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公开(公告)号：CN1383003A
公开(公告)日：2002-12-04
申请号：CN02111827.2
申请日：2002-05-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种具有双绝缘埋层SOI基的二维光子晶体波导及制备方法,属于光电子技术领域。特征在于顶层硅上形成具有线缺陷的二维周期结构,介质为Si或为硅和能与Si构成折射率差大于2的介质材料;周期常数a:0.18～0.5μm,介质孔径d:0.225～0.9μm;线缺陷宽度w=1.5～3a。双绝缘埋层为SiO2/Si3N4,或SiO2/Al2O3,或SiO2/AlN,或Al2O3/AlN,或Al2O3/Si3N4,或AlN/Si3N4中的一种,双绝缘埋层厚度0.2－3μm。其制作方法是采用改进智能剥离法H+、He+离子共注入然后结合电子束光刻和深反应离子刻蚀。本波导的优势是在大角度转弯时能量损失非常小,几乎为零,从而解决了光学集成电路中由于传统波导造成的瓶颈难题,使光子晶体在制备高集成、且与传统微电子平面加工工艺相匹配的光学集成电路中具有现实意义。
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公开(公告)号：CN119224999A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202411349929.5
申请日：2024-09-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请提供一种抑制MEMS微镜串扰的方法。由于MEMS微镜的串扰来源于机械耦合引起的高频谐振，因此本申请抑制MEMS微镜串扰的方法包括抑制MEMS微镜的高频机械谐振的步骤；抑制MEMS微镜高频谐振的方式可以通过增大第一致动器与第二致动器之间的谐振频率差，从而有效抑制双轴之间的串扰，且不以牺牲双轴的偏转角度为代价，保证MEMS微镜在各个轴向上的偏转性能；抑制MEMS微镜的高频机械谐振的方式还可以通过对激励信号进行滤波，有效滤除激励信号中的高频信号分量，减少高频谐振对MEMS微镜控制的干扰，提升MEMS微镜的控制精度。
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公开(公告)号：CN116931255A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202210351648.8
申请日：2022-04-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B26/10
Abstract: 本发明提供一种大偏转角的光偏转器件，由中心向外依次包括：反射平面，两个第一柔性连接装置，两个第一致动传感装置，解耦平面，四个第二柔性连接装置及两个第二致动传感装置；每个第一柔性连接装置的一端与反射平面的边缘连接；两个第一致动传感装置的一端分别与两个第一柔性连接装置的另一端连接；每个第一致动传感装置均包括第一及第二致动传感器；解耦平面的一端与两个第一致动传感装置的另一端连接；每个第二柔性连接装置的一端与解耦平面的另一端边缘连接；每个第二致动传感装置分别与两个第二柔性连接装置的另一端连接；反射平面、第一致动传感装置、解耦平面及第二致动传感装置均相互平行。该光偏转器件可有效提高反射平面的偏转角。
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公开(公告)号：CN114415365B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202210112102.7
申请日：2022-01-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS光学偏转器件，包括：基座、2N个悬臂梁致动器、2N个耦合结构及反射微镜，其中N≥1；每个悬臂梁致动器包括：致动器衬底、致动结构、第一柔性结构；基座与致动器衬底固定连接；致动结构与致动器衬底连接；第一柔性结构与致动器衬底固定连接；第一柔性结构与一个耦合结构固定连接；2N个耦合结构固定连接于反射微镜的下方；2N个悬臂梁致动器沿周向分布于反射微镜的下方周围，且每两个悬臂梁致动器沿直线分布。通过在每一个第一柔性结构的一端均设置一个耦合结构，当沿直线分布的两个悬臂梁致动器同时产生致动力使反射微镜旋转时，两个悬臂梁致动器的旋转轴与反射微镜共轴，光的入射点在偏转过程中不会发生偏移。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104062575A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410307562.0
