公开(公告)号：CN103268381B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201310203935.5

申请日：2013-05-28

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  付雪微 ,  付振宪 ,  陈兴林 ,  张常江

IPC: G06F17/50

Abstract: 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并进行解算；采用控制模型控制参数的整定，并控制电机模型工作和工作台数学模型运动；并同步将电机模型工作和工作台数学模型运动过程通过以太网发送回上位机操作系统；上位机操作系统通过动态链路库将电机模型工作和工作台数学模型运动过程发送给三维仿真模型；三维仿真模型将电机模型工作和工作台数学模型运动过程进行实时同步演示。本发明适用于双工件台半物理仿真。

公开(公告)号：CN105182906A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510615768.4

申请日：2015-09-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  宋法质 ,  王一光 ,  董岳 ,  刘杨 ,  陈震宇 ,  张常江 ,  万勇利 ,  刘洋 ,  何良辰

IPC: G05B19/19

CPC classification number: G05B19/19

Abstract: 基于高阶S型运动轨迹的位置与速度控制方法，属于精密运动控制领域。为了解决利用传统的轨迹规划算法的位置与速度控制方法的可移植性差的问题。所述控制方法包括：一：根据第N阶S曲线的限定值求取第N阶S曲线在各分段点的值S(N)[k]；二：求取第k个分段点对应的时间值T[k]和第n阶S曲线在第k个分段点的值S(n)[k]；三：对确定T[k]和S(n)[k]的S曲线进行采样，获得规划后的N阶S型运动轨迹；四：根据规划后的N阶S型运动轨迹，利用位置的采样值、位置的第1阶导数的采样值分别对位置与速度进行控制。本发明用于运动机构位置与速度的控制。

公开(公告)号：CN105116843A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201510405398.1

申请日：2015-07-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC: G05B19/414

CPC classification number: G05B19/414

Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。

公开(公告)号：CN105004264A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201510434375.3

申请日：2015-07-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘洋 ,  王一光 ,  何良辰 ,  陈震宇 ,  宋法质 ,  张常江 ,  宋跃 ,  万勇利 ,  韩记晓 ,  赵为志

IPC: G01B9/02

Abstract: 基于VME总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决读取多路激光干涉仪数据时，相互冲突、未加区分识别以及缺失同步性的问题。本发明应用VME总线通信机制，设计同步传输-存储卡产生同步时钟、数据存储信号、地址信号以及读使能信号，完成单块干涉信号处理卡到同步传输-存储卡的信号交互，用来实现最多四路激光干涉仪数据的同步读取，然后扩展到多块干涉信号处理卡，通过添加高位地址线的方法来区分干涉信号处理卡，从而解决了读取不同卡时地址冲突的问题，最终实现了任意路激光干涉仪数据的同步读取。

公开(公告)号：CN104935218A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201510405399.6

申请日：2015-07-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC: H02P5/52

Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。

公开(公告)号：CN104914683A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510353919.3

申请日：2015-06-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  万勇利 ,  宋法质 ,  韩记晓 ,  张常江 ,  赵为志 ,  何良辰 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  陈震宇

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种三自由度光刻机双工件台框架气浮补偿方法，本发明属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度控制定位的技术领域。它的方法步骤为：在框架的一个长边同一侧固定安装第一三角光传感器、第二三角光传感器，在框架的短边上固定安装第三三角光传感器；设传感器的测量值在初始值的基础上变化了△m1,△m2,△m3，利用△m1,△m2求角度θ；以第二三角光传感器为研究对象，计算三个运动对第二三角光传感器读数的影响；得出框架沿Y方向偏移的距离△Y，在X向偏移的距离△X；根据θ,△X,△Y的值进行电机给定补偿；补偿公转电机控制给定，补偿X/Y电机的控制给定。本发明可以实现光刻机双工件台的换台补偿，对于外界的对框架的干扰可以实时动态补偿宏动电机的控制给定，达到顺利换台的目的。

公开(公告)号：CN104908014A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510391038.0

申请日：2015-07-06

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 崔莹 ,  王岩 ,  李宗哲 ,  刘启循 ,  李泽辉 ,  彭汉章 ,  高怡然 ,  黄成 ,  周乃新 ,  张常江

IPC: B25H1/14

CPC classification number: B25H1/14

Abstract: 六自由度气浮平台的冷气推力装置及该装置的冷气推力方法，属于地面全物理仿真领域，本发明为解决现有冷气推力装置结构复杂、控制精度低的问题。本发明包括四组冷气喷气装置，每组冷气喷气装置包括1个立方体外框和12个喷嘴；还包括高压气瓶、一级调压阀、2个二级调压阀和4个电磁阀，高压气瓶、一级调压阀、2个二级调压阀和4个电磁阀均设置在立方体外框内部，高压气瓶的气体输出端连接一级调压阀的气体输入端，一级调压阀的气体输出端同时连接2个二级调压阀的气体输入端，每个二级调压阀的气体输出端均连接2个电磁阀的气体输入端，每个电磁阀的气体输出端连接一组冷气喷气装置中的12个喷嘴。本发明用于全物理仿真试验。

公开(公告)号：CN104806861A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201510201205.0

申请日：2015-04-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 崔莹 ,  王岩 ,  陈兴林 ,  刘启循 ,  李宗哲 ,  李泽辉 ,  彭汉章 ,  周乃新 ,  强盛 ,  王一光 ,  高怡然 ,  张常江 ,  黄成中

IPC: F16M11/32 ,  G05D3/12

Abstract: 基于电容传感器的多轴支撑气浮平台的调平方法，属于光学领域，本发明为解决现有对气浮平台的调节方法对测量环境要求高，应用时局限较大，不能同时达到调节精度高和调节过程复杂程度低的问题。本发明所述调平方法的具体过程为：气源在三个气足的底部充入高压气体，形成气膜面；采用三个电容传感器分别采集三个气足的气膜高度；三个电容传感器分别将采集的气膜高度输出至控制器中；控制器采用神经网络PID控制算法计算控制量；控制量解耦后控制三个气足的调压阀，改变三个气足的出口压力，调整气膜高度，完成调平过程。本发明用于卫星地面仿真中。