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发明公开
浓度测定装置、浓度测定方法、原料气化系统及原料气化系统的浓度测定方法审中-实审

公开(公告)号：CN119096131A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202380039021.1

申请日：2023-01-23

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 今西三千绘 , 志水彻

IPC: G01N7/00 , C23C16/448 , G01L9/00 , G01N33/00

Abstract: 本发明的浓度测定装置（5）对混合气体（MG）中所含的原料气体的浓度进行测定，所述浓度测定装置（5）具备：分压传感器（51），对混合气体（MG）中所含的原料气体的分压进行检测并输出表示该分压的分压信号（Pv）；总压传感器（52），对混合气体（MG）的压力即总压进行检测并输出表示该总压的总压信号（Pt）；延迟滤波器（53），实施使总压信号（Pt）的响应速度延迟的处理，并输出该处理后的总压信号即延迟总压信号（Pt'）；以及计算部（54），基于分压信号（Pv）及延迟总压信号（Pt'）计算出混合气体（MG）中所含的原料气体的浓度。

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