一种增强钛合金与碳基薄膜结合强度的纳米多层过渡层及其制备方法

    公开(公告)号:CN118563256A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410654250.0

    申请日:2024-05-24

    Abstract: 本发明涉及表面工程技术领域,特别涉及一种增强钛合金与碳基薄膜结合强度的纳米多层过渡层及其制备方法,该方法将纳米多层过渡层及沉积在钛合金基体和碳基薄膜之间,该过渡层由下至上分别为Ti打底层、TiN过渡层、TiCN渐过渡层、TiC支撑层、TiCH渐过渡层及a‑C:H功能层;本发明中制备的纳米多层过渡层不仅增强了碳基薄膜在钛合金表面上的附着强度,还具有高耐磨性及低摩擦系数,解决了当前钛合金作为动力传动核心材料附着力低的问题,应用前景巨大,且适用领域广泛。

    一种多级触发脉冲电弧源装置

    公开(公告)号:CN114990498B

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202210602274.2

    申请日:2022-05-30

    Abstract: 本发明涉及真空镀膜技术领域,具体涉及一种多级触发脉冲电弧源装置,包括石墨阴极、阴极安装柱、绝缘套筒、触发放电阳极环、一级点火电极、二级点火电极,沿面击穿陶瓷、二级点火电极支撑座、绝缘套筒、二级点火电极引线柱、二级点火电源、一级点火电源、脉冲电弧电源、一级点火电极引线柱、一级点火电极触针、一级点火级固定筒、阳极环固定装置、脉冲电弧源阳极和真空室法兰;本发明采用逐级放大的方式,完成脉冲电弧的放电,完成靶材材料的蒸发,具有高真空条件下电弧放电、脉冲电弧放电瞬时电流大、膜层沉积效率高、靶材利用率高的技术特点。

    一种多级触发脉冲电弧源装置

    公开(公告)号:CN114990498A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210602274.2

    申请日:2022-05-30

    Abstract: 本发明涉及真空镀膜技术领域,具体涉及一种多级触发脉冲电弧源装置,包括石墨阴极、阴极安装柱、绝缘套筒、触发放电阳极环、一级点火电极、二级点火电极,沿面击穿陶瓷、二级点火电极支撑座、绝缘套筒、二级点火电极引线柱、二级点火电源、一级点火电源、脉冲电弧电源、一级点火电极引线柱、一级点火电极触针、一级点火级固定筒、阳极环固定装置、脉冲电弧源阳极和真空室法兰;本发明采用逐级放大的方式,完成脉冲电弧的放电,完成靶材材料的蒸发,具有高真空条件下电弧放电、脉冲电弧放电瞬时电流大、膜层沉积效率高、靶材利用率高的技术特点。

    一种使用真空紫外光提高气相沉积过程离化率的方法

    公开(公告)号:CN114182212A

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202111394101.8

    申请日:2021-11-23

    Abstract: 本发明涉及气相沉积技术领域,具体涉及一种使用真空紫外光提高气相沉积过程离化率的方法,使用真空紫外光对气相沉积过程中的气相粒子(或固相靶材表面的原子)进行光电电离,从而提高气相/固相粒子离化率,这种使用真空紫外光提高气相沉积过程离化率的方法,通过控制真空紫外光源的输出功率,可以实现对其照射区域内的气相沉积粒子的离化率提高幅度进行有效控制;选用通过控制真空紫外光源的输出功率密度,可以实现对单位体积内的气相沉积粒子的离化率提高幅度进行有效控制。

    一种使用真空紫外光实现气相沉积中不同粒子可控离化的方法

    公开(公告)号:CN114164417A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202111394143.1

    申请日:2021-11-23

    Abstract: 本发明涉及气相沉积技术领域,具体涉及一种使用真空紫外光实现气相沉积中不同粒子可控离化的方法,使用真空紫外光对气相沉积过程中的气相粒子(或固相靶材表面的原子)进行光电电离,从而针对不同种类的粒子,设计不同的离化率调控方案,实现薄膜显微组织结构、化学成分等的针对性精准调控,进一步显著的优化多层结构、梯度结构、纳米复合结构等气相沉积薄膜的性能/功能,如:机械性能、力学性能、摩擦学性能、光学性能、电学性能、磁学性能、介电性能、半导体带隙及特性等各类性能/功能,因此具有不可替代的重要意义。

