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公开(公告)号：CN105793778B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201480064426.1
申请日：2014-12-26
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 松田隆之
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱可溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂，在将包含该感光性树脂组合物的感光性树脂层形成于基板表面上且进行曝光以及显影而得到的抵抗剂图案中，对该基板表面对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率a、与对从该基板表面在该基板的厚度方向上偏移300μm的位置对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率b之差不足15μm。
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公开(公告)号：CN109690404A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780055093.X
申请日：2017-12-05
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供即使曝光时的焦点偏移时也表现出高分辨性和良好的线宽重现性的感光性树脂层叠体。感光性树脂层叠体具备：支承薄膜、和形成于该支承薄膜上并包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，其中，在支承薄膜的任意10处切出一边5mm的正方形小片时，各小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以所述10处平均计为0～200个。
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公开(公告)号：CN108469717A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201810155490.0
申请日：2018-02-23
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供即使在过度显影、过度水洗、显影液高温这种苛刻的显影条件下密合性和分辨力也优异的感光性树脂组合物，以及使用其的层叠体及抗蚀图案的形成方法和线路板的制造方法。该组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和键的化合物；和(C)光聚合引发剂；和(D)抑制剂，其中，相对于树脂组合物中的固体成分质量，(A)碱溶性高分子含有5质量％以上的I/O值为0.200～0.560的(A-1)碱溶性高分子，(D)抑制剂含有苯酚衍生物；将该固体成分中所含的(A)碱溶性高分子和(B)具有烯属不饱和键的化合物以外的物质作为除(A)和(B)以外的成分时，除(A)和(B)以外的成分的质量与(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.190以下。
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公开(公告)号：CN112368642B
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN201980041666.2
申请日：2019-06-18
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/031 , C08F2/44 , C08F2/46 , G03F7/027 , G03F7/033 , G03F7/20 , H05K3/06 , H05K3/18 , G03F7/004 , G03F7/029
Abstract: 提供一种适合于在曝光后进行加热，实现更高分辨率的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物，其是用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，以感光性树脂组合物的总固体成分质量基准计，包含以下的成分：(A)碱溶性高分子：10质量％～90质量％；(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；以及(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％，(A)碱溶性高分子整体中的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元为15质量％以上。
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公开(公告)号：CN114437251B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202210104954.1
申请日：2016-04-08
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: C08F2/44 , C08F2/46 , C08F2/50 , C08F20/26 , C08F265/06 , C08F290/06 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/032 , G03F7/033 , G03F7/038 , G03F7/20 , G03F7/40 , G03F7/42 , H05K3/06 , H05K3/18
Abstract: 本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116981999A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202280019171.1
申请日：2022-03-04
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 根据本申请，提供在支承薄膜上具备感光性树脂组合物层的感光性树脂层叠体及其制造方法，所述感光性树脂层叠体能够兼顾曝光时的显色性、在显影液中的溶解性(即显影性)和基体薄膜的着色性。感光性树脂层叠体具备支承薄膜和形成在上述支承薄膜上的感光性树脂组合物层。上述感光性树脂组合物层含有：碱溶性高分子、具有烯属不饱和双键的化合物、光聚合引发剂、以及包含丙酮过氧化物和/或甲乙酮过氧化物的过氧化物。上述感光性树脂组合物层中的上述过氧化物的含量以上述感光性树脂组合物层作为基准计为0.01ppm以上且1000ppm以下。
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公开(公告)号：CN116300314A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310298175.4
申请日：2018-02-27
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供一种感光性树脂组合物，其用于双波长曝光，且赋予优异的曝光灵敏度、密合性和分辨率。一种感光性树脂组合物，其为用于以中心波长低于390nm的第1活性光、和中心波长390nm以上的第2活性光进行曝光而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，前述感光性树脂组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属双键的化合物；和，(C)光聚合引发剂，前述感光性树脂组合物对前述第1活性光和前述第2活性光这两者具有感光性，前述(C)光聚合引发剂包含蒽和/或蒽衍生物。
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公开(公告)号：CN106462068B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201580025748.X
申请日：2015-05-21
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其特征在于，其含有：(A)碱溶性高分子：40～80质量％、(B)光聚合引发剂：0.1～20质量％、以及(C)具有烯属双键的化合物：5～50质量％，在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的厚度25μm的感光性树脂层，在将曝光时的焦点的位置从基板表面沿该基板的厚度方向向基板内侧移动200μm的条件下进行曝光和显影而得到的抗蚀图案的抗蚀层下摆宽度为0.01μm～3.5μm，而且，前述感光性树脂组合物用于直接成像曝光。
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公开(公告)号：CN107407880A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680019911.6
申请日：2016-04-08
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: C08F2/50 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/033 , H05K3/06 , H05K3/18
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。
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公开(公告)号：CN118778362A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410867812.X
申请日：2019-06-11
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 本发明提供一种用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物。本发明还涉及抗蚀图案的形成方法。上述感光性树脂组合物以其总固体成分质量作为基准，包含以下的成分：(A)10质量％～90质量％的碱溶性高分子、(B)5质量％～70质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及(C)0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。碱溶性高分子(A)的无机性值(I值)为720以下；或碱溶性高分子(A)的溶解度参数(sp值)为21.45MPa1/2以下；或感光性树脂组合物包含以上述感光性树脂组合物中的总固体成分质量为基准计为3质量％以上的碱溶性高分子(A‑1)，碱溶性高分子(A‑1)包含52质量％以上的源自作为单体成分的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元。
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