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公开(公告)号：CN101641281B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN200880007687.4
申请日：2008-03-14
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B82Y10/00 , B81C99/009 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7084 , Y10T428/24479
Abstract: 一种用于将图案压印到待处理部件上的模具由以下构成：具有前表面和后表面的模具体，在所述前表面处形成所述图案，所述后表面与所述前表面相对；用于覆盖所述模具体的前表面的涂层；和用于覆盖所述模具体的后表面的涂层。所述用于覆盖所述模具体的后表面的涂层在所述模具体的后表面处部分地具有开口。
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公开(公告)号：CN101681095B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200880016608.6
申请日：2008-05-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0017 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 一种图案形成方法，包括：在形成于基材上的薄膜的表面上形成抗蚀剂的图案的步骤；在抗蚀剂的图案上形成反转层的步骤；通过在去除反转层以露出抗蚀剂的表面之后去除抗蚀剂、形成与抗蚀剂的图案互补的反转层的反转图案的步骤；通过以反转层的反转图案为掩模蚀刻薄膜、形成包含其上形成反转层的薄膜的硬掩模层的步骤；以及以其上保留反转层的硬掩模层或其上已去除反转层的硬掩模层作为掩模蚀刻基材的步骤。
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公开(公告)号：CN101632040B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200880007974.5
申请日：2008-03-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B29C35/0888 , B29C37/0053 , B29C43/003 , B29C43/021 , B29C43/58 , B29C2035/0827 , B29C2043/025 , B29C2043/3634 , B29C2043/5833 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01J37/026 , H01J2237/0042 , H01J2237/0047
Abstract: 一种压印方法包括以下步骤：在模具的压印图案与树脂材料接触或接近的状态下，对基板上所形成的树脂材料进行固化；以及将所述模具从所述固化的树脂材料分开。在以用于使得放置有所述模具和所述固化的树脂材料的气氛中的气体分子离子化的电磁波照射形成所述模具的压印图案的整个区域以及固化的树脂材料的同时，实现所述分开。
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公开(公告)号：CN101566795B
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN200910203848.3
申请日：2006-06-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/768
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及用于生产芯片的加工设备、加工方法和工艺。其中，包括一种压印方法，用于通过采用具有图形的模子在刚性衬底或刚性衬底上的图形形成材料上形成压印的图形，该方法包括：通过能沿与地心引力方向相反的方向移动的支承部分、向上推压被保持以致能够由于自身重量而弯曲的衬底，以便减小沿着地心引力方向的弯曲量，从而在衬底上形成压印的图形。
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公开(公告)号：CN101604124B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200910140939.7
申请日：2006-06-07
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供一种用于形成图案的图案形成方法，包括：制备模子(104)，该模子(104)具有包括图案区域(1000)的第一表面、与第一表面相对的第二表面以及被设在远离第二表面并靠近第一表面的位置处的对准标记(2070)；使模子(104)的图案区域(1000)与设在衬底(5000)上的涂覆材料接触；在涂覆材料被设于衬底(5000)上的对准标记(2070)和衬底(5000)彼此相对的部分处的情况下，通过利用对准标记(2070)和在衬底(5000)上设置的标记(5300)，来获得关于模子(104)和衬底(5000)的位置信息；以及在所述信息的基础上，实施衬底(5000)与模子(104)的高精度对准；相应的模子以及图案形成设备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101641281A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200880007687.4
申请日：2008-03-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B82Y10/00 , B81C99/009 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7084 , Y10T428/24479
Abstract: 一种用于将图案压印到待处理部件上的模具由以下构成：具有前表面和后表面的模具体，在所述前表面处形成所述图案，所述后表面与所述前表面相对；用于覆盖所述模具体的前表面的涂层；和用于覆盖所述模具体的后表面的涂层。所述用于覆盖所述模具体的后表面的涂层在所述模具体的后表面处部分地具有开口。
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公开(公告)号：CN101427185A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200780013834.4
申请日：2007-04-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F9/00
Abstract: 在用于进行两个板状物之间的对准的对准方法中，将配置有第一对准标记的第一板状物和配置有第二对准标记的第二板状物相互相对放置。将第一区域和第二区域布置在通过图像拾取装置所观察的图像拾取区域中相互不重叠的位置处。从基本上与第一和第二板状物的平面内方向垂直的方向，通过图像拾取装置，拾取第一和第二对准标记的图像。通过使用第一对准标记相对于第一区域中的预定位置的偏移的第一信息和第二对准标记相对于第二区域中的预定位置的偏移的第二信息，来进行对准控制。
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公开(公告)号：CN112068398B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202010528111.5
申请日：2020-06-11
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及模拟方法、模拟装置、存储介质、膜形成方法和生产固化产物的方法。提供一种在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟方法。所述方法包括：通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及，基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。
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公开(公告)号：CN113366613A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011703.8
申请日：2020-01-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , G06F30/10
Abstract: 公开了一种预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件彼此接触并在第一构件上形成可固化组合物的膜的过程中可固化组合物的行为的模拟方法。该方法包括定义由多个计算元素形成的计算网格，使得可固化组合物的多个液滴落在一个计算元素内，以及根据与每个计算元素中的可固化组合物的状态对应的模型来获得每个计算元素中的可固化组合物的行为。
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公开(公告)号：CN102360162B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201110313093.X
申请日：2008-02-05
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B05C11/00 , B29C59/002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/7023 , G03F9/703 , G03F9/7042
Abstract: 本发明涉及一种刻印方法和刻印装置。一种用于将设置在模具上的刻印图案刻印到形成在基片上的图案形成层上的刻印方法，所述方法由以下步骤构成，所述步骤为：第一个步骤，在所述第一个步骤中，借助反馈控制进行基片与模具之间的对准；第二个步骤，在所述第二个步骤中，使模具与图案形成层相互接触；第三个步骤，在所述第三个步骤中，将图案形成层固化；以及第四个步骤，在所述第四个步骤中，增大基片与模具之间的间隙。所述刻印方法还包括在第一个步骤与第二个步骤之间和/或在第二个步骤与第三个步骤之间将反馈控制停止的步骤。
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