，使用更加方便，可以适应不同场合的使用需求。
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公开(公告)号：CN118028742A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410220349.X
申请日：2024-02-28
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明提出一种电加热型薄膜吸气剂及其制备方法，该电加热型薄膜吸气剂由基底材料和表面的吸气材料组成，基底材料经无机复合酸清洗处理后真空烘干，然后在基底材料表面物理气相沉积制备一层或多层吸气材料，最后将其进行真空退火，得到电加热型薄膜吸气剂。该制备方法工艺简单、可操作性强，制备的电加热型薄膜吸气剂具有柔性，结构简单轻巧，便于装配，膜基结合力好，可独立激活，吸气性能高的特点。
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公开(公告)号：CN114395751B
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202111534071.6
申请日：2021-12-15
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了属于压电薄膜制备技术领域的一种低应力氮化铝薄膜的制备方法。所述方法将靶材和衬底装入磁控溅射设备，调节磁控溅射靶材法线方向与基片台法线方向的夹角X，靶基距为Y，在工作气体气氛下调节气体流量、溅射功率和溅射气压Z，稳定后进行氮化铝薄膜沉积，结束沉积后，降温获得低应力的C轴取向氮化铝薄膜；确保Z＝5.5e(‑Y‑X/2)/43‑0.03，其中，0≤X≤30°；120mm≤Y≤200mm。本发明采用的方法在使溅射粒子保持较高的能量的同时，还使其在基片台能够充分扩散，制备的氮化铝薄膜具有C轴择优取向的同时具备低应力，有利于提高氮化铝器件的可靠性，且操作流程简单，适用于工业大规模生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114749672B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202210328301.1
申请日：2022-03-30
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: B22F9/04 , B22F1/00 , B22F1/14 , B22F1/142 , B22F1/145 , C22C1/02 , C22C16/00 , B01J20/02 , B01J20/30 , B01D53/02
Abstract: 一种高纯ZrAl1粉体的制备方法及其用途，所述方法包括：采用悬浮熔炼法制备ZrAl1合金锭，装入氢化脱氢炉抽真空，对合金锭加热，然后充入氢气，当炉内氢压降为0.01～0.04MPa时再次充入氢气，如此反复充氢5～8次后，待炉内氢压降为0.01～0.04MPa后开始降温，降温至100～200℃后，向炉内通入高纯Ar；将ZrAl1合金锭取出后机械破碎、筛分；将ZrAl1合金粉末进行1～3次脱氢处理、抽真空封装备用。采用本发明制备的ZrAl1合金粉末作为还原剂来制作Na源，将Na源应用于超二代微光夜视仪光电阴极，结果表明，Na源的蒸发特性满足超二代微光像增强器光电阴极的制备要求。
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公开(公告)号：CN109920711B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201711336254.0
申请日：2017-12-13
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种碱金属释放剂所用释放器的制备方法，包括以下步骤：(1)清洗和烘干镍铬合金管，镍铬合金管的外径为4.0‑7.0mm，璧厚为0.05‑0.10mm；(2)采用混粉装置将高纯碱金属盐和还原剂粉末混合均匀，并将混合后的粉末灌入镍铬合金管；(3)将装粉后的镍铬合金管冷拉拔，拉拔至外径为1.0‑1.5mm、璧厚0.03‑0.06mm，所需道次为8‑40；(4)在惰性气体保护下激光打孔；(5)释放剂主体部分切割；(6)主体部分两端连接端电极；(7)将制备好的释放器真空封装。采用本发明的制备方法可提高碱金属释放剂所用释放器的生产效率，且显著提高释放剂的释放器的性能一致性和稳定性。进而保证了释放剂薄膜在光电阴极表面的厚度一致性，保证了光电阴极性能的一致性和稳定性。
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公开(公告)号：CN118600378A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410637767.9
申请日：2024-05-22
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明涉及磁控溅射靶材制造技术领域，具体涉及一种Zr‑Co‑RE合金吸气剂靶材及其制备方法和应用，首先通过悬浮熔炼制备合金锭，通过对熔炼工艺的设计，使合金原料的混合更加充分，得到的合金锭的质地更加均匀；然后，将合金锭表面除杂后粉碎得到特定粒径范围的合金粉末，通过热压制备吸气剂靶，通过对合金粉末粒径的精确控制以及热压工艺的进一步优化，本发明所制备的靶材纯度高、致密度高(≥99.0％)、组织均匀好，适合大批量工业化生产，成本较采用热等静压工艺的低。所镀吸气剂薄膜吸气性能好。
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公开(公告)号：CN111796005B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN201911346826.2
申请日：2019-12-24
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 小尺寸为0.2×0.2mm，工作温度低于100℃。本发明涉及一种低温微型气敏元件及其制备方法，属于气体传感元件的制造技术领域。该低温微型气敏元件由基底、电极层、敏感层和覆盖层组成，电极层通过物理或化学沉积设置于基底上，电极层上设有激光刻蚀的凹槽，未刻蚀部分为电极图形；敏感层通过原位生长或涂覆填充于激光刻蚀的凹槽中，覆盖层通过涂覆设置于电极层和敏感层上。在基底上覆盖一层电极层，通过激光打字机在电极层上绘制所需电极图形；其上覆盖一层以金属氧化物为主要成分的敏感层，通过烧结将敏感层固定在电极层上；其上再涂覆
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公开(公告)号：CN113604721B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202110790819.2
申请日：2021-07-13
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明提出一种低温激活钛基非蒸散型吸气剂元件，成分包含钛、锆、钒、铁、铬、锰、铝元素。该吸气剂元件方便存储，均一性好，吸气性能十分优异。实验测得，本发明吸气剂合金元件中包含两种相组织，相与相之间界面清晰、分布均匀。吸气剂元件可在400℃、30min条件下完全激活，同等激活条件下吸气性能与常规锆钒铁吸气剂相比具有较大的优势，使得该产品应用潜力巨大。
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