公开(公告)号：CN111796005A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN201911346826.2

申请日：2019-12-24

Applicant: 有研工程技术研究院有限公司

Inventor： 赵彦弘 ,  何微思 ,  熊玉华 ,  张庆猛 ,  杨志民

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明涉及一种低温微型气敏元件及其制备方法，属于气体传感元件的制造技术领域。该低温微型气敏元件由基底、电极层、敏感层和覆盖层组成，电极层通过物理或化学沉积设置于基底上，电极层上设有激光刻蚀的凹槽，未刻蚀部分为电极图形；敏感层通过原位生长或涂覆填充于激光刻蚀的凹槽中，覆盖层通过涂覆设置于电极层和敏感层上。在基底上覆盖一层电极层，通过激光打字机在电极层上绘制所需电极图形；其上覆盖一层以金属氧化物为主要成分的敏感层，通过烧结将敏感层固定在电极层上；其上再涂覆一层高分子材料作为覆盖层。该气敏元件尺寸灵活可变，可依据应用器件的体积大小而改变，最小尺寸为0.2×0.2mm，工作温度低于100℃。

公开(公告)号：CN109659070A

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201811608197.1

申请日：2018-12-27

Applicant: 有研工程技术研究院有限公司

Inventor： 赵彦弘 ,  熊玉华 ,  杨志民 ,  何微思

IPC: H01B5/14 ,  H01B1/12 ,  G01N27/12

Abstract: 本发明公开了属于气体传感材料制备技术领域的一种具有气体敏感性能的柔性导电薄膜及其应用。所述柔性导电薄膜为二维纳米材料在PET薄膜基底上堆叠成三维网状结构，导电高分子材料附着在三维网状结构上形成的复合薄膜；二维纳米材料为三氧化钼、三氧化钨、四氧化三钴、氧化锡、氧化锌中的一种或多种，形状为薄片状、棒状、针状、线状或空心管状；导电高分子材料为质子化聚苯胺、聚吡咯或聚噻吩。本发明提供的柔性导电薄膜可在室温下对三乙胺、乙二胺、氨气、乙醇、丙酮、二氧化氮的气体浓度进行检测，克服了无机纳米材料的高温监测缺陷。

公开(公告)号：CN111796005B

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN201911346826.2

申请日：2019-12-24

Applicant: 有研工程技术研究院有限公司

Inventor： 赵彦弘 ,  何微思 ,  熊玉华 ,  张庆猛 ,  杨志民

IPC: G01N27/12

Abstract: 小尺寸为0.2×0.2mm，工作温度低于100℃。本发明涉及一种低温微型气敏元件及其制备方法，属于气体传感元件的制造技术领域。该低温微型气敏元件由基底、电极层、敏感层和覆盖层组成，电极层通过物理或化学沉积设置于基底上，电极层上设有激光刻蚀的凹槽，未刻蚀部分为电极图形；敏感层通过原位生长或涂覆填充于激光刻蚀的凹槽中，覆盖层通过涂覆设置于电极层和敏感层上。在基底上覆盖一层电极层，通过激光打字机在电极层上绘制所需电极图形；其上覆盖一层以金属氧化物为主要成分的敏感层，通过烧结将敏感层固定在电极层上；其上再涂覆