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公开(公告)号：CN117434026A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202310890023.3
申请日：2023-07-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/39 , G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 本发明提供一种高精度地监测针对被处理物的处理量的分析装置、分析方法及计算机可读的存储介质，所述分析装置具有测定部及运算部，所述测定部具有：激光光源，其对包含反应生成物的测定对象气体照射激光；光检测器，其检测透过测定对象气体的激光；以及信号处理部，其基于光检测器的检测信号来计算反应生成物的浓度或分压，运算部具有：时间积分部，其计算对测定部的输出值进行时间积分而得的时间积分值；关联数据存储部，其存储关联数据，所述关联数据示出对测定部的输出值进行时间积分而得的时间积分值与针对被处理物的处理量之间的关系；以及处理量计算部，其根据由时间积分部获得的时间积分值和关联数据来计算对被处理物的处理量。
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