垂直谐振器型发光元件
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114051682A

    公开(公告)日:2022-02-15

    申请号:CN202080048727.0

    申请日:2020-06-17

    Abstract: 一种垂直谐振器型发光元件包括:基板(11);形成于基板上的第一多层膜反射镜(12);形成于第一多层膜反射镜上并具有第一导电类型的第一半导体层(13N);形成于第一半导体层上的发光层(13A);形成于发光层上并具有与第一导电类型相反的第二导电类型、同时在上表面上具有凸部(13PB)的第二半导体层(13P);覆盖第二半导体层的上表面、同时具有暴露出凸部的上表面上的第二半导体层的开口的绝缘层(14),所述凸部终止于上表面上;形成于绝缘层上以覆盖第二半导体层的上表面的透光电极层(15),所述上表面通过绝缘层的开口暴露出来;以及形成于透光电极层上并与第一多层膜反射镜一起构成谐振器的第二多层膜反射镜(16)。

    垂直腔面发光器件
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113491045A

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN202080015818.4

    申请日:2020-01-20

    Abstract: 一种垂直腔面发光器件包括:基板、第一多层膜反射镜、发光结构层和第二多层膜反射镜。第一多层膜反射镜形成在基板上。发光结构层形成在第一多层膜反射镜上。发光结构层包括发光层。第二多层膜反射镜形成在发光结构层上。第二多层薄膜反射镜构成第一多层膜反射镜和第二多层膜反射镜之间的共振器。第二多层膜反射镜包括第一多层膜、中间膜和第二多层膜。第一多层膜具有由低折射率材料制成的低折射率膜和由折射率高于低折射率材料的折射率的高折射率材料制成的高折射率膜。低折射率膜和高折射率膜交替堆叠。中间膜覆盖第一多层膜的上表面。中间膜对从发光层发射的光具有透光性。第二多层膜被形成为部分覆盖中间膜的上表面。第二多层膜具有由低折射率材料制成的低折射率膜和由高折射率材料制成的高折射率膜。低折射率膜和高折射率膜交替堆叠。中间膜的膜厚度基于从发光层发射的光在中间膜内的波长的1/2。

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