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公开(公告)号：CN111307911B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN201811514391.3
申请日：2018-12-11
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N27/414 , H01L29/786 , H01L29/24 , H01L21/34
Abstract: 本发明公开了一种pH传感器及其制备方法。该pH传感器包括绝缘衬底材料、沉积在该绝缘衬底材料上的MoS2薄膜、源电极、漏电极以及电介质材料；其中，源电极、漏电极与电介质材料形成在MoS2薄膜周围构成封闭的传感器槽。其制备方法包括以下步骤：(1)清洗衬底，在衬底上涂一层光刻胶；(2)在光刻胶上曝光形成MoS2薄膜沉积区域；(3)使用化学气相沉积技术在该区域沉积MoS2，形成MoS2薄膜；(4)去除光刻胶保留MoS2薄膜图形，然后在MoS2薄膜图形的外侧形成源电极和漏电极；(5)沉积电介质材料形成传感器槽，得到pH传感器的器件单元。本发明构建的pH传感器电学信号优越，灵敏度高，且具有良好的稳定性。
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公开(公告)号：CN116482051A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310701364.1
申请日：2023-06-14
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司 , 有研(广东)新材料技术研究院
IPC: G01N21/3577 , G01N21/35
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种红外频段生化传感器及其制备方法和应用。该传感器结构包括：衬底，以及设置在衬底上面的若干个呈周期性排布的圆柱状介质。制备方法包括以下步骤：将衬底表面制备介质层；在介质层表面涂正胶，光刻，图形化，后烘坚膜；对介质层刻蚀；去胶，浸泡，轰击清洗，去除表面残胶。该传感器可用于检测包括例如蛋白质溶液、无机盐溶液、小分子有机物溶液等生化样品。本发明提供的传感器损耗低、Q值高、降低成本、介电常数变化敏感。
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公开(公告)号：CN109920908B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN201711334271.0
申请日：2017-12-13
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有超薄转变功能层的阻变存储器及其制备方法。该阻变存储器具有类似三明治结构，包括底电极、给氧牺牲氧化层、顶电极以及位于给氧牺牲氧化层和顶电极之间的转变功能层，该转变功能层通过活性金属薄层的自然氧化形成。其制备方法包括：(1)衬底清洗；(2)利用物理气相沉积技术在衬底上沉积底电极；(3)利用物理气相沉积技术在衬底上沉积给氧牺牲氧化层；(4)利用物理气相沉积技术在给氧牺牲氧化层上面沉积活性金属薄层；(5)利用物理气相沉积技术在活性金属层上沉积惰性金属顶电极。本发明利用自然氧化界面层作为阻变存储器的转变功能层来进行阻变数据的存储，避免了界面氧化层对阻变存储器件性能的影响，可靠性高。
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公开(公告)号：CN118501229B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202410962970.3
申请日：2024-07-18
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司 , 有研(广东)新材料技术研究院
IPC: G01N27/327 , G01N33/574 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种电化学微针生物传感器及其制备方法，所述生物传感器为三电极体系，包括工作电极、对电极和参比电极，三电极的基底材料均为硅基高密度微针阵列；其中工作电极为溅射金层的硅基高密度微针，表面沉积枝晶结构的金纳米颗粒，通过Au‑S键结合了具有高特异性的癌胚抗原(CEA)适配体；本发明提供的电化学微针生物传感器采用高密度硅基微针阵列构建三电极体系检测组织液中的癌胚抗原，工作电极具有枝晶结构的金纳米颗粒，优选的提高活性表面积，三电极一体的贴片式结构操作便捷，能够实现无创快速检测，并且检测灵敏度高、特异性好、检测限低，为癌胚抗原等肿瘤生物标志物的检测提供了简便、快捷的方法。
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公开(公告)号：CN113921652B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202110966566.X
申请日：2021-08-23
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: H01L31/18 , H01L31/0352
Abstract: 一种III‑V族半导体超晶格量子点的制备方法，包括：(1)通过分子束外延法(MBE)在衬底表面外延生长缓冲层，在所述缓冲层表面生长至少一层的超晶格外延层；(2)在超晶格外延层表面沉积III族金属液滴，通过升高衬底温度，实现金属液滴向下刻蚀；(3)通入V族分子束流后，冷却至室温，获得超晶格量子点。本发明方式灵活、简单，通过控制金属液滴尺寸可实现对量子点尺寸分布的控制，且改变金属液滴种类及所刻蚀的超晶格材料体系，可获得不同种类的超晶格量子点材料。
