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公开(公告)号：CN116981999A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202280019171.1
申请日：2022-03-04
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 根据本申请，提供在支承薄膜上具备感光性树脂组合物层的感光性树脂层叠体及其制造方法，所述感光性树脂层叠体能够兼顾曝光时的显色性、在显影液中的溶解性(即显影性)和基体薄膜的着色性。感光性树脂层叠体具备支承薄膜和形成在上述支承薄膜上的感光性树脂组合物层。上述感光性树脂组合物层含有：碱溶性高分子、具有烯属不饱和双键的化合物、光聚合引发剂、以及包含丙酮过氧化物和/或甲乙酮过氧化物的过氧化物。上述感光性树脂组合物层中的上述过氧化物的含量以上述感光性树脂组合物层作为基准计为0.01ppm以上且1000ppm以下。
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