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公开(公告)号：CN116931255A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202210351648.8
申请日：2022-04-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B26/10
Abstract: 本发明提供一种大偏转角的光偏转器件，由中心向外依次包括：反射平面，两个第一柔性连接装置，两个第一致动传感装置，解耦平面，四个第二柔性连接装置及两个第二致动传感装置；每个第一柔性连接装置的一端与反射平面的边缘连接；两个第一致动传感装置的一端分别与两个第一柔性连接装置的另一端连接；每个第一致动传感装置均包括第一及第二致动传感器；解耦平面的一端与两个第一致动传感装置的另一端连接；每个第二柔性连接装置的一端与解耦平面的另一端边缘连接；每个第二致动传感装置分别与两个第二柔性连接装置的另一端连接；反射平面、第一致动传感装置、解耦平面及第二致动传感装置均相互平行。该光偏转器件可有效提高反射平面的偏转角。
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