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公开(公告)号：CN113921652A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202110966566.X
申请日：2021-08-23
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: H01L31/18 , H01L31/0352
Abstract: 一种III‑V族半导体超晶格量子点的制备方法，包括：(1)通过分子束外延法(MBE)在衬底表面外延生长缓冲层，在所述缓冲层表面生长至少一层的超晶格外延层；(2)在超晶格外延层表面沉积III族金属液滴，通过升高衬底温度，实现金属液滴向下刻蚀；(3)通入V族分子束流后，冷却至室温，获得超晶格量子点。本发明方式灵活、简单，通过控制金属液滴尺寸可实现对量子点尺寸分布的控制，且改变金属液滴种类及所刻蚀的超晶格材料体系，可获得不同种类的超晶格量子点材料。
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公开(公告)号：CN113244936A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110319499.2
申请日：2021-03-25
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: B01J27/138 , B01J27/135
Abstract: 本发明公开了属于半导体纳米光电材料生长技术领域的一种内建电场增强的卤氧铋核壳复合结构光催化材料及制备方法。所述卤氧铋核壳复合结构最内层为p型半导体材料，最外层为n型半导体材料；最内层和最外层间设置i型半导体材料作为过渡层。本发明利用能带可调的p型卤氧化铋半导体材料，与厚度可控的氧化铝或氧化镁等氧化物绝缘半导体材料，以及n型的氧化锌或氧化钛等宽带半导体材料构成核壳复合结构，并引入并调控内建电场强度，有效促进光生载流子分离。构建具有p‑i‑n结构的，即内建电场增强的光催化材料。
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公开(公告)号：CN112146796A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010980512.4
申请日：2020-09-17
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明的一种柔性应力传感器，包括应变感应层、电极和柔性封装层，应变感应层与电极电连接，柔性封装层包裹应变感应层、电极，电极包括银浆和导线，导线的一端通过银浆粘接在应变感应层上，导线的另一端被引至柔性封装层的外部。柔性应力传感器的制备方法，包括以下步骤：将石墨烯墨水涂覆到下层柔性聚合物基底上，待石墨烯墨水自然风干成石墨烯薄膜；在石墨烯薄膜的两端分别涂覆银浆，将导线的一端粘接在石墨烯薄膜的一端涂覆的银浆上、将导线的另一端引至柔性封装层的外部；柔性聚合物基底对自然风干后的石墨烯薄膜和电极进行绝缘封装。本发明成本低廉且简单易行，耐用性好，不论尺寸大小均能够适应规模化生产。
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公开(公告)号：CN119510745A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202510090388.7
申请日：2025-01-21
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N33/53 , G01N33/68 , G01N33/577 , G01N21/3581 , G01N21/59 , G01N21/01
Abstract: 本申请涉及太赫兹超材料生物传感器技术领域，具体涉及一种明暗模态耦合的太赫兹全介质生物传感器及制备方法。本发明通过阳极键合‑光刻图形化‑刻蚀‑特异性抗体修饰得到全介质超材料生物传感器，该传感器包括介质层和衬底层，介质层由全介质超材料的开口环结构和棒状结构交替组成阵列，开口环结构的两端对称开口，且开口连线与棒状结构平行，棒状结构与左右两侧开口环结构的距离分别为u和v，且5μm≥|v‑u|≥1μm。本发明传感器的介质层中通过将棒状结构作为明模态，开口环结构作为暗模态，两套阵列相互作用，实现明暗模态耦合，使谐振峰劈裂，增大Q因子和灵敏度，使得传感器在太赫兹波段对于低浓度生物样品检测具有高灵敏度及低检测限效果，且方法稳定可靠。
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公开(公告)号：CN118501229A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410962970.3
申请日：2024-07-18
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司 , 有研(广东)新材料技术研究院
IPC: G01N27/327 , G01N33/574 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种电化学微针生物传感器及其制备方法，所述生物传感器为三电极体系，包括工作电极、对电极和参比电极，三电极的基底材料均为硅基高密度微针阵列；其中工作电极为溅射金层的硅基高密度微针，表面沉积枝晶结构的金纳米颗粒，通过Au‑S键结合了具有高特异性的癌胚抗原(CEA)适配体；本发明提供的电化学微针生物传感器采用高密度硅基微针阵列构建三电极体系检测组织液中的癌胚抗原，工作电极具有枝晶结构的金纳米颗粒，优选的提高活性表面积，三电极一体的贴片式结构操作便捷，能够实现无创快速检测，并且检测灵敏度高、特异性好、检测限低，为癌胚抗原等肿瘤生物标志物的检测提供了简便、快捷的方法。
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