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公开(公告)号：CN116839845A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310692905.9
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种六自由度地基激振台，属于振动试验机技术领域。优化了现有地基激振设备因为平台固有频率低导致激振频带较窄的问题。一种六自由度地基激振台包括大理石平台支撑框架，通过垫板固定安装在混凝土地面上；大理石平台，是被激励装置，居于支撑框架中间，平台四侧通过连接板与固连在支撑结构上的电机相连。通过电机出力并联解决了激励不足的情况、优化大理石平台及支撑框架的结构提高了各部分的固有频率，保证了激振频带内可控。
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公开(公告)号：CN114362618B
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202111603511.9
申请日：2021-12-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P21/14 , H02P21/22 , H02P25/022 , H02N15/00
Abstract: 本发明是一种永磁同步电机动子电流初始相位角标定方法。本发明涉及电机标定技术领域，本发明设定永磁同步电机动子的期望力矢量，确定三相电流‑位移曲线；在三相电流相位‑位移曲线中提取原点处的相电流，确定位移方向的原点；设定初始力条件，确定一个完成的受力周期；记录X轴的位移矢量，确定原点处的相电流曲线，得到原点处的三相电流相位。本发明无需复杂工装，可以在任何条件下确定线圈电流的初始相位。本发明扩展性强，对于多线制动子仍然通用，只需要修改对应的间隔相位角即可实现。
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公开(公告)号：CN114814267A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202111679160.X
申请日：2021-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P3/42
Abstract: 本发明提出了一种磁电式速度传感器的低频拓展电路及控制方法，电路包括ADA4666‑2、拨码开关、前置滤波器、高通滤波器、低通滤波器、带通滤波器、加法器、PCB电路板和外壳；将磁电式速度传感器的输出信号先进行前置滤波，然后通过二阶有源高通滤波二阶有源低通滤波电路和二阶有源带通滤波电路，通过三个滤波电路的信号通过加法器求和后到低频拓展后的信号；经拓展后，该传感器测量振动的中心频率由原来的4.5Hz降低到0.28Hz，能让传感器的幅频特性在0.28Hz‑100Hz的范围内保持平滑，对传感器的信号衰减起到了补偿的作用，使传感器在该处的灵敏度更接近于实际灵敏度，稳定性和可靠性高、功耗低、结构简单、成本低；解决了目前磁电式速度传感器不能检测低频振动的问题。
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公开(公告)号：CN114352616A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111672403.7
申请日：2021-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16B11/00
Abstract: 本发明提出了一种用于磁浮运动台的海尔贝克阵列装配方法，属于海尔贝克阵列技术领域。解决了传统海尔贝克阵列装配中定位困难，装配效率低，成品阵列排列精度低、间隙大、平面度低的问题。它包括将一字型挡块和V字型挡块安装在底板上；排列辅磁行；排列主磁与辅磁行；调整辅磁行中辅磁的数量，调整主磁与辅磁行中主磁和辅磁的数量，将辅磁行和主磁与辅磁行交替排列；所有主磁、辅磁和压条排列完成后，使用点胶机在灌胶孔处进行灌胶；待胶体凝固后，取走压条，完成海尔贝克阵列磁体装配。它主要用于磁浮运动台。
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公开(公告)号：CN114263696A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111615943.1
申请日：2021-12-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F6/00
Abstract: 本发明提出了一种可调刚度的磁性负刚度机构，属于超精密隔振领域。解决了现有低频隔振装置不适用于工业生产的问题。它包括定子部分与动子部分，所述定子部分包括外部壳体、对绞丝杠、上层磁铁装配体和下层磁铁装配体，所述对绞丝杠沿竖直方向转动连接在外部壳体上，所述上层磁铁装配体和下层磁铁装配体均与对绞丝杠螺纹连接，通过转动绞丝杠使上层磁铁装配体和下层磁铁装配体沿竖直方向同时向相反方向运动，所述动子部分包括负载平台和中间层磁铁装配体，所述中间层磁铁装配体设置在上层磁铁装配体和下层磁铁装配体之间，所述中间层磁铁装配体通过支柱与负载平台相连。它主要用于精密隔振。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119480333A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411662234.2
