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公开(公告)号：CN109596064A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201811497904.4
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明双目共焦立体视觉扫描振镜位置误差矫正方法属于光学共焦显微技术领域和光学精密测量领域。针对扫描振镜在测量过程中出现的位置误差给测量信号带来随机误差的问题，本发明公开了一种双目共焦立体视觉扫描振镜位置误差矫正方法，通过设计两路探测光路分别对标准样品与待测样品同时进行共焦扫描测量，样品经过一次形变后，再次对两样品进行测量，通过将两次对标准样品的测量信号相减便可以得到扫描振镜带来的误差信号，将两次对标准样品的测量信号进行亚像素匹配便可以得到每一点的位置偏差，利用该位置偏差信号对二维扫描振镜位置误差进行补偿。
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公开(公告)号：CN103115583B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310033336.3
申请日：2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜和分光镜；配置在分光镜反射光路上的聚焦物镜、位移驱动器、参考镜、分光棱镜和被测件；配置在分光镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔和探测器；所述的被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜；这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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公开(公告)号：CN101666628B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200910072943.4
申请日：2009-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大口径凸非球面两轴拼接测量装置属于光学检测领域；包括：隔振基座、光学波面干涉仪；还包括：安装在隔振基座上的立式超精密气浮回转台和卧式超精密回转轴；卧式超精密回转轴上固定有Z型悬臂梁，其末端固定有直线导轨，直线导轨上配置光学波面干涉仪；立式超精密气浮回转台的回转轴线与卧式超精密回转轴的回转轴线正交，干涉仪光轴通过其交点；被测非球面的光轴与立式超精密气浮回转台的回转轴线重合，且非球面近球心点、干涉仪的测量波前焦点、卧式超精密回转轴的回转轴线与立式超精密气浮回转台的回转轴线的交点，三点重合或或立体同心度非常小；该方案机构简单，测量链短，利用回转运动的精度优势，可实现大口径凸非球面的高精度检测。
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公开(公告)号：CN101520306A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200910071664.6
申请日：2009-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于空间载波的干涉共焦测量装置与方法属于表面形貌测量技术领域；该装置包括：激光器、准直聚焦物镜、针孔、准直扩束物镜、偏振分光镜、四分之一波片、分光镜、探测聚焦物镜、第二微驱动器、收集物镜；沿激光器主光轴方向的分光镜后面依次配置辅助参考镜和第一微驱动器，主参考镜配置在分光镜与探测聚焦物镜之间，在收集物镜的焦点处，放置CCD相机，主控计算机与CCD相机、第一微驱动器连接；采用二次共焦方法，建立位移相位关系，通过倾斜辅助参考镜，引入载波信号，获得载波干涉图，利用空间载波移相算法求解被测表面相位信息，最后拟合出表面形貌和三维轮廓，适用于微结构三维形貌的动态、快速、高精度测量。
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公开(公告)号：CN101520304A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200910071662.7
申请日：2009-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 移相干涉二次共焦软针孔探测装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；由显微物镜和CCD相机组成软针孔探测装置，通过移走测量表面，移动显微物镜和CCD相机确定收集物镜准焦面位置，定位CCD像面上爱里斑中心点位置，截取并锁定CCD像面上相应于不同显微放大倍数的固定像素区域作为软针孔，调整显微物镜和CCD相机使其对收集物镜会聚准焦面处横向光斑成清晰放大像，再加入被测表面，按照四步时间移相干涉二次共焦测量步骤完成具体微位移测量；本发明可提供灵活的等效针孔样式，有效降低实际共焦针孔的装调误差，提高移相干涉二次共焦点探测精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116840256A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310807278.9
申请日：2023-07-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种用于二维半导体晶体缺陷检测的明暗场融合谐波显微成像装置及方法，属于光学显微成像技术领域。本发明装置包括激光光源系统、谐波信号激发系统、明场信号探测系统、暗场信号探测系统以及控制与数据处理系统。本发明通过暗场空间滤波器滤除明场照明谐波信号以收集大波矢量暗场辐射谐波信号，并采用明场谐波显微图像与暗场谐波显微图像同时探测并融合的模式进行晶体缺陷检测。本发明利用不同取向晶体缺陷的谐波信号干涉效应，通过大角度谐波辐射以及明暗场谐波图像融合将晶体缺陷和缺陷边缘显示为高对比度图像。本发明的有益效果：提升二维半导体晶体缺陷检测的灵敏度和信噪比。
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公开(公告)号：CN114941998A
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202210624968.6
申请日：2022-06-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种三维线光谱共焦传感方法与装置，包含：光源模块，色散透镜模块，分束器，强度探测模块，滤波模块，光谱探测模块。光源模块采用双光源输入，单个光源在相应的波段范围具有较高的光谱均匀性，增大了光谱范围，提升了光谱一致性。采用色散透镜模块对两个波段的照明光进行色散调制，双波段的叠加可以实现更大的轴向探测范围。强度探测模块采用狭缝和探测器，有效记录了物体焦点处的能量分布，获得对应的全强度图，实现更高准确率的横向二维测量。光谱探测模块采用双光谱解调探测系统，与双光源的波段范围对应，获得对应的光谱分布图，提升光谱分辨率和轴向分辨力。结合强度探测的全强度图和光谱探测的光谱图，通过线扫描的方式，获得更高的横向分辨力和轴向分辨力的三维测量。因此，本发明提出的一种三维线光谱共焦传感方法与装置，在线扫描快速检测的基础上，可以实现更大的轴向探测范围，更高的横向分辨力以及更高的轴向分辨力的三维测量。
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公开(公告)号：CN110664369B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN201910886392.9
申请日：2019-09-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种用于活体生物样品的三维微细结构快速成像的自适应共焦线扫描谐波显微成像方法及装置，属于光学显微成像技术领域；本发明利用柱面镜形成线状聚焦光对样品进行谐波信号的激发，用扫描系统实现激发光的线扫描，最后对采集到的谐波信号进行图像重建和数据处理，实现了线扫描激发探测代替传统谐波显微中的点扫描激发探测，从而提升成像速度；在系统中引入自适应像差校正装置，用于校正对样品进行大深度探测时存在的像差。本发明在保证分辨率的基础上可有效提升谐波显微成像的成像速度，且在大深度探测时保持了成像质量。
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公开(公告)号：CN111880300A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202010647988.6
申请日：2020-07-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 激光共聚焦线扫描测量显微装置常用于生物成像、工业检测，具有快速便捷、简单易实现的特点。本发明针对共焦线扫描显微镜成像质量低、光利用率低等问题，进行改进。以往线扫描共焦显微采用狭缝照明与狭缝探测，在光源后面加入狭缝产生线型光，将线型光成像到物体上照明物体的线型区域，同过对线型区域物点的同时探测，实现线探测。而探测光信号同样采用狭缝进行光滤波，对离焦光进行抑制。光通过两个狭缝后，光强削减了很多，因而实际探测中，对光源强度和探测器灵敏度有较高要求。为此，在本发明中利用虚拟狭缝和柱面镜同时代替了两个物理狭缝的功能。柱面镜和狭缝的引入能降低对器件要求，同时简化装置，使装置小型化成为可能，扩大运用范围。
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