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公开(公告)号：CN111717884A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010201701.7
申请日：2020-03-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及具有改善特性的压电致动双轴线谐振微机电反射镜结构。一种微机电结构，包括：半导体材料的体部，该体部具有固定框架，该固定框架在内部限定腔；可移动块，该可移动块弹性地悬挂在腔中，并且利用围绕第一旋转轴线的第一谐振运动、以及围绕与第一旋转轴线正交的第二旋转轴线的第二谐振运动而可移动。以悬臂方式在腔中延伸的第一对和第二对支撑元件刚性地耦合到框架，并且可压电变形以引起可移动块围绕第一旋转轴线和第二旋转轴线的旋转。第一对和第二对弹性耦合元件弹性地耦合在可移动块与第一对和第二对支撑元件之间。由于第一对和第二对弹性耦合元件，可移动块的第一和第二旋转运动彼此解耦合并且彼此不干扰。
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公开(公告)号：CN117420672A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202310873531.0
申请日：2023-07-17
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及具有压电致动的MEMS反射镜器件及其制造方法。本文公开了一种微机电反射镜器件，其具有：固定结构，限定对腔进行界定的外部框架；可倾斜结构，延伸到腔中；反射表面，由可倾斜结构承载，并且在水平平面中具有主延伸部；以及致动结构，被耦合在可倾斜结构和固定结构之间。致动结构由第一致动臂对形成，使得可倾斜结构围绕平行于水平平面的第一轴旋转。致动臂借助弹性耦合元件而弹性耦合到可倾斜结构，并且各自由轴承结构和压电结构形成。每个致动臂的轴承结构由第一材料的软区域形成，并且弹性耦合元件由第二材料的轴承层形成，第二材料具有比第一材料更大的刚度。
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公开(公告)号：CN115480389A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210602544.X
申请日：2022-05-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及平面内移动质量块的MEMS致动器和包括MEMS致动器的光学模块。MEMS致动器包括质量块，质量块沿第一方向被悬置在衬底上方并且在限定垂直于第一方向的第二和第三方向的平面中延伸。被布置在衬底与质量块之间的弹性元件沿平行于第一方向的方向具有第一柔量，第一柔量小于沿平行于第二方向的方向的第二柔量。压电致动结构具有相对于衬底固定的部分和响应于致动电压而沿第一方向变形的部分。被耦合到压电致动结构的移动变换结构包括弹性移动转换结构，弹性移动转换结构被布置在压电致动结构与质量块之间。弹性移动转换结构在由第一和第二方向形成的平面中是柔性的，并且具有横向于第一和第二方向的第一轴线和第二惯性主轴线。
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公开(公告)号：CN114368724A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202111198768.0
申请日：2021-10-14
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及具有改善的应力分布的MEMS器件以及其制造工艺。MEMS器件由半导体材料主体形成，所述半导体材料主体限定支撑结构。所述半导体材料主体中的贯通式腔体由所述支撑结构包围。可移动结构被悬置在所述贯通式腔体中。弹性结构在所述支撑结构与所述可移动结构之间的所述贯通式腔体中延伸。所述弹性结构具有第一部分和第二部分并且在使用中经受机械应力。所述MEMS器件还由金属区域形成，所述金属区域在所述弹性结构的所述第一部分上延伸，并且由所述弹性结构中的掩埋腔体形成。所述掩埋腔体在所述弹性结构的所述第一部分与所述第二部分之间延伸。
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公开(公告)号：CN114326094A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111151326.0
申请日：2021-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及具有平面度误差补偿的微机电镜器件。微机电镜器件包括半导体材料的支撑框架和半导体材料板。板被连接到支撑框架，以能够围绕至少一个旋转轴线被定向。反射层被布置在板的第一区域上。压电致动结构在板的、相邻于反射层的第二区域上延伸。压电致动结构被配置为施加力来诸如修改板的曲率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114314497A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111152439.2
申请日：2021-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及具有可通过围绕两个旋转轴的压电致动倾斜的结构的微机电设备。例如，一种微机电设备，包括：固定结构，具有限定腔体的框架；可倾斜结构，弹性地悬置于腔体上方，并且在水平面中具有主延伸部；压电驱动的致动结构，可被偏置以使可倾斜结构围绕第一和第二旋转轴进行期望旋转；以及支撑结构，与固定结构集成，并且从框架延伸到腔体中。杠杆元件通过弹性悬置元件在第一端处弹性地耦合到可倾斜结构，并且通过限定杠杆旋转轴的弹性连接元件在第二端处耦合到支撑结构。杠杆元件被弹性地耦合到致动结构，使得它们的偏置引起可倾斜结构围绕第一和第二旋转轴的期望旋转。
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公开(公告)号：CN113620233A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110492170.6
申请日：2021-05-06
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: MEMS致动器由以下部件形成：基底，围绕腔体；可变形结构，悬置在腔体上；致动结构，由第一压电材料的第一压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为引起可变形结构的变形；以及检测结构，由第二压电材料的第二压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为检测可变形结构的变形。
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公开(公告)号：CN113176664A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110095545.5
申请日：2021-01-25
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 实施例公开了处理用于制造诸如微镜的振荡结构的晶片的方法。为了制造振荡结构，通过以下步骤处理晶片：形成扭转弹性元件；形成连接到扭转弹性元件的移动元件；处理晶片的第一侧以形成机械增强结构；以及通过化学蚀刻、沉积金属材料和/或沉积压电材料的步骤来处理所述晶片的第二侧。晶片的第一侧的处理在晶片的第二侧的处理之前实施，以便不损坏形成在晶片的第一侧上的可能的敏感结构。
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公开(公告)号：CN113009760A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202011496567.4
申请日：2020-12-17
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及具有改进结构的、带有压电止动的微机电镜设备。一种微机电镜设备具有限定腔的固定的结构。承载反射表面的可倾斜结构被弹性地悬置在腔上方，可倾斜结构具有在水平面中的主延伸。弹性元件被耦合到可倾斜结构，并且承载压电材料的相应的区域的至少一个第一对驱动臂是可偏置的，以导致可倾斜结构围绕与水平面的第一水平轴线平行的至少一个第一旋转轴线的旋转。驱动臂被弹性地耦合到第一旋转轴线的相对侧上的可倾斜结构，并且被插入在可倾斜结构与固定结构之间。驱动臂沿着与水平面横向的正交轴线具有一厚度，该厚度小于被耦合到可倾斜结构的至少一些弹性元件的厚度。
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公开(公告)号：CN117250749A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310717188.0
申请日：2023-06-16
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 一种微机电器件具有在由第一水平轴线和第二水平轴线限定的水平面中延伸的第一可倾斜镜面结构，并且包括限定界定腔体的框架的固定结构、承载反射区域的可倾斜元件，该可倾斜元件弹性地悬置在腔体上方并且具有第一中间对称轴线和第二中间对称轴线，通过位于第二水平轴线的相对侧的第一耦合结构和第二耦合结构弹性地耦合到框架。第一可倾斜镜面结构具有驱动结构，该驱动结构耦合到可倾斜元件以引起围绕第一水平轴线的旋转。第一可倾斜镜面结构相对于第二水平轴线是非对称的，并且沿着第一水平轴线在第二水平轴线的第一侧具有第一延伸，并且在第二水平轴线的与第一侧相对的第二侧具有大于第一延伸的第二延伸。
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