申请日：2024-11-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列及光刻装置，属于光刻机技术与超精密测量技术领域，解决了光刻机运动台系统精度低和稳定性差的问题，Halbach永磁阵列包括：若干个阵列单元；每个阵列单元包括两个N级磁钢、两个S级磁钢、16个柔性充磁的六棱柱磁钢、24个六棱柱磁钢和12个长方体磁钢。本发明通过优化设计拓扑结构，采用新型柔性充磁方法，大幅修正现有磁钢阵列的谐波分量畸变、周期性扭曲畸变和峰值波动畸变，使得三种畸变情况都远优于现有磁钢阵列，且周期性畸变几乎完全消除，非扫描方向波动畸变分散程度大幅减小，总谐波畸变率最大可修正至优化前五分之一。
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公开(公告)号：CN119382377A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411492597.6
申请日：2024-10-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于扁平线圈的平面电机动子，具体属于集成电路制造的平面电机技术领域；通过提高线圈槽满率的方式可以提升出力性能的同时，而由于线圈的散热主要通过传导散热，而采用扁平线，也保证线圈的散热能力；并且扁平线圈降低了线圈的电感，对提升设备的响应性能有着重要意义。本发明包括动子框架壳体和扁平线圈模块，还包括磁铁和水冷组件；动子框架壳体内侧开设有水冷管放置槽与线圈组放置槽，水冷管放置槽与线圈组放置槽交错设置有两组，水冷管放置槽内设置有水冷组件，线圈组放置槽内设置有扁平线圈模块，动子框架壳体固定设置在磁铁顶面；扁平线圈模块设置有四组，每组扁平线圈模块由三个扁平线圈构成。
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公开(公告)号：CN117154983B
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202311022256.8
申请日：2023-08-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K3/00 , H02K3/04 , H02K3/28 , H02K3/24 , H02K9/00 , H02K9/19 , H02K9/22 , H02K5/24 , H02K1/06 , H02K1/22 , H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种平面电机动子结构，该动子结构整体呈正棱柱状，包括上盖板、散热结构、多个三相线圈组和下盖板，多个三相线圈组沿上盖板几何中心旋转对称分布，相邻两个三相线圈组之间形成线圈组间隙，上盖板、散热结构、多个三相线圈组和下盖板由上至下依次同轴叠加固定设置。本发明可解决平面电机线圈局部温度过高的问题，提升散热效率，延长平面电机的使用寿命。
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公开(公告)号：CN118611474A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410697557.9
申请日：2024-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00 , H02K9/19 , H02K11/215 , H02K11/22 , H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/67
Abstract: 一种宏动微动结合的磁悬浮运动台，它涉及一种磁悬浮运动台，本发明为解决传统的磁悬浮运动台结构复杂、负载大且成本高的问题，它包括宏动台单元和微动台单元，所述宏动台框架的中部设有矩形槽，矩形槽的四周分别设有四个安装槽，每个安装槽内设有一个水冷中空板，每个水冷中空板的下表面连接有一个绕组线圈，所述宏动台晶圆支撑架与宏动台框架连接，用于承载晶圆；所述微动台单元位于所述矩形槽内。本发明提出一种宏动微动结合的磁悬浮运动台，可以减轻宏动台的负载，减少设计复杂度，降低系统复杂度，缩小系统体积，节约成本，对超精密加工领域，尤其是光刻机领域有着重要意义。本发明属于磁悬浮技术领域。
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公开(公告)号：CN116882077B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202310692472.7
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/17 , G06F119/14 , G06F111/10
Abstract: 本发明提出一种激振台振动信号的产生方法，激振台激振信号的产生方法包括以下步骤：在仿真软件中生成激振台的振动信号，建立本发明中激振台动力学模型，推导出激振台电机出力到激振台振动速度的传递函数，通过仿真软件仿真得到电机出力的最大值和有效值，根据电机出力进行电机选型和安装位置布局。该方法低成本，简单易用，产生的激振信号保真性好。
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