用于对电路中的组成部件进行测评的方法和装置及电路

    公开(公告)号:CN115629283A

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202210995869.9

    申请日:2022-08-18

    Abstract: 本发明涉及电路部件的测评领域,公开了一种用于对电路中的组成部件进行测评的方法和装置及电路,该方法包括:针对电路的第一组成部件支路或第二组成部件支路中的任一组成部件,根据以下内容进行测评且在进行测评之前第一组成部件支路和第二组成部件支路处于正向不导通的状态:控制测评组成部件支路正向导通且持续第一预设时间,以对充放电模块进行充电;控制测评组成部件支路正向不导通且持续第二预设时间,以使得充放电模块进行放电;获取被测评的组成部件的测评参数;以及根据所获取的测评参数和预设测评参数,判断被测评的组成部件的状态,以对被测评的组成部件进行测评。籍此,实现了无需拆卸组成部件即可对组成部件进行测评。

    LDMOS器件、制备方法及芯片

    公开(公告)号:CN115084235B

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202210875508.0

    申请日:2022-07-25

    Abstract: 本发明提供一种LDMOS器件、制备方法及芯片。该器件包括:半导体衬底、栅极结构、源极区、漏极区、体区以及漂移区,栅极结构包括二氧化硅层、高K金属氧化物层和金属电极层,二氧化硅层形成在半导体衬底的上方,高K金属氧化物层形成在二氧化硅层上方,金属电极层形成在高K金属氧化物层上方;高K金属氧化物层为阶梯状结构,且漂移区上方的高K金属氧化物层的厚度大于体区上方的高K金属氧化物层的厚度。该器件去掉漏极结构与漂移区之间的隔离结构,缩短导电路径,降低导通电阻,缩小器件尺寸,节约芯片面积;二氧化硅层连接衬底,减少界面态;采用高K金属氧化物层提升器件的击穿电压,弥补去掉隔离结构后栅极结构的击穿电压会降低的不足。

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