基于频率选择的精密运动平台运动轨迹规划系统及方法

    公开(公告)号:CN116909210B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202310860403.2

    申请日:2023-07-13

    Abstract: 基于频率选择的精密运动平台运动轨迹规划系统及方法,属于精密运动平台技术领域。轨迹生成器输出参考S曲线;参考S曲线经柔性系统获得系统输出,柔性系统的共振频率以及系统输出的残余振荡信息共同提供给轨迹生成器以修正参考S曲线。方法如下:确定参考S曲线的阶次;设计含参S型运动轨迹并获得轨迹含参零点;确定S型运动轨迹的参数;判定参数是否合理;判定残余振荡是否满足要求,确定运动轨迹设计标准。本发明解决了传统精密运动平台运动轨迹规划参数设计仅着眼于运动轨迹的几何光顺忽略了被控对象的柔性特性的问题,且不需要添加额外的减震装置,减少了整体重量,降低了经济成本。

    一种基于峰值因子最小化的多频正弦信号生成器

    公开(公告)号:CN117111680A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202311148082.X

    申请日:2023-09-06

    Abstract: 一种基于峰值因子最小化的多频正弦信号生成器,涉及多频正弦信号生成技术,是为了解决现有随机选择初始相位导致多频正弦信号的高峰值问题,它包括多频正弦信号生成器和基于峰值因子最小化的多频正弦信号相位估计器,所述多频正弦信号生成器用于生成所述正弦激励信号x(n);所述基于峰值因子最小化的多频正弦信号相位估计器内置在所述多频正弦信号生成器中,用于对所述多频正弦信号生成器生成的所述多频正弦信号进行相位估计。本发明适用于实际工程应用中。

    超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法

    公开(公告)号:CN116819902A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310825107.9

    申请日:2023-07-06

    Abstract: 超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法,涉及超精密光刻装备控制系统及方法。控制系统包括运动轨迹生成部分、反馈控制部分、前馈控制部分、解耦控制部分、六自由度运动台与位置测量部分,解耦控制部分包括静态解耦部分和动态解耦部分,静态解耦部分由增益规划矩阵、增益平衡矩阵和科氏力补偿矢量组成,动态解耦部分由动态解耦矩阵构成。反馈与前馈控制器设计简单,通过静动态结合的方式减少各自由度之间的串扰影响,提高控制精度。

    一种基于事件触发的指定时间高精度控制方法

    公开(公告)号:CN116382154A

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN202310216700.3

    申请日:2023-03-08

    Abstract: 本发明公开了一种基于事件触发的指定时间高精度控制方法,所述方法包括如下步骤:步骤1:设计基于参量Lyapunov方程的指定时间高精度控制器;步骤2:设计基于参量Lyapunov方程的事件触发机制去决定控制器的更新时间ti;步骤3:根据步骤2中设计的事件触发机制,计算得到最小触发时间间隔的表达式。该方法不仅可以在任意的指定时间实现系统的高精度控制目标,而且减少了系统执行器的更新次数,使得系统的执行器损耗极大的减少,具有重要的工程应用价值。

    一种多自由度精密运动台动态解耦控制方法

    公开(公告)号:CN115933400A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211651456.5

    申请日:2022-12-21

    Abstract: 一种多自由度精密运动台动态解耦控制方法,涉及一种精密运动台解耦控制方法。定义动态解耦控制器并且元素参数化为FIR滤波器形式,将名义解耦控制方法作用到实际系统测量实际位置信号和名义解耦控制器的输出,计算得到虚拟控制量,通过优化指标函数得到动态解耦控制器的待优化系数的估计值,从而实现动态解耦控制。可以有效实现中高频段的解耦,提高解耦精度,并且简化了算法流程,易于工程实现。

    基于模型预测的纳米级精密运动台前馈控制方法

    公开(公告)号:CN115755627A

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202211624302.7

    申请日:2022-12-16

    Abstract: 本发明公开了一种基于模型预测的纳米级精密运动台前馈控制方法,所述方法包括系统扫频数据获取、系统模型辨识、虚拟系统构建以及模型预测前馈四部分。本发明通过设计虚拟系统,采用虚拟状态反馈的模型预测方法对系统进行精准前馈控制量补偿,既可以发挥模型预测控制强大的轨迹跟踪能力,又能利用虚拟系统屏蔽外界扰动的影响,保证前馈补偿输入的准确性。此外,使用系统虚拟系统避免了复杂的状态观测器设计问题,降低了前馈控制器设计难度,提高了纳米级精密运动台的估计跟踪性能。

    一种基于FIR滤波的鲁棒逆模型学习增益设计方法

    公开(公告)号:CN114265314A

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202111592558.X

    申请日:2021-12-23

    Inventor: 李理 赵洪阳 刘杨

    Abstract: 一种基于FIR滤波的鲁棒逆模型学习增益设计方法,属于超精密运动控制领域。鲁棒逆模型迭代学习控制的目标是,通过伺服误差学习不断提升运动系统的伺服精度,其学习增益由闭环系统标称模型的逆低通滤波器H(z)和时间超前环节zτ三部分串联组成;所述方法采用具有线性相移特性的FIR低通滤波器替代现有技术中的传统低通滤波器,并通过补偿FIR低通滤波器的线性相移实现零相位滤波。本发明公开方法中FIR低通滤波器通过设计可以直接实现规定的阻带起始频率和阻带衰减,时间超前补偿数量可以直接通过计算得到,并可在更大频率范围实现零相位滤波,克服了参数整定的盲目性,可有效保证实际应用中达到预期补偿效果。

    基于前向递归的小行程纳米运动台滞回特性建模方法

    公开(公告)号:CN113627016B

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202110915227.9

    申请日:2021-08-10

    Inventor: 刘杨 缪骞 陈震宇

    Abstract: 基于前向递归的小行程纳米运动台滞回特性建模方法,属于超精密运动控制技术领域。建模过程包括采样数据获取、模型构建,算法求解以及结果输出四部分,所述采样数据获取,方法如基于小行程纳米级运动台及热相关滞回数据测量方法中所述,获取在不同温度、不同位移条件下的电流—力的相关数据采集;模型构建部分包括基函数确定与模型的结构和参数确定;算法求解部分包括初始条件设置、RBF网络构建、RBF中心个数判定以及权值输出。本发明基于一个多输入单输出非线性系统的输入输出数据快速识别模型参数,在减小计算量的同时保证模型精度,并解决传统最小二乘类算法因矩阵病态导致的算法不稳定问题,进而通过逆模型补偿提高运动台的性能。

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