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公开(公告)号：CN111855596A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010206450.1
申请日：2020-03-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/31
Abstract: 提供吸光分析装置及记录吸光分析装置用程序的程序记录介质。吸光分析装置具备检测器；总压传感器；吸光度计算部，基于检测器的输出值和预先设定的零基准值计算吸光度；分压-吸光度关系存储部，存储表示调零时存在于检测器测定区域的干涉气体的分压与吸光度计算部算出的吸光度之间关系的分压-吸光度关系数据；分压计算部，在已知浓度的干涉气体存在于测定区域的已知浓度状态下，基于由总压传感器测定的总压和浓度计算作为干涉气体的分压的干涉气体分压；吸光度推断部，基于干涉气体分压和分压-吸光度关系数据推断作为干涉气体的吸光度的干涉气体吸光度；校正部，基于干涉气体吸光度和在已知浓度状态下的检测器的输出值进行更新零基准值的调零。
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公开(公告)号：CN111690909B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202010150050.3
申请日：2020-03-06
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 用于提供在不增设新的传感器等的情况下，准确地推定汽化罐内的原料的消耗量，且能够进行与原料的剩余量对应的高精度的浓度控制的浓度控制装置，其在汽化器中对原料气体的浓度进行控制，汽化器至少具备：容纳液体或固体的原料的汽化罐、向汽化罐供给载气的载气供给通路、以及供由原料汽化而从汽化罐导出的原料气体流通的原料气体导出通路，浓度控制装置具备：浓度监测器，其设置于原料气体导出通路，输出与原料气体的浓度对应的输出信号；浓度计算部，其基于来自浓度监测器的输出信号，来计算原料气体的浓度；以及原料消耗量计算器，其基于计算浓度和载气的流量，来计算作为原料气体而导出到原料气体导出通路的原料的消耗量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119096131A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202380039021.1
申请日：2023-01-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N7/00 , C23C16/448 , G01L9/00 , G01N33/00
Abstract: 本发明的浓度测定装置（5）对混合气体（MG）中所含的原料气体的浓度进行测定，所述浓度测定装置（5）具备：分压传感器（51），对混合气体（MG）中所含的原料气体的分压进行检测并输出表示该分压的分压信号（Pv）；总压传感器（52），对混合气体（MG）的压力即总压进行检测并输出表示该总压的总压信号（Pt）；延迟滤波器（53），实施使总压信号（Pt）的响应速度延迟的处理，并输出该处理后的总压信号即延迟总压信号（Pt'）；以及计算部（54），基于分压信号（Pv）及延迟总压信号（Pt'）计算出混合气体（MG）中所含的原料气体的浓度。
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公开(公告)号：CN117434026A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202310890023.3
申请日：2023-07-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/39 , G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 本发明提供一种高精度地监测针对被处理物的处理量的分析装置、分析方法及计算机可读的存储介质，所述分析装置具有测定部及运算部，所述测定部具有：激光光源，其对包含反应生成物的测定对象气体照射激光；光检测器，其检测透过测定对象气体的激光；以及信号处理部，其基于光检测器的检测信号来计算反应生成物的浓度或分压，运算部具有：时间积分部，其计算对测定部的输出值进行时间积分而得的时间积分值；关联数据存储部，其存储关联数据，所述关联数据示出对测定部的输出值进行时间积分而得的时间积分值与针对被处理物的处理量之间的关系；以及处理量计算部，其根据由时间积分部获得的时间积分值和关联数据来计算对被处理物的处理量。
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公开(公告)号：CN111560600A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN202010080528.X
申请日：2020-02-05
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , C23C14/22 , C23C14/54
Abstract: 提供气化装置、成膜装置、程序记录介质及浓度控制方法。气化装置具备气化罐、载气供给路径、材料气体导出路径、浓度监测器和浓度控制机构，上述浓度控制机构具备：浓度计算部，基于来自上述浓度监测器的输出信号计算上述材料气体的实际浓度；浓度控制部，在供给上述材料气体的供给期间，进行以使构成上述浓度控制机构的流体控制设备的控制值成为预先设定的初始设定值的方式进行控制的第一控制后，进行以通过控制该流体控制设备而使上述实际浓度接近预先设定的目标值的方式进行反馈控制的第二控制；以及控制切换部，基于上述浓度控制部开始上述第一控制后的上述实际浓度的经时变化，将上述浓度控制部的控制状态从上述第一控制切换到上述第二控制。
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公开(公告)号：CN111488003A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010059308.9
申请日：2020-01-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D11/13
Abstract: 用于提供一种能够在不中断半导体制造工艺的情况下适当地实施浓度检测机构的调零的浓度控制装置，浓度控制装置具备：控制阀，其控制在导出流路中流动的气体；浓度检测机构，其对在该导出流路中流动的气体中所含的材料气体的浓度进行检测；浓度控制器，其以使由上述浓度检测机构检测出的检测浓度与预先设定的设定浓度之间的偏差变小的方式控制上述控制阀；基准时刻判定部，其对存在于通过上述浓度检测机构进行浓度检测的检测部的气体已被替换为其他气体的时刻即基准时刻进行判定；以及调零部，其在基准时刻以后进行上述浓度检测机构的调零。
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公开(公告)号：CN109979852A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201811503488.4
申请日：2018-12-10
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 志水彻
Abstract: 提供浓度控制装置、气体控制系统、成膜装置、浓度控制方法及浓度控制装置用程序记录介质。在间歇性从汽化罐导出材料气体的浓度控制装置中，为了控制载气、稀释气体的流量以抑制材料气体的供给期间开始不久的材料气体浓度过冲，具备：设定流量计算部(33)，基于在供给材料气体的第一供给期间内的第一预定时刻由浓度计算部(32)算出的实际浓度、在该第一供给期间内的第一预定时刻从流量控制设备(40)输出的实际流量或该第一供给期间内的第一预定时刻的流量控制设备(40)的设定流量和预先设定的目标浓度，计算在第一供给期间后的第二供给期间内的作为从开始到第二预定时刻为止的期间的初始区间内的流量控制设备(40)的初始设定流量。
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