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公开(公告)号:CN119426143A
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202510034166.3
申请日:2025-01-09
Applicant: 厦门大学
IPC: B05D5/12 , G01K7/00 , B05D7/00 , B05D1/38 , B05D3/04 , B05D3/14 , B05D3/00 , B05D1/04 , B41J3/413 , B41J3/407 , B41M5/00
Abstract: 本发明提出了一种制备钨铼超高温辐射温度传感器的敏感层和绝缘层的喷印方法,包括对正负极氧化铝基底预处理后,通过电流体喷印平台依次在正负极氧化铝基底上喷印正负极敏感层,烧结形成正负极敏感芯体。并在此基础上进一步提出了钨铼超高温辐射温度传感器及其制备方法,钨铼超高温辐射温度传感器自下而上包括负极敏感芯体、绝缘层和正极敏感芯体,负极敏感芯体自下而上包括钨/铼26敏感层、负极氧化铝基底、钨/铼26引线和负极氧化铝圆片;正极敏感芯体自上而下包括钨敏感层、正极氧化铝基底、钨引线和正极氧化铝圆片。该传感器测温范围达400℃至3000℃,远超传统传感器的极限温度,满足了航天、冶金等极端环境的需求。
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公开(公告)号:CN118960844A
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202411040446.7
申请日:2024-07-31
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种温度‑压力‑热流三参量的复合微纳传感器及其制备方法,其中,复合微纳传感器包括敏感芯体和包裹在敏感芯体外的封装壳体,敏感芯体的主体光纤与法珀谐振腔串联,法珀谐振腔远离主体光纤的一端形成压力敏感膜片层,通过压力敏感膜片层和法珀谐振腔的配合对压力进行检测,通过同轴热电偶实现对温度的检测,通过温度可反演计算热流大小,实现了同时对多个参数的监测,具有耐高温、抗电磁干扰、重复性误差小等特点。
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公开(公告)号:CN118533915A
公开(公告)日:2024-08-23
申请号:CN202410459238.4
申请日:2024-04-17
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及溶液电导率测量技术领域,具体涉及一种平面七电极式电导率传感器,包括陶瓷基板、以及从左往右依次平行分布在陶瓷基板上的左外侧电极、左中间电极、左内侧电极、中心电极、右内侧电极、右中间电极、右外侧电极,所述的中间电极与左外侧电极、右外侧电极形成激励电流电极,左中间电极、左内侧电极、右内侧电极、右中间电极形成电压测试电极,激励电流电极的尺寸略大于电压测试电极,且中间电极的前端面扩大设置,可以优化电场分布,降低极化效应。同时,电极后端的回弯设计可形成局部电场闭环,增强电场强度,降低邻近效应的影响。此外,传感器设计考虑了微型化,具有功耗低,抗污染能力强等特点,使其在各种应用中具有广泛的用途。
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公开(公告)号:CN118464976A
公开(公告)日:2024-08-09
申请号:CN202410602396.0
申请日:2024-05-15
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器,包括:功能部,包括依次叠加的第一薄膜层、电极层和硅基底;第一薄膜层为硅化合物薄膜,用于保护电极层;电极层用于根据气体中的热导率变化生成检测氢气浓度的检测信号;封装部,设有内电极和外电极,内电极与电极层相连接以接收电极层的检测信号,外电极与外部电路相连接以输出检测信号。本发明设有参比和补偿电阻,增加了传感器的检测精度和检测范围;通过结构设置使测量电阻丝充分接触周边空气,快速检测氢气浓度变化;采用多层保护膜和透气疏水膜,使得该传感器可稳定应用于高湿度环境下。
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公开(公告)号:CN116046220B
公开(公告)日:2024-07-02
申请号:CN202211693801.1
申请日:2022-12-28
Applicant: 厦门大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 本发明公开了一种基于单压力转换元件的石英谐振式压力传感器,包括压力转换元件、盖帽和石英双端音叉,压力转换元件包括承载件、第一支撑板和第二支撑板,承载件包括连接部和基台,连接部内设有压力通道,基台设于连接部的一端并可接收到从连接部的另一端经压力通道传导的压力,第一支撑板设于基台上,第二支撑板设于连接部的一端并设有容纳第一支撑板的通孔,第一支撑板与第二支撑板之间设有间隔,石英双端音叉跨越间隔并且两端分别固定在第一支撑板和第二支撑板上,石英双端音叉的中轴线与压力转换元件的中轴线重合,盖帽与连接部密封连接并形成上腔室,第一支撑板、第二支撑板、基台和石英双端音叉设于上腔室内,结构简单并且精度较好。
