公开(公告)号：CN109920747B

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN201910185830.9

申请日：2019-03-12

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 李以贵 ,  蔡金东 ,  王欢 ,  张成功 ,  吴文渊 ,  王洁 ,  金敏慧

IPC: H01L21/67 ,  G03F7/30

Abstract: 本发明公开了一种湿法刻蚀设备及光刻胶清洗显影装置，该湿法刻蚀设备包括：壳体，壳体的外壁上设有控制面板；载液盆设于壳体内，用于盛放溶液；该载液盆的盆沿与壳体的内壁固连；超声波雾化器固设于载液盆的底部，用于将载液盆中的溶液雾化成液滴；刻蚀花篮设于载液盆的盆沿上，用于盛放被刻蚀器件；该被刻蚀器件与溶液分离；供电模块设于壳体的底部；其中，超声波雾化器与控制面板电连接；超声波雾化器、控制面板均与供电模块电连接。采用刻蚀花篮使被刻蚀器件与溶液分离，并用超声波雾化器将刻蚀液雾化，利用雾化液滴刻蚀器件，使镂空、栅格等精细复杂结构平稳释放，提供刻蚀精细复杂结构的成功率。

公开(公告)号：CN111999524A

公开(公告)日：2020-11-27

申请号：CN202010504914.7

申请日：2020-06-05

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 李以贵 ,  金敏慧 ,  王欢 ,  张成功 ,  王洁

IPC: G01P5/12 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明涉及一种植保无人机，包括机身、微处理器和喷洒装置，还包括贴合于所述的植保无人机的机身底部的柔性风速传感器，植保无人机根据柔性风速传感器测量的风速调整药剂喷洒角度和药剂量；柔性风速传感器包括柔性薄膜基底以及设于所述柔性薄膜基底正面的测温电阻、加热电阻和补偿电阻，测温电阻和补偿电阻分别对称设于加热电阻的两侧，并且测温电阻位于加热电阻和补偿电阻之间；柔性薄膜基底的背面设有空腔结构，测温电阻和补偿电阻设于所述空腔结构的位置处的柔性薄膜基底上；测温电阻、加热电阻和补偿电阻分别进行桥式电路连接。与现有技术相比，本发明具有传感器体积小、质量轻、灵敏度高、贴合性强，植保无人机应用场景丰富等优点。

公开(公告)号：CN111220324A

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN202010074375.8

申请日：2020-01-22

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 李以贵 ,  邱霁玄 ,  王欢 ,  张成功 ,  吴文渊 ,  金敏慧 ,  王洁

IPC: G01L25/00

Abstract: 本发明涉及一种MEMS微力-力矩传感器的标定装置，其特征在于，包括测试平台、设于测试平台上的纳米压痕仪、设于纳米压痕仪的放置平台上的斜面平台组件、以及与待测MEMS微力-力矩传感器连接的模数转换电路和传感器供电电源；斜面平台组件包括若干个斜面倾斜角度不同的斜面平台元件；所述的待测MEMS微力-力矩传感器为六轴传感器，包括传感器本体和与所述的传感器本体连接的立柱；所述的传感器本体固定于所述的斜面平台元件的斜面上；所述的纳米压痕仪的施力杆与所述的立柱在竖直方向上对齐。与现有技术相比，本发明具有成本低，标定精度高等优点。