公开(公告)号：CN207390996U

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201720760087.1

申请日：2017-06-27

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： S·克斯坦蒂尼 ,  M·卡米纳蒂 ,  D·A·L·加蒂 ,  L·M·卡斯托尔迪 ,  R·卡尔米纳蒂

IPC: B81B7/02 ,  B81C3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0833 ,  B81B3/0083 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0307 ,  B81B2203/058 ,  B81C1/00714 ,  B81C2203/032 ,  G02B26/105

Abstract: 本实用新型涉及微机电设备。该微机电设备(20)在覆盖并键合至第二晶片(70)的第一晶片(40)中形成。固定部分(91)、可移动部分(92)以及将该可移动部分和该固定部分弹性耦合的弹性元件在该第一晶片中形成。该可移动部分承载致动元件(60)，这些致动元件被配置成用于控制该可移动部分相对于该固定部分的相对移动，例如，旋转。该第二晶片通过该第一晶片的突起(66)键合至该第一晶片，这些突起是通过选择性地移除半导体层(43)的一部分而形成的。对由该第一和第二晶片形成的复合晶片进行切割以形成多个MEMS设备。

公开(公告)号：CN214335449U

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202023095104.5

申请日：2020-12-21

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： L·塞吉齐 ,  N·博尼 ,  L·奥吉欧尼 ,  R·卡尔米纳蒂 ,  M·卡米纳蒂

IPC: G03B21/28 ,  G02B26/10 ,  G02B26/08

Abstract: 本公开涉及光学微机电设备和微型投影仪装置。为了制造光学微机电设备，加工具有第一表面和第二表面的半导体材料的第一晶片，以形成悬挂镜结构、围绕悬挂镜结构的固定结构、在固定结构与悬挂镜结构之间延伸的弹性支撑元件、以及耦接到悬挂镜结构的致动结构。第二晶片被单独加工，以形成由底壁界定的室，该底壁具有贯通开口。第二晶片以如下方式被接合到第一晶片的第一表面，该方式使得室覆盖在致动结构上，并且贯通开口与悬挂镜结构对准。此外，第三晶片被接合到第一晶片的第二表面，以形成复合晶片设备。该复合晶片设备然后被切割以形成光学微机电设备。

公开(公告)号：CN208283647U

公开(公告)日：2018-12-25

申请号：CN201820561690.1

申请日：2018-04-19

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： R·卡尔米纳蒂 ,  S·克斯坦蒂尼 ,  M·卡米纳蒂

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

Abstract: 本申请涉及振荡结构和光学设备。振荡结构包括限定了旋转轴的第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件以及插入在第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件之间的移动元件。移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件位于第一平面中并且彼此不直接接触。耦合结构将移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件机械地耦合在一起。移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件位于不同于第一平面的第二平面中。移动元件的振荡由于第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件的扭曲而发生。由此提供具有减少的动态变形的振荡结构和包括该振荡结构的光学设备。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利