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公开(公告)号:CN1545622A
公开(公告)日:2004-11-10
申请号:CN02816283.8
申请日:2002-08-27
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/312
Abstract: 本发明提供一种可精密检查导体图案形状的检查装置用传感器及使用该传感器的检查装置。传感元件12a包含MOSFET,配置铝电极(AL),作为无源元件80。作为无源元件80的铝电极80连接于MOSFET81的栅极及MOSFET82的源极上。另外,从电源电路部18向MOSFET81的漏极施加电压VDD,将MOSFET81的源极连接于MOSFET83的漏极上。向MOSFET82的栅极输入来自纵向选择部14的复位信号,从电源电路部18向MOSFET82的漏极施加电压VDD。从纵向选择部14向MOSFET83的栅极输入选择信号,向横向选择部13输入来自MOSFET83的源极的输出。
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公开(公告)号:CN1395688A
公开(公告)日:2003-02-05
申请号:CN01803772.0
申请日:2001-11-15
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/28 , G01R31/304 , G01R1/02
CPC classification number: G09G3/006
Abstract: 本发明提供一种能快速检查电路基板的检查装置及检查方法。作为被检查对象的LCD驱动模块(100),载置有LCD驱动用的LSI(110),电路布线(111)连接于SEG端子,电路布线(112)连接于LSI(110)的COM端子。检查装置1向LSI(110)的输入端子(113)中输出LSI驱动信号。传感器(2、3)以非接触方式分别配置在与电路布线(111、112)相对向的位置上,通过驱动LSI(110),检测电路布线(111、112)上所产生的电位变化,用检查装置(1)分析该检测信号。
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公开(公告)号:CN1395687A
公开(公告)日:2003-02-05
申请号:CN01803771.2
申请日:2001-11-15
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/28 , G01R31/304 , G01R1/02
CPC classification number: G09G3/006
Abstract: 本发明提供能快速检查电路基板的检查装置及检查方法。作为被检查对象的PDP驱动模块100,载置有PDP驱动用的LSI110,而电路布线111连接于该端子。检查装置1向LSI110的输入端子113输出LSI驱动信号。传感器2在与电路布线111相对的位置上,以非接触方式配置,通过驱动LSI110,来检测电路布线111上的电压值,由检查装置1分析该检测信号。
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公开(公告)号:CN1380980A
公开(公告)日:2002-11-20
申请号:CN01801478.X
申请日:2001-06-13
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G01R31/312 , G01R31/2805 , G01R31/2812 , G01R31/304 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种在将检查信号供给到电路配线时,不需要与该电路配线接触的端子,而连无法以肉眼辨识的微细缺陷也会检测出的检查装置及检查方法。用来检查电路基板100的电路配线的检查装置A,是由:配置在电路基板100的其中一面而被供给检查信号的导电构件1、将检查信号供给到导电构件1的信号源2、具有面向导电构件1而被配置在电路基板100另一面的多个单元3a的感测单元3、以及通过将检查信号供给到导电构件1,而取得在各单元3a所出现信号的计算机5所构成。
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公开(公告)号:CN1363042A
公开(公告)日:2002-08-07
申请号:CN01800308.7
申请日:2001-03-23
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G01R31/302 , G01R31/304 , G01R31/312
Abstract: 本发明提供了一种可以借助直感获得回路配线检测结果的检测装置和检测方法。检测系统20,具有配置着多个传感元件的传感器芯片1,电子计算机21,向回路配线101供给检测信号的电极触头22,对供给至电极触头22处的检测信号实施切换的选择部件23。电子计算机21可以对由传感器芯片1给出的检测信号实施接收,生成图象数据,进而可以将作为检测对象的回路配线图象显示在显示部件21a上。采用这种构成形式,便可以对特定回路配线的形状实施分析,并且可以依据所生成的图象数据和表示设计上的回路配线的图象数据,对回路配线101中出现的断线、短路、脱落等等故障实施检测。
