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公开(公告)号：CN117929523A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311372410.4
申请日：2023-10-23
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 公开了用于监测集成系统封装件内的缺陷的系统。一种集成电子系统，具有由支撑基座和布置在支撑基座上的涂覆区域形成并且具有至少第一系统管芯的封装件，该至少第一系统管芯包括半导体材料，耦接到支撑基座并布置在涂覆区域中。集成电子系统在封装件内还具有监测系统，该监测系统被配置为通过声检测波的发射和相应的接收声波的采集来确定涂覆区域内缺陷的发生，该声检测波的特性受上述缺陷的影响，并且因此指示上述缺陷。
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公开(公告)号：CN117123456A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310604984.3
申请日：2023-05-26
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 本公开涉及具有高灵敏度的压电微加工压力换能器及相关制造工艺。一种微机械压力换能器，包括：半导体材料的固定体，其横向界定主腔体；传导结构，其悬置在所述主腔体上并包括至少一对可变形结构和可移动区域，所述可移动区域由半导体材料形成并通过所述可变形结构机械耦合到所述固定体。每个可变形结构包括：半导体材料的支撑结构，其包括第一梁和第二梁，所述第一梁和所述第二梁各自具有分别固定到所述固定体和所述可移动区域的端部，所述第一梁以一定距离叠置在所述第二梁上；以及至少一个压电换能结构，机械地耦合到第一梁。压电换能结构是电可控的，使得它们引起相应支撑结构的相应变形和可移动区域沿平移方向的相应平移。
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公开(公告)号：CN114377931B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202111202185.0
申请日：2021-10-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 本公开的实施例涉及压电式微机械超声换能器。PMUT器件包括薄膜元件，该薄膜元件垂直于第一方向延伸并且被配置为通过关于平衡位置振荡来生成和接收超声波的。PMUT器件包括至少两个压电元件，其中每个压电元件沿着第一方向位于薄膜元件之上并且被配置为当电信号被施加到压电元件时引起薄膜元件振荡，以及响应于薄膜元件的振荡而生成电信号。薄膜元件沿垂直于第一方向的平面具有叶瓣形状，其中叶瓣形状包括至少两个叶瓣。对于每个压电构件，薄膜元件包括对应的薄膜部分，该对应的薄膜部分包括对应的叶瓣，其中每个压电构件位于其对应的薄膜部分之上。
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公开(公告)号：CN114377931A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111202185.0
申请日：2021-10-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 本公开的实施例涉及压电式微机械超声换能器。PMUT器件包括薄膜元件，该薄膜元件垂直于第一方向延伸并且被配置为通过关于平衡位置振荡来生成和接收超声波的。PMUT器件包括至少两个压电元件，其中每个压电元件沿着第一方向位于薄膜元件之上并且被配置为当电信号被施加到压电元件时引起薄膜元件振荡，以及响应于薄膜元件的振荡而生成电信号。薄膜元件沿垂直于第一方向的平面具有叶瓣形状，其中叶瓣形状包括至少两个叶瓣。对于每个压电构件，薄膜元件包括对应的薄膜部分，该对应的薄膜部分包括对应的叶瓣，其中每个压电构件位于其对应的薄膜部分之上。
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公开(公告)号：CN114377930A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111201843.4
申请日：2021-10-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 公开了减小自由振荡的压电微机械超声换能器。一种PMUT设备包括膜元件，该膜元件适于通过在相应的共振频率下围绕平衡位置振荡来产生和接收超声波。压电元件沿第一方向位于膜元件上方，并且被配置为当电信号施加到压电元件时使膜元件振荡，并且响应于膜元件的振荡而产生电信号。阻尼器被配置为减少膜元件的自由振荡，并且阻尼器包括围绕膜元件的阻尼器腔，以及聚合物构件，该聚合物构件的至少一部分沿第一方向在阻尼器腔上方。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114314494A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111142520.2
申请日：2021-09-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B3/00 , B81B7/02 , H01L41/083 , B81C1/00
Abstract: 本公开的实施例涉及具有改善电特性的薄膜压电微机电结构及相应的制造工艺。一种压电微机电结构，设置有压电堆叠，压电堆叠具有位于水平平面内的主延伸，和位于横向于水平平面的平面内的变化的截面。所述堆叠由底电极区，布置在底电极区上的压电材料区，以及布置在压电材料区上的顶电极区形成。由于变化的截面，压电材料区在第一区域具有沿横向于水平平面的竖直轴线的第一厚度，并且在第二区域具有沿同一竖直轴线的第二厚度。第二厚度小于第一厚度。第一区域和第二区域的结构可以分别形成压电检测器和压电致动器。
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公开(公告)号：CN113620233A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110492170.6
申请日：2021-05-06
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: MEMS致动器由以下部件形成：基底，围绕腔体；可变形结构，悬置在腔体上；致动结构，由第一压电材料的第一压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为引起可变形结构的变形；以及检测结构，由第二压电材料的第二压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为检测可变形结构的变形。
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公开(公告)号：CN105615924B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201510836831.7
申请日：2015-11-25
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: G05F3/02 , B06B1/0215 , H03K4/94 , H03K17/162
Abstract: 本公开涉及用于超声应用的传输通道。一种传输通道发送高电压脉冲并且接收高电压脉冲的回声。传输通道包括生成电流积分器驱动电流的电流生成器电路、放大换能器回声信号的接收器以及控制电路装置。控制电路装置生成一个或者多个控制信号以控制：在换能器驱动时段期间，由电流生成器电路生成电流积分器驱动电流，以及在回声接收时段期间，由接收器接收换能器回声信号。电流积分器对由电流生成器电路生成的电流积分器驱动电流积分以生成换能器驱动信号。
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公开(公告)号：CN115103280A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202111441249.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 一种用于在传播介质中转换声波的微机械装置，包括：本体；第一电极结构，叠加至本体并且与本体电绝缘，第一电极结构和本体在它们之间限定第一掩埋腔；以及第一压电元件，叠加至第一电极结构，其中，本体、第一电极结构和掩埋腔形成第一电容式超声换能器，并且第一电极结构和第一压电元件形成第一压电超声换能器。
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公开(公告)号：CN110180770A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201910133708.7
申请日：2019-02-22
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 本公开涉及微机械超声换能器与制造和设计微机械超声换能器的方法。一种用于在传播介质中发射超声声波的设备，包括：封装，该封装包括基部衬底和封盖，该封盖耦合至基部衬底并且与基部衬底一起限定封装中的腔室；半导体裸片，在腔室中耦合至基部衬底、包括半导体本体；以及微机械超声换能器(MUT)，微机械超声换能器至少部分地集成在半导体本体中并且包括半导体本体中的空腔、悬置在空腔之上的膜、以及操作地耦合至膜的致动器，其能够被操作以用于生成膜的偏转。膜以如下方式被设计：其共振频率与在MUT的操作期间在封装的上述腔室中产生的声共振频率匹配。
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