    一种高温自润滑钴基耐磨复合层、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN110499505B

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN201910822993.3

    申请日:2019-09-02

    Inventor: 蔡飞 张世宏 张林

    Abstract: 本发明公开了一种高温自润滑钴基耐磨复合层、制备方法及应用,其包括如下步骤:分别称取Co、Cr、Fe、B、Si金属粉末,混合均匀得到合金粉,将所述的合金粉与粘结剂混合均匀,得到高温自润滑钴基合金浆料;对球墨铸铁辊基体表面进行打磨,然后依次用丙酮、酒精超声清洗,清洗完成后在基体表面涂覆所述的高温自润滑钴基合金浆料,再进行烘干、保温处理;对涂覆有高温自润滑钴基合金浆料的基体进行预热,然后在氮气保护下进行合金化处理,得到高温自润滑钴基耐磨复合层。制备的高温自润滑钴基耐磨复合层高温条件下耐磨性能强,表面不产生裂纹及气孔缺陷,延长了球墨铸铁热轧辊的使用寿命。

    一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法

    公开(公告)号:CN112708852A

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN202011534781.4

    申请日:2020-12-22

    Abstract: 本发明公开一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法,包括步骤:清洗基材;制备AlCrN功能涂层;将所述AlCrN功能涂层沉积在处理后的所述基材上;原位高能Ar+轰击后处理;对制备好的AlCrN功能涂层进行原位高能Ar+轰击后处理:沉积镀膜结束后,对所述基材进行抽真空,加工温度保持在400℃并通入Ar气;开启清洗Ti靶后开启阳极靶材,所述阳极靶材与所述清洗Ti靶构成正负极牵引电子运动,电子与Ar气碰撞产生Ar+,控制负偏压为‑200V,吸引Ar+对设置有所述AlCrN功能涂层的所述基材表面进行离子轰击,轰击时间为40min;本发明可有效去除AlCrN涂层表面的大小液滴颗粒,同时增加涂层和基体的残余压应力,改善了AlCrN涂层的表面粗糙度和切削性能。

    一种高碳硬面无裂纹大厚度冷轧辊激光修复方法

    公开(公告)号:CN109371396B

    公开(公告)日:2020-11-27

    申请号:CN201811617049.6

    申请日:2018-12-27

    Abstract: 本发明公开一种高碳硬面无裂纹大厚度冷轧辊激光修复方法,包括步骤,确定冷轧辊面的待修复区域,对待修复区域表面进行预处理;对待修复区域进行预热处理,采用激光熔覆在待修复区域制备低碳过渡层;通过激光熔覆在低碳过渡层表面制备若干层高碳工作层;对低碳过渡层和高碳工作层形成的激光修复层表面进行磨削处理,直至激光修复层表面的轴径尺寸和粗糙度与冷轧辊的工艺要求一致;本发明对合金粉末成分的合理设计和工艺参数的优化选择,制备出无裂纹的激光修复层,涂层显微组织均匀致密;通过对所述激光修复层各组织结构和厚度合理控制,实现多层熔覆层的结构和性能上的有效配合,可制备大厚度高性能的激光修复层,极大提升轧辊修复的效率。

    一种钛金属双极板用导电耐蚀合金薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN119753591A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202411959646.2

    申请日:2024-12-30

    Abstract: 本发明涉及功能薄膜技术领域,具体涉及一种钛金属双极板用导电耐蚀合金薄膜及其制备方法,该薄膜由下至上依次包括钛金属基体、金属Ti离子植入层、Ti自愈合层和TiNb合金功能层,所述TiNb合金功能层中,按照原子百分比计,包括Ti 20~45%,Nb 55~80%,所述TiNb合金功能层包括立方β‑Ti(Nb)固溶体结构。本发明所涉及的导电耐蚀合金薄膜能自发形成致密导电耐蚀氧化膜,具有耐高电位腐蚀特点;同时在长期服役过程中通过形成局部钝化填充微孔并愈合,延缓腐蚀介质渗透,在无需添加贵金属的基础上达到较低的接触电阻和腐蚀电流密度,从而有效提升钛金属双极板的导电性、耐蚀性和耐久性。

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