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公开(公告)号:CN101107536A
公开(公告)日:2008-01-16
申请号:CN200680002739.X
申请日:2006-01-18
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2829 , G01R31/025 , G01R31/2812
Abstract: 本发明提供一种可以以单一的传感器单元检测导电图案的断路/短路的电路图案检查装置及其方法。当以非接触式检查被设在玻璃衬底3上成为行状的导电图案2是否良好时,将用以供给检查信号的供电部12,和用以检测该信号的传感器13配置成互相接近。利用此种构造,当传感器13位于没有断路状态的正常的导电图案上时,和传感器13位于有断路部位的导电图案上时,该传感器13检测到的检查电流的检测电平产生显著不同,所以可以准确地进行断路状态的检测。
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公开(公告)号:CN101023317A
公开(公告)日:2007-08-22
申请号:CN200580028794.1
申请日:2005-08-25
Applicant: OHT株式会社 , 社会钻石系统株式会社
CPC classification number: G09G3/006 , G09G3/3622 , G09G2300/06
Abstract: 本发明的目的在于提供一种当检查对象为导电体时,利用非接触方式即可高精确度检测出检查对象状态的导电体状态检查装置。在由供电部的输送检查信号的检查对象导电体附近,设置有绝缘基板。在绝缘基板表面上,以既定间隔大致平行设置有多片X轴传感器板;而在绝缘基板背面,以既定间隔大致平行配置有与X轴传感器板大致正交的多片Y轴传感器板,通过比较传感器板的测量信号电平,计算出传感器板的测量信号电平的相对值,从而检测出检查对象导电体的位置。
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公开(公告)号:CN1751219A
公开(公告)日:2006-03-22
申请号:CN200480004385.3
申请日:2004-02-27
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G01B7/28
Abstract: 本发明的导电体状态检查装置,是在检查对象为导体的情况时,可依非接触且高精度地检测出检查对象的状态。在经从供电部供电着检查信号的检查对象导电体(520)附近,大致平行配设2片感测板(570、580),利用感测板(570)的测定电平,检查相对向于感测板(570)的导电标志份形状,同时,将感测板(570、580)所产生的检测信号利用减法器(550)进行减法运算,并利用除法器(560)将其中一感测板所产生的检测值除以减法运算结果,而将其中一感测板所产生的检测值予以规格化,并检测出由二感测板所产生的相对检测信号值比率,将感测板与导电体(520)间的距离所对应的检测结果当作X而获得。
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公开(公告)号:CN1566975A
公开(公告)日:2005-01-19
申请号:CN03147702.X
申请日:2003-06-23
Applicant: OHT株式会社
Abstract: 本发明的目在于提供,通过简单和简易的控制,可以可靠地检测各种规格的导体图形的短路的检查装置和检查方法。其中,将导电图形配置间距以下的大小的探针(30)横切检查对象导电图形(15)的检查位置,依次进行扫描;将覆盖导电图形配置区域大小的检测器部(20),定位配置在检查对象导电图形(15)的背面。将来自交流电源35的交流检查信号送至探针(30),以导电图形作为一个电极,检测器部(20)作为另一个电极,形成电容耦合,利用放大器(25)放大来自检测器部(20)的检测信号,考查检查信号,根据检测信号的电平是否与正常状态时的信号电平不同,判断送入检查信号的导电图形是否短路。
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公开(公告)号:CN1380981A
公开(公告)日:2002-11-20
申请号:CN01801479.8
申请日:2001-06-13
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G01R31/08 , G01R1/07328 , G01R31/2801
Abstract: 本发明利用具有通用性,且生产性优越的传感器提供一种可进行高速检查的检查装置及检查方法。在决定出成为检查对象的电路基板100的时点,则分析该电路配线101的CAD数据,而检测出配线的端部位置。此外,还特定出接近该端部位置(可以检测出该端部的电压变化)的多个感测组件。控制切换电路16,将该多个感测组件连接到输出端子12侧,而将其它的感测组件连接到GND端子15。在此状态下,在将电压施加于所选择的一个电路配线时,若从输出端子12输出检查信号(电压变化),则可说在该电路配线不存在断线。
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