申请日：2014-06-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种通过外部光反馈装置改变有效反射率来测量激光器内量子效率和内损耗的方法，包括以下步骤：S1：在激光器光路上设置一外部光反馈装置；S2：将激光器的腔面与外部光反馈装置的镜面等效为一个等效腔面；通过改变外部光反馈装置的反射率来调节反馈强度，改变激光器自身的输出功率；S3：测量不同反馈强度下激光器的电流-功率关系，得到多条I-P曲线；S4：由所述I-P曲线计算出各反馈强度下的外微分量子效率；S5：通过外微分量子效率与外部光反馈装置的反射率的函数关系拟合出激光器的内量子效率和内损耗。本发明具有只需要测试一个激光器的特点，从而消除了多个激光器测量带来的离散误差，同时带来方便、快捷、成本低、可靠性高的优点。
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公开(公告)号：CN119291919A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411349875.2
申请日：2024-09-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请提供一种MEMS微镜加固结构。该MEMS微镜加固结构包括支撑座和设置于支撑座上表面的框架，框架为敞口设置的中空结构；在第一方向上，镜面依次通过第一弹性结构、第一致动器悬臂与框架连接；在第二方向上，镜面依次通过第二弹性结构、第二致动器悬臂与框架连接；支撑座的上表面设置止挡器，且止挡器位于镜面正下方。通过设置止挡器，可以限制MEMS微镜在第三方向的大幅度位移，避免大量程振动和冲击造成的机械损坏。
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公开(公告)号：CN113281898B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202110571642.7
申请日：2021-05-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS微镜单元，所述MEMS微镜单元包括：镜面层，包括镜面以及设置于所述镜面背部的多个柔性力学结构；致动器层，包括交叉排列的三个致动器，每一致动器与所述镜面层的每一柔性力学结构成对设置并且通过耦合柱与相应的柔性力学结构耦合，所述致动器用于通过所述耦合柱与所述柔性力学结构以为所述镜面层提供动力；以及引线层。本发明还提供了一种MEMS微镜阵列，所述MEMS微镜阵列包含以密堆方式排列的多个所述的MEMS微镜单元。本发明提供的MEMS微镜单元可以实现三个自由度的精确可调，控制方式灵活；包含所述MEMS微镜单元的微镜阵列，具有高占空比，以及高一致性的镜面性能。
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公开(公告)号：CN114415365A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210112102.7
申请日：2022-01-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS光学偏转器件，包括：基座、2N个悬臂梁致动器、2N个耦合结构及反射微镜，其中N≥1；每个悬臂梁致动器包括：致动器衬底、致动结构、第一柔性结构；基座与致动器衬底固定连接；致动结构与致动器衬底连接；第一柔性结构与致动器衬底固定连接；第一柔性结构与一个耦合结构固定连接；2N个耦合结构固定连接于反射微镜的下方；2N个悬臂梁致动器沿周向分布于反射微镜的下方周围，且每两个悬臂梁致动器沿直线分布。通过在每一个第一柔性结构的一端均设置一个耦合结构，当沿直线分布的两个悬臂梁致动器同时产生致动力使反射微镜旋转时，两个悬臂梁致动器的旋转轴与反射微镜共轴，光的入射点在偏转过程中不会发生偏移。
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公开(公告)号：CN1170175C
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN02111827.2
申请日：2002-05-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种具有双绝缘埋层SOI基的二维光子晶体波导及制备方法，属于光电子技术领域。特征在于顶层硅上形成具有线缺陷的二维周期结构，介质为Si或为硅和能与Si构成折射率差大于2的介质材料；周期常数a：0.18～0.5μm，介质孔径d：0.225～0.9μm；线缺陷宽度w＝1.5～3a。双绝缘埋层为SiO2/Si3N4，或SiO2/Al2O3，或SiO2/AlN，或Al2O3/AlN，或Al2O3/Si3N4，或AlN/Si3N4中的一种，双绝缘埋层厚度0.2-3μm。其制作方法是采用改进智能剥离法H+、He+离子共注入然后结合电子束光刻和深反应离子刻蚀。本波导的优势是在大角度转弯时能量损失非常小，几乎为零，从而解决了光学集成电路中由于传统波导造成的瓶颈难题，使光子晶体在制备高集成、且与传统微电子平面加工工艺相匹配的光学集成电路中具有现实意义。
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