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公开(公告)号：CN101733544B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201010046315.1
申请日：2010-01-15
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23K20/22 , B23K20/24 , B23K20/14 , B23K103/18
Abstract: 本发明是一种钽和铜、铝、钛异种金属的扩散焊接方法，其工艺过程依次为：焊接表面光洁处理、焊接表面清洗，被焊物包套抽真空，热等静压处理。本发明和现有钽材和其他金属材料的扩散焊接方法的优点有三点：第一：本发明提高了材料的利用率；第二：本发明简便了生产加工过程，提高了生产效率；第三：本发明也有利于靶材使用后的材料回收，包括回收钽材的利用率和回收方法简便。
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公开(公告)号：CN101574780B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN200910117306.4
申请日：2009-06-04
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 一种磁控溅射环件用钽凸结体生产方法，以钽棒为原料，采用模具冲压成型结合精密机械加工的方式完成，其工艺过程依次为：钽棒锯料、车端面、冲压成型、精修、钻中心孔、攻丝、钻侧孔。其冲压模具包括上模板(1)和下模板(9)，两者之间有导向柱(3)，下模板(9)上装有凹模(7)，凹模之上配有凸模(6)，凸模上配有退料杆(5)；本发明具有材料利用率高和加工效率高的优点。
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公开(公告)号：CN101920439B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201010258812.8
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆焊接滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，卷圆，将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边圆弧滚花，切断焊口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号：CN101920436A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258809.6
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件用钽条的制备工艺，其工艺过程为：首先将钽料采用先打方再拍扁的方式锻造，随后在1000℃～1100℃温度条件下热处理，保温时间60min～120min，采用换向轧制发开坯轧制，在1000℃～1100℃温度条件下进行第二次热处理，保温时间60min～120min，采用单项单向轧制进行成品轧制，最后在1200℃～1400℃温度条件下进行第三次热处理，保温时间120min～180min，校平下料即得。本发明可以将材料利用率提高6个百分点，由于简化了加工工艺，可以提高产品的加工效率，同时由于压力加工的工序要求易于操作、控制，工艺的一致性容易保证，产品的材料性能一致性也容易保证。
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公开(公告)号：CN101920435A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258806.2
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件的制备工艺，其工艺过程为：首先制备环件用钽条，卷圆后将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，切断焊口，进行端头滚花，然后在环件表面加工焊接槽口，酸洗，将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上，再次酸洗，在规定区域内喷砂，最后利用超声波进行清洗即可。通过本发明制备的溅射钽环件各项性能指标满足半导体行业的使用要求，本发明工艺简单，加工难度小，加工效率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103757592B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201410054777.6
申请日：2014-02-19
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供了一种制备铌靶材的方法，包括以下步骤：a）将铌锭进行热处理，将热处理后的铌锭钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭的内表面与外表面包覆第一金属材料，将得到的铌锭抽真空；c）将步骤b）得到的铌锭的内表面和外表面包覆第二金属材料；d）将步骤c）得到的铌锭进行热挤压。本申请在制备铌靶材的过程中，通过在铌锭的内表面与外表面依次包覆第一金属材料于第二金属材料，有效地避免了铌靶材在制备过程中的吸氢吸氧，并且易于铌靶材的加工。
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公开(公告)号：CN102990234B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201210291461.X
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件凸台和环件的焊接方法，其特征是：首先将凸台和环件分别酸洗，然后采用激光点焊的方法将所有凸台固定在环件上，用酸液进行表面处理，最后将固定好凸台的环件装夹在三爪卡盘上，通过W轴的旋转依次完成多个凸台的焊接。本发明首先采用点焊的方法将所有凸台固定在环件上，然后再进行电子束焊接，这样只需要抽一次真空即可完成所有凸台的焊接，最大限度的简化了加工工艺，从而大大提高了加工效率，降低了加工成本，同时由于先将凸台全部固定，避免电子束焊接时凸台变形，减少了废品的产生，提高了加工质量。
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公开(公告)号：CN101920437A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258810.9
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，圆弧铣削，上下表面滚花，圆周滚花，卷圆即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号：CN103009000B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201210551253.9
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23P15/00
CPC classification number: C23C14/14 , C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，首先将铌管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌管坯进行内孔的加工，从而得到铌靶材。本发明在制备铌靶材的过程中，首先在铌管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌管坯晶粒的细化与均匀化；最后将挤压后的铌管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀和表面粗糙度值较低的铌靶材。本发明还提供了一种铌靶材。
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公开(公告)号：CN103862073A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210551254.3
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: B23B27/005 , B23B1/00
Abstract: 本发明提供了一种车削方法，包括：采用车刀对铌靶材或铌合金靶材的外表面进行车削，所述车刀的前角为20°~40°，后角为4°~15°，主偏角为45°~60°，副偏角为45°~90°，刃倾角为10°~25°。本发明通过对车刀的前角、后角、主偏角、副偏角与刃倾角的选择，使切屑自已加工面排出，避免了切屑粘刀的情况，降低了切削加工的难度。本发明还提供了一种车刀，所述车刀的的前角为20°~40°，后角为4°~15°，主偏角为45°~60°，副偏角为45°~90°，刃倾角为10°~25°。
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