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公开(公告)号:CN118191031A
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202410432111.3
申请日:2024-04-11
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种七电极式电导率传感器电导率测量电路及方法,包括DDS数字频率合成器、七电极电导率传感器、放大电路、模拟开关、精密全波整流电路、低通滤波电路、ADC采样模块,DDS数字频率合成器在主控模块的控制下输出一个正弦波激励信号对七电极电导率传感器进行激励,采集七电极电导率传感器的两路反馈信号和精密采样电阻上激励信号的电压信号,经放大电路放大后,模拟开关进行轮巡切换,将信号传输到精密全波整流电路和低通滤波电路,转换成直流电压信号,通过ADC采样模块进行采集,主控模块通过计算两路信号直流电压值与精密电阻上的直流电压值的比值求解出电导率值。本发明可以适应不同应用场景,提供更准确的测量结果。
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公开(公告)号:CN118067259A
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202410209093.2
申请日:2024-02-26
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及温度传感器封装技术领域,具体涉及一种高温四线制高精度铂电阻薄膜温度传感器封装结构,包括耐高温管壳、铂薄膜电阻、耐高温电极引线和耐高温导线,铂薄膜电阻封装在耐高温管壳内,两组耐高温电极引线外侧分别包裹高温隔热胶带,耐高温电极引线尾端伸入耐高温管壳内,与铂薄膜电阻焊接,焊接处点涂玻璃浆料形成玻璃浆料保护层,耐高温电极引线前端与耐高温导线焊接,且耐高温管壳左侧开口处中填充耐高温隔热胶,保证耐高温管壳与外界隔绝。将耐高温导线连接后端电路,应用于高温环境温度测量。本发明具有耐高温、耐腐蚀、制造成本低等特点,解决传统铂电阻温度传感器工作温度范围窄和封装工艺繁琐的问题,可实现低成本、批量化生产。
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公开(公告)号:CN117870944A
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN202311286251.6
申请日:2023-10-07
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种具有法珀谐振腔的压力传感器、系统和制作方法,包括固定套、筒体、压力敏感芯片、光纤校准器和蓝宝石光纤;所述筒体内设有具有开口的防护槽;所述压力敏感芯片安装于所述防护槽内并设有复合式法珀谐振腔;所述固定套固定于所述防护槽的开口端以压紧并固定所述压力敏感芯片;所述光纤校准器穿设于所述筒体且与所述法珀谐振腔对准干涉;所述蓝宝石光纤穿设于所述光纤校准器。本发明结构合理,传感器能稳定够满足1400℃以上的超高温环境下的动态压力测量。
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公开(公告)号:CN117647337A
公开(公告)日:2024-03-05
申请号:CN202311614866.7
申请日:2023-11-29
Applicant: 厦门大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明涉及压力传感器领域,具体涉及一种低阻尼的石英谐振式压力传感器,由盖帽、谐振片和盖帽组成,所述谐振片采用多孔网筛结构。本发明利用飞秒激光加工技术,在谐振片中心进行多孔网筛,一方面,多孔网筛在几何尺度上保证了谐振片的对称性,使得能陷区被限制在谐振片的中心,即振动能量主要集中在电极区,从而使得传感器将具有较高的灵敏度及分辨率。另一方面,通过谐振片中心多孔网筛,有力地减小了石英谐振片在非真空环境下振动的空气阻尼,从而减小了器件与空气作用而导致的能量耗散,这对于提高传感器的长期稳定性以及抗干扰能力都具有十分重要的作用。
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公开(公告)号:CN117207126A
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN202311408707.1
申请日:2023-10-27
Applicant: 厦门大学
IPC: B25B27/00
Abstract: 本发明提供了一种用于薄片式传感器敏感芯体的悬梁式装配装置和装配方法,包括悬梁式工装和两个T型工装;所述悬梁式工装包括第一工装装配平面和至少一悬臂梁,所述第一工装装配平面包括至少一第一工装装配凹槽;所述T型工装可操作地移动并选择性地固定在所述悬臂梁上,所述T型工装的下端设置有一工装压块;所述悬梁式装配装置还包括凸台工装;所述凸台工装包括凸台工装凹槽;所述凸台工装与所述悬梁式工装抵接时,所述凸台工装装配平面和第一工装装配平面齐平,且所述凸台工装凹槽和第一工装装配凹槽沿轴向对接。应用本技术方案能够有效地提升薄片式传感器敏感芯体的装配精度和装配效率,操作十分